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新聞說的「第三代半導體」是什麼?碳化矽、氮化鎵白話解釋

新聞常說「第三代半導體」「電動車用碳化矽」「氮化鎵快充」。新聞說的第三代半導體,多半指兩種材料:碳化矽(SiC)和氮化鎵(GaN)。它們的共同點是「能隙」比矽寬得多,所以也叫寬能隙半導體。這裡的「第三代」說的是做晶片的材料,不是比較新的一代矽製程,跟「2 奈米」是兩回事。

為什麼叫「第三代」?

這是中文媒體常用的分法,大致照材料開始大量使用的先後排:

  • 第一代:矽和鍺,都是單一種元素。現在絕大多數晶片都是矽做的。
  • 第二代:砷化鎵、磷化銦這類化合物半導體,也就是兩種元素合起來的材料,常用在手機裡放大無線訊號的零件、光纖通訊用的雷射。
  • 第三代:碳化矽(矽加碳)、氮化鎵(鎵加氮),也是化合物,能隙特別寬。

英文通常不說「第幾代」,直接叫寬能隙半導體(wide-bandgap semiconductor,縮寫 WBG)。「第三代」也不是把前兩代換掉,三代的材料現在都在用。

能隙是什麼?

「半導體是什麼?」那一篇用「手」來想:矽原子用四隻手牽著旁邊的原子,電子被牽著,就跑不動。要讓電子放開手、自由地跑(也就是導電),得給它一點力氣,也就是能量。最少要給多少能量,電子才「跳得起來」開始導電,就是能隙。

把它想成一個台階:電子跳上去才跑得動,台階越高越難跳。

單位 eV 叫電子伏特,是一個電子被 1 伏特的電壓推一下得到的能量。

材料能隙(大約)
矽1.1 eV
砷化鎵1.4 eV
碳化矽3.2~3.3 eV
氮化鎵3.4 eV

碳化矽、氮化鎵的台階差不多是矽的三倍高,這就是「寬能隙」。

能隙寬,有什麼好處?

撐得住更高的溫度

溫度越高,原子抖得越厲害,會把一些電子抖得掙脫。矽的台階矮,太熱時,自己跳起來的電子比刻意摻雜放進去的還多,開關就關不住,一直漏電。碳化矽、氮化鎵的台階高,在比矽高很多的溫度下,還能正常開關。

撐得住更高的電壓

電壓很高時,材料裡的電場很強,會把電子硬扯出來。扯出來的電子又撞出更多電子,像雪崩一樣,元件就壞了。台階高的材料,要強得多的電場才扯得開:碳化矽、氮化鎵撐得住的電場,大約是矽的十倍。

開關快、浪費的電少

撐得住十倍的電場,要擋住同樣的電壓,擋電壓的那一層就能薄到大約十分之一。這一層薄,電流通過的阻力就小得多,元件也能做小。元件小,每次切換要充進、放掉的電就少(像「電晶體是什麼?」那一篇說的小杯子),所以切換得快,浪費的熱也少。

為什麼「開關快」這麼重要?

因為這兩種材料常拿來做管電的開關(功率元件)。插座的電、電動車電池的電,都要轉換才能給手機、馬達用:讓開關一秒切換非常多次,把電切成一小段一小段,再整理成需要的電壓。每切一次都會浪費一點電、變成熱。開關浪費得少,就省電、不燙;切換得快,裡面的線圈和電容就能做小,充電器跟著變小。

碳化矽、氮化鎵各用在哪?

兩者擅長的地方不太一樣:

  • 碳化矽:擅長更高的電壓、更大的功率,散熱也比矽好。常見在電動車上管馬達用電的那一塊、車上的充電器、充電樁,還有太陽能發電併入電網的設備。
  • 氮化鎵:擅長切換得很快,多用在電壓沒那麼高(大約幾百伏以內)的地方。常見在手機、筆電的快充充電器、伺服器的電源,還有基地台、雷達裡放大無線訊號的零件。藍光、白光 LED 也是氮化鎵這類材料做的。

那為什麼不全部改用它們?

  • 晶體很難長:矽晶棒是從熔化的矽裡一邊轉、一邊拉出來的(「晶圓為什麼是圓的?」)。碳化矽主要是在兩千多度的高溫下,讓粉末變成氣體,再在一小塊種晶上慢慢凝結,比拉矽晶棒慢上幾十倍到上百倍,晶體裡也比較容易有缺陷。
  • 又硬又難切:碳化矽的硬度接近鑽石,很難切、很難磨,很花時間。
  • 晶圓小又貴:碳化矽晶圓常見的是 15 公分(6 吋),正在往 20 公分(8 吋)做大,比 30 公分(12 吋)的矽晶圓小,一片能做的元件少,每一片又貴得多。
  • 氮化鎵多半長在別的晶圓上:大塊的氮化鎵晶體很難做,通常是在矽、碳化矽或藍寶石晶圓上長一層薄薄的氮化鎵。兩種材料的原子間距不一樣,像兩種尺寸的磚頭硬疊在一起,交界容易出缺陷。
  • 良率:缺陷落在哪一顆元件,那一顆就可能擋不住電壓或漏電;管大電流的元件常做得比較大,更容易碰到缺陷,良率難做高(「新聞說的「良率」」)。

而且手機處理器、記憶體這種塞上百億個小開關的晶片,靠的是把開關做小、做多,用不上寬能隙的好處;電壓不高的電源晶片,矽也夠用。所以大部分晶片,包括大部分管電的晶片,還是矽做的。

它跟「2 奈米」是同一件事嗎?

不是。「2 奈米」是矽晶片一代製程的名字,比的是同一塊地方塞得下多少開關(「新聞說的「2 奈米」」那一篇講過);「第三代半導體」是換材料,比的是扛不扛得住高電壓、大電流和高溫。

管電的開關要讓大電流通過、擋住高電壓,本來就得做大,用不到最小的線寬,跟「新聞說的「成熟製程」」那一篇講的電源晶片一樣。兩邊解的是不同的問題,沒有誰比較先進。

下次看到新聞,可以這樣讀

  • 「第三代半導體」:多半指碳化矽和氮化鎵這兩種能隙寬的材料,不是新一代的矽製程。
  • 「電動車改用碳化矽」:車上管馬達、管充電的開關改用碳化矽做,轉換時浪費的電少一點,零件可以小一點。
  • 「氮化鎵快充」:充電器裡的開關用氮化鎵做,切換得快,充電器能做得更小。
  • 「第四代半導體」:新聞有時這樣叫氧化鎵、鑽石這類能隙更寬的材料,大多還在研究、起步階段。

在 fab24hr 裡

遊戲裡的晶圓廠做的是矽晶片,一盒裝 25 片直徑 30 公分(12 吋)的矽晶圓,沒有做碳化矽或氮化鎵的廠。

不過做法很多是相通的:碳化矽元件一樣要在晶圓上用黃光印圖案、蝕刻、長膜、打進原子、高溫加熱。差別在條件:摻進碳化矽的原子幾乎不會自己擴散,所以局部摻雜幾乎只能靠離子植入;打完要在一千五百度以上退火,比矽晶圓在爐管裡常用的八百到一千兩百度高得多。

在「打工人的一天」的「今天你是」卡片上點「量產廠」,左右滑到製程工程師,在名字下面點「植入」或「爐管」,顧的就是矽晶圓的摻雜和加熱。遊戲裡的公司、人物、機台都是虛構的;這篇照公開的一般資料寫,來源不一致的數字只寫量級。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話,白話解釋」查。

在遊戲裡你會在哪裡遇到它遊戲裡沒有碳化矽、氮化鎵,晶圓廠做的是矽晶片。最接近的是量產廠的植入和爐管:在「打工人的一天」的「今天你是」卡片上點「量產廠」,左右滑到製程工程師,在名字下面點「植入」或「爐管」。

fab24hr 裡的晶圓是矽做的;打進原子、高溫加熱這幾步,碳化矽也要走,只是條件難得多。

進廠,看矽晶圓怎麼一站一站做

給老師:這一篇可以搭配「在課堂上玩 fab24hr」用在課堂上。

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