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晶圓廠小知識約 2 分鐘

晶圓為什麼是圓的?

晶片是方的,晶圓卻是圓的。原因從矽怎麼「長」出來說起:做晶圓的單晶矽,是一邊旋轉一邊從熔化的矽裡慢慢拉出來的,長出來就是一根圓柱,切開自然是圓片。這篇用白話講晶圓怎麼來、為什麼不做成方的、邊緣那些不完整的晶片怎麼辦。

晶片是方的,手機、電腦裡拆出來的每一顆都是方方正正的小塊。可是在晶圓廠裡,晶片是在一片圓形的晶圓上做出來的,最後才切成一顆一顆。為什麼不乾脆用方形的板子?答案要從矽是怎麼「長」出來的說起。

一句話:因為矽是長成一根圓柱的

做晶片用的矽,必須是原子排得整整齊齊的「單晶矽」。最常見的做法,是把高純度的矽放進坩堝裡熔化,再拿一小塊單晶矽當「種子」,碰一下液面,然後一邊旋轉、一邊非常慢地往上拉。熔化的矽沿著種子的原子排列一層一層凝固上去,拉出來的就是一根長長的單晶矽棒,業界叫它晶棒。

因為整個過程一直在旋轉,晶棒的截面自然長成圓形。接下來把晶棒外圍磨成固定的直徑,再像切香腸一樣切成很薄的圓片,研磨、拋光到像鏡子一樣平,就是晶圓。

為什麼不把晶棒磨成方的再切?

技術上可以,但很浪費:

  • 圓柱磨成方柱,四個邊角外的單晶矽全部變成廢料,而高純度的單晶矽很貴。
  • 很多製程本身就適合圓的:塗光阻時要讓晶圓高速旋轉,把液體甩成均勻的薄膜;加熱、量測、搬運的機台也都是照圓片設計的。圓形沒有尖角,比較不容易碰缺、裂開,受熱也比較均勻。

所以整個產業從材料、機台到搬運盒,都是圍著「圓片」建立起來的。

晶片是方的,那邊緣怎麼辦?

把一顆顆方形的晶片排在圓形的晶圓上,邊緣一定會有放不完整的地方。這些邊緣不完整的晶片確實會浪費掉一部分,所以晶圓越大,邊緣浪費的比例就越小。這也是晶圓一路從小尺寸做到現在最常見的 300 毫米(12 吋)的原因之一:同一片晶圓上能放更多晶片,邊緣浪費相對變少。

邊緣也是製程最難顧的地方:塗佈、蝕刻、薄膜在中間和邊緣總會有一點不一樣,所以邊緣的晶片本來就比較容易不良。在晶圓圖上,常常看得到外圈一圈比較多不良的格子。

晶圓上那個小缺口是什麼?

仔細看晶圓,邊緣會有一個小小的缺口(較小的晶圓則是切掉一小段直邊)。它標示的是晶體排列的方向,機台靠它把每一片晶圓轉到同一個角度,曝光、切割才對得準。圓形雖然好處多,但轉一轉就分不出方向,這個缺口就是補上這件事的。

在 fab24hr 裡

fab24hr 裡的晶圓,是直徑 30 公分(12 吋)的圓片,一盒(FOUP)裝 25 片。你會在蝕刻機前決定一片要不要重工,在量測站看一張晶圓圖,也可能在無塵室裡跌一跤、摔碎一片。遊戲裡的公司、人物和數字都是虛構的;晶圓怎麼做出來、為什麼是圓的,照公開的一般資料寫。

在 fab24hr 裡,一盒 25 片、直徑 30 公分的晶圓,就是你整晚要顧的東西。

進廠看看一片晶圓的一天

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