關於 fab24hr
晶圓廠打工人的一天
fab24hr 是一款在瀏覽器裡玩的 3D 小遊戲。你是晶圓廠的製程工程師,到職第八個月,顧一台叫 ETCH-03 的蝕刻機。凌晨 02:47 手機響了:機台當機,一批急件卡在裡面,每個人都在等你給一個時間。
怎麼玩
不用安裝、不用登入,手機或電腦的瀏覽器打開就能玩。系統會告訴你下一步,按「帶我去」就會自己走過去;要找的人或機台,頭上會有一顆「!」。
不用懂半導體。對話裡有虛線的行話,點一下就有白話解釋。
一天有四個班
晶圓廠二十四小時不停。你什麼時候打開,就從那個時刻的班開始。一班幾分鐘就能上完,上完可以接著上下一班;四個班接起來,就是完整的一天。
| 你打開的時間 | 班 | 在做什麼 |
|---|---|---|
| 00:00–05:59 | 深夜班「那通電話」 | 你在家,看不到機台,只能請夜班的同事幫你看,再隔著電話下指示。 |
| 06:00–11:59 | 早班「救火」 | 進廠、看交接單、晨會被問幾點會好、查原因、測機,把機台救回來。 |
| 12:00–17:59 | 午班「趕時間」 | 便當吃到一半被叫去手動補做一片晶圓,然後是檢討報告和檢討會。 |
| 18:00–23:59 | 晚班「下班未遂」 | 每走到門口就被叫住。最後你站在機台前,看到一顆黃燈。 |
你會遇到的人
- 阿凱:修機台的設備工程師。
- 雅婷:製程整合,貨的負責人。
- 小芸:製造部,排貨和追產出。
- 陳課長:你的主管。
- 阿豪:夜班製造部,半夜打電話給你的人。
- 小安:到職第三週的新人。
常見問題
要懂半導體才能玩嗎?
不用。遊戲是做給沒進過晶圓廠的人玩的。系統會一步一步告訴你要找誰、去哪裡;行話點一下就有白話解釋。
要付費或登入嗎?
都不用。免費,不用註冊,沒有廣告。喜歡的話,頁面上有一個請作者喝咖啡的連結。
手機可以玩嗎?
可以,直式拿著就能玩。手機、平板、電腦的瀏覽器都可以。
故事是真的嗎?
機台、批號、數字、流程與人物都是虛構的遊戲設定,不代表任何一家公司的實際規範。行話的解釋整理自公開資料,來源列在這一頁的最下面。
一次要玩多久?
一個班幾分鐘。上完會有一張結算卡,可以停在那裡,也可以接著上下一班。進度存在你的瀏覽器裡,中途離開再回來可以接著玩。
可以分享結果嗎?
可以。每上完一班有一張直式的結算圖卡,手機上可以直接從分享選單發到 Instagram 限時動態,也可以複製成一段文字貼到 Threads 或其他地方。
網站會記錄我的資料嗎?
只記錄匿名的遊玩次數:一組你的瀏覽器隨機產生的代號,加上有沒有開始、有沒有玩完、有沒有按分享。不記名字,不用 cookie,沒有廣告追蹤。
為什麼叫 fab24hr?
fab 是晶圓廠的口語說法,24hr 是二十四小時:廠不會停,所以半夜也會有人打電話給你。
遊戲裡的行話
下面是遊戲裡會出現的名詞,跟遊戲中點開看到的解釋是同一份。
- MO
- Mis-operation,人為誤操作。下錯 recipe、選錯片、跑錯站都算。業界口語也寫成 Miss Operation。出了 MO 要通報、寫檢討報告、開檢討會。
- 三色燈
- 機台上的燈塔。綠燈在生產,黃燈是機台在等人(待機、測機、有 warning),紅燈是異常停機。
- Alarm 與 Warning
- Warning 是提醒,機台還能跑,通常亮黃燈。Alarm 是機台自己停下來,亮紅燈。
- Down 與 Up
- Down 是機台不能生產。Up 是可以生產。Down 又分排定的(保養)和非排定的(故障)。
- 稼動率
- 機台可以拿來生產的時間比例。業界常用 SEMI E10 的六種狀態來分類機台時間。
- OCAP
- Out-of-Control Action Plan。異常發生時,線上的人照著做的處置流程。OCAP 沒寫到的情況,才需要打電話。
- On-call
- 輪值待命。半夜機台出事,夜班第一通電話打給 on-call 的工程師。
- 交接
- 兩個班之間的紀錄。上一班把還沒結束的事寫下來,交給下一班。
- Hold
- 把一批貨扣住不讓它往下走,直到有人決定怎麼處置。
- Hot lot
- 急件。每一站都排最前面的貨。
- Q-time
- 上一站做完到下一站開始之間的時間上限。超過要重工,嚴重的要報廢。
- PM
- Preventive Maintenance,預防保養。在廠裡講 PM,指的是保養。
- Season
- 開腔清潔或換零件之後,先跑幾片不要的晶圓,讓腔體內壁回到穩定狀態。
- 測機
- 用測機片確認機台做出來的結果在規格內。蝕刻常看蝕刻速率與 particle。測機過了才能復機。
- 復機
- 機台從 down 回到可以生產。設備交硬體,製程確認結果,兩邊都過才算。
- SPC
- 統計製程管制。把每批的量測值畫成管制圖,看製程有沒有在飄。
- OOC 與 OOS
- OOC 是超出管制界線,或違反判讀規則(例如連續 8 點在中心線同一側)。OOS 是超出規格。OOC 不一定 OOS,但都要處置。
- 蝕刻
- 用電漿把晶圓表面沒被保護的材料移除,把電路圖案刻出來。你顧的 ETCH-03 就是做這件事的機台。
- 晶圓
- 一片圓形的矽片,晶片就是在上面一層一層做出來的。一盒裝 25 片。
- Recipe
- 機台照著跑的一份設定:氣體、壓力、功率、秒數。同一台機台有很多份,選錯一份,做出來的東西就不對。
- 腔體
- 機台裡真正在加工晶圓的密閉空間。一台機台常有兩個以上的腔體(A 腔、B 腔),可以各自停機。
- ESC
- 靜電吸盤。用靜電把晶圓吸在載台上。
- Reset
- 把機台的錯誤狀態清掉,讓它重新開始。原因沒排除就 reset,同樣的問題會再來一次。
- 開腔
- 把腔體打開來維修或清潔。開過之後裡面的狀態會變,要重新抽真空、season、測機。
- 交機
- 設備工程師把機台修好,交給製程工程師接手確認。
- Particle
- 微粒。落在晶圓上會造成缺陷,所以無塵室才要那麼乾淨。測機時會數它增加了幾顆。
- 線寬
- 刻出來的線有多寬。蝕刻站最重要的量測值之一。
- SOP
- 標準作業程序。寫明每一步該怎麼做的文件。
- 派工
- 決定哪一批貨先上哪一台機台。
- He 背壓
- 晶圓背面和 ESC 之間通氦氣,幫晶圓散熱。氦氣漏得太多,代表晶圓沒有貼緊,溫度會控制不住。
- 補蝕刻
- 製程中斷的晶圓,把沒跑完的時間補上。屬於重工的一種,不在正常流程裡。
- 手動下貨
- 工程師到機台前自己選片號與 recipe 執行,不經過系統自動派工。最容易出 MO 的操作。
- 報廢
- 晶圓救不回來,從這批貨裡剔除。
- 檢討報告
- 異常之後的書面報告。常見格式是 8D:描述問題、圍堵、找根因、矯正、預防再發。
- 圍堵
- 先把損害停住:壞的攔下來,並清查還有沒有別批也中了。
- 水平展開
- 把一件異常的對策,套用到其他有同樣風險的機台、產品或課別。
- 防呆
- 讓錯的操作做不出來的設計。跟「提醒人要小心」是兩回事。
- Move 與 WIP
- 一片晶圓完成一站算一個 move。WIP 是線上還沒做完的貨。看板每天追這兩個數字。
資料來源
機台狀態、氦氣背壓、season、管制圖規則與 8D 整理自下列公開資料;MO 的說法與新人經驗來自公開討論區。
- INFICON|What Do We Mean When We Refer to Tool Availability?
SEMI E10 的六種機台狀態:生產、待機、工程、排定停機、非排定停機、非排程時間。 - 美國專利 US6899109B1|Method and apparatus for reducing He backside faults
氦氣是晶圓與載台之間的傳熱介質。晶圓與載台之間有間隙時氦氣外漏,機台會跳 He backside fault。 - 美國專利 US6374832B2|Waferless seasoning process
腔體清潔之後蝕刻環境改變,前幾片結果不穩定(first wafer effect),需要 season。 - MetricGate|Western Electric vs Nelson Rules for SPC
管制圖判讀規則:連續 8 點在中心線同一側即判定異常(Western Electric 規則)。 - EESemi|The 8D Process
8D 的八個步驟:組隊、描述問題、圍堵、根因、矯正對策、驗證、預防再發、結案。 - PTT Tech_Job|MO(Miss operation)相關討論
業界以 MO 稱呼人為作業疏失的用法。 - Disp BBS|發生 MO,年資不滿一年的我,怎麼調整?
新人出 MO 的經驗分享,以及前輩「新人出錯,制度與帶人的人也有責任」的回應。 - 陽明交大碩士論文|降低批貨暫置處理成本
貨被 hold 的常見原因:機台異常、規格不符、工程實驗。 - 清華大學碩士論文|考量等候時間限制之爐管派工法則
Q-time 的定義,以及超時須重工或報廢。 - Micron|Shift Operations Process Technician 職缺說明
產線執行端的工作:催急件、預判 hold、交接、跨單位通報。 - GlobalFoundries|製程工程師職缺說明
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