無塵室為什麼要穿全身無塵衣？

晶圓廠的照片裡，人都穿著一樣的連身衣、戴頭罩和口罩，只露出一雙眼睛。這套衣服叫無塵衣，因為從頭包到腳、圓滾滾的，俗稱「兔寶寶裝」。它保護的不是穿的人，而是無塵室裡的晶圓：要擋住的，正是人自己。

人是無塵室裡最大的灰塵來源

人的身上一直在掉東西：皮屑、頭髮、衣服的纖維、呼吸和講話帶出來的小水滴。肉眼看不見，但數量很驚人。大學無塵室的守則常引用這樣的數字：一個人站著不動，每分鐘會放出十萬顆以上大於 0.5 微米的微粒；走起路來，上百萬顆。

無塵室裡的機台、管線、地板都可以設計得很乾淨，唯有人，每天要進進出出。所以無塵室的規矩，大多是在管「人」。

一顆看不見的微粒，為什麼會毀掉晶片

一根頭髮的直徑大約幾十微米。0.5 微米的微粒，比頭髮細上百倍，你完全看不見。但晶片上的電路線，線寬已經是奈米等級，比這顆微粒還細很多倍。

一顆微粒落在晶圓上，就像在印刷到一半的紙上掉了一顆石頭：它可能擋住曝光，讓一條線斷掉；也可能讓兩條本來分開的線連在一起，造成短路。一片晶圓上有很多顆晶片，一顆微粒可能就讓其中一顆壞掉，這就是良率的損失。

無塵室有多乾淨

無塵室的乾淨程度，現在通常用國際標準 ISO 14644-1 來分級：從 ISO 1（最乾淨）到 ISO 9，看的是每立方公尺的空氣裡，有多少顆大於某個大小的微粒。

等級	每立方公尺大於 0.5 微米的微粒上限	舊的說法
ISO 5	3,520 顆	Class 100
ISO 6	35,200 顆	Class 1,000
ISO 7	352,000 顆	Class 10,000
ISO 8	3,520,000 顆	Class 100,000

「Class 100」是舊的美國標準的說法，意思是每立方英尺的空氣裡，大於 0.5 微米的微粒不超過 100 顆，大約等於 ISO 5。晶圓廠裡最關鍵的地方，要求常常比 ISO 5 還嚴。拿一般的室外空氣比較：同樣一立方公尺，大於 0.5 微米的微粒可以到幾千萬顆。

空氣怎麼保持乾淨

• 天花板整片是濾網：空氣經過高效率的 HEPA 濾網（對最難攔的 0.3 微米微粒，至少擋下 99.97%），或更細的 ULPA 濾網，從天花板往下吹。
• 由上往下的氣流：乾淨的空氣從上面吹下來、從地板或牆邊抽走，把微粒往下帶走，不讓它在空中飄。
• 正壓：無塵室的氣壓比外面高一點點，門一打開，空氣是往外流，外面的灰塵不容易跑進來。

無塵衣怎麼穿：由上往下，手套最後

每個廠、每間大學實驗室的順序都有一點不同，但大學無塵室公開的穿衣程序都有幾個共同點：

1. 先把會掉毛屑的外套脫掉，頭髮全部收進髮網。
2. 戴口罩，再戴頭罩。
3. 穿連身衣，頭罩的下襬塞進領口，拉鍊拉好。
4. 套上靴套。
5. 最後戴手套（常常還要護目鏡）。

為什麼由上往下？因為頭是身上掉最多微粒的地方，而微粒會往下掉。先把頭包好，再穿身體、腳，最後戴手套，手才不會在穿衣服的過程中又摸到別的東西。脫的時候大致反過來。

很多無塵室的入口還有風淋室：一個小房間，前後兩扇門不能同時打開，噴嘴吹出過濾過的強風，人在裡面舉手、轉身，把衣服表面的微粒吹掉，才進去。化妝品、一般紙張、會掉屑的東西，也都不能帶進去。

穿上無塵衣，就沒有微粒了嗎？

沒有。無塵衣能把人放出來的微粒大幅減少，但不會歸零：穿著無塵衣走路，還是會有微粒從縫隙跑出來。所以無塵室裡的人走路不跑步、動作放慢，晶圓也盡量裝在密閉的盒子（FOUP）裡、由天車在頭頂上送。這些規矩，都是同一個原因：人越少碰到晶圓越好。

在 fab24hr 裡

fab24hr 的製造部、設備工程師從辦公區走進無塵室之前，要先到更衣櫃換裝：照著髮網、口罩、頭罩、連身衣、靴套、護目鏡、手套的順序。換好之後，3D 的人物會戴上頭罩、護目鏡、口罩、靴套和藍色手套，走回辦公區才脫掉。遊戲裡的公司、人物都是虛構的；無塵室的規矩，照大學與研究機構公開的無塵室程序寫。在無塵室裡穿著這身衣服，還得小心不要摔一跤。