Q-time 是什麼？為什麼晶圓不能放太久

在晶圓廠裡常聽到一句話：「這批 Q-time 快到了。」Q-time 是 queue time 的縮寫，直譯是「排隊時間」，在廠裡講的是它的上限：某一站做完之後，後面那一站必須在多久之內開始做。超過了，這批晶圓就不能照原本的路走下去。

為什麼晶圓不能等？

晶圓在兩站之間不是放在真空裡，而是裝在盒子裡、待在無塵室的空氣中。很多步驟做完之後，晶圓表面是一個「剛剛好、還很新鮮」的狀態，放久了就會變：

• 洗完之後：清洗會把表面的薄氧化層和髒污去掉，露出乾淨的矽。但乾淨的矽一碰到空氣，就會慢慢長回一層很薄的氧化層，也會吸附空氣裡微量的有機物。如果下一站是要長一層品質要求很高的薄膜或氧化層，表面多了這一點東西，結果就會不一樣。
• 顯影之後：黃光做完的光阻圖案，要盡快去蝕刻，放太久光阻的狀態可能改變，蝕刻出來的線寬就跟著偏。
• 某些薄膜長完之後：表面會吸水氣，或跟空氣慢慢反應，影響下一層黏不黏得好。

這些變化肉眼看不到，量測也不一定馬上看得出來，等發現時可能已經做了好幾道。所以與其事後檢查，不如事先規定：超過時間就不准往下走。

超過 Q-time 會怎樣？

看是哪一段、超過多少。輕的，把那一站重做一次（重工），例如再洗一次再進爐管；有些做不回來的，只能整片報廢。中間還有一種情況是先 Hold 住，請工程師判斷這批還能不能用。不管哪一種，都會花掉時間和機台，所以大家寧可一開始就別超過。

那為什麼還會超過？

因為晶圓廠裡的機台永遠在排隊。一片晶圓大部分的時間其實都在等機台，而 Q-time 是把兩站「綁」在一起：上一站做完的那一刻，倒數就開始了。如果下一站的機台剛好當機、在保養，或前面排了一堆急件，倒數就會一直走。

所以排貨的人常常要反過來想：下一站還沒準備好，上一站就先別做。寧可讓晶圓在 Q-time 開始之前多等一下，也不要做完了卡在中間。這也是為什麼晶圓廠的派工不只是「誰先到誰先做」，還要看每一批身上有幾個倒數在跑。

在 fab24hr 裡

在 fab24hr，製造部的工作很大一部分就是 Q-time：派工看板上哪一批快到了、哪台機台停了會卡住誰、半夜打電話給工程師問「這批還能不能等」。遊戲裡的時間上限、批號和機台都是虛構的設定；Q-time 是什麼、為什麼要有，照公開的一般資料寫。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」查。