晶圓廠的機台裡面在做什麼？點一下，拆開來看、看它動起來

晶圓廠的機台，從外面看都是一個個大鐵箱。玩 fab24hr 的時候，你會一直聽到「ETCH-03 又停了」「靜電吸盤吸不住」，可是很難想像那些零件長什麼樣子、一片晶圓在裡面經過了什麼。這次的更新，讓機台可以拆開來看，有幾台還會動給你看。

怎麼打開「拆開來看」？

在遊戲裡點一下機台，說明卡最上面有一塊「拆開來看」，點下去就是那台機台的 3D 模型：

• 打開一下子，機台會自己拆開，每個零件標一個號碼。
• 用手指拖可以轉，兩指可以放大縮小。
• 點號碼，或從第一個零件開始按「下一個」，每個零件都有一兩句白話說明；說明裡看不懂的詞，點一下就有解釋。
• 拉桿拉回「組好」，零件會飛回原位。

量產廠、研發線、廠務層和封測廠裡，都有拆得開的機台：蝕刻、長膜、黃光、爐管、清洗、研磨、離子植入、量測、抽真空的泵浦、尾氣處理，還有封測廠的針測、切割和打線。

「看它怎麼動」在演什麼？

有幾台機台多一顆「看它怎麼動」。按下去，機台會先組回去，接著一步一步跑：畫面上方一句話說現在在做什麼，正在動的零件會亮起來，鏡頭會靠過去。跑完一輪會從頭再來，按「停下來」就回到原本的樣子。手機或電腦設定了「減少動態效果」的話，會改成一步一步按「下一步」。

電漿蝕刻腔：用電漿在晶圓上挖溝

晶圓從側面的閥門送進來，底下的升降針接住它，放到靜電吸盤上吸平。腔體先抽成真空，再通進蝕刻用的氣體；上方的線圈通上高頻電力，氣體就變成會發光的電漿。最後下方的電極把電漿裡的離子往下拉，直直打在晶圓上，挖出又深又直的溝。

黃光一圈：把電路「印」上晶圓

從塗佈顯影機開始：光阻滴在晶圓中間，吸盤很快地轉，把光阻甩成薄薄一層，再烤乾。接著晶圓被送到曝光機：先把整片的對準記號和高低量一遍，然後雷射一閃一閃，光罩和晶圓反方向一起掃，一格一格把縮小的電路圖印上去。最後回到塗佈顯影機，再烤一次、鋪上顯影液，照過光的光阻溶掉，電路的圖案就出現了（顯影）。這一圈會在兩台機台之間自己換過去。

化學機械研磨：把晶圓磨平

化學機械研磨的時候，晶圓是翻過來、正面朝下磨的：研磨頭用真空吸住晶圓，壓在研磨墊上。研磨液滴到墊子上，研磨盤和研磨頭一起轉，把表面磨平；旁邊的修整器來回刮墊子，盤子裡的小窗從底下看晶圓，磨到了就停（終點偵測）。一共三盤，一盤比一盤磨得細；磨完先洗乾淨、甩乾，乾的才出機台。

群集式機台：一片晶圓怎麼進出

很多機台不只一個反應腔，而是幾個腔體圍著中間的傳送腔。手臂從晶圓盒拿出一片，先轉一圈找到邊上的缺口，送進預備室抽真空，再由真空裡的手臂送進要去的腔體；做完照原路回到盒子。打開蝕刻腔或長膜的腔體，在「接著看」底下點它就看得到。

為什麼要做這個？

遊戲裡的劇情常常講到機台的零件：靜電吸盤吸不住、研磨墊用到要換、曝光機在等塗佈顯影機。以前只能用想的，現在可以打開來看它在哪裡、做什麼。不用先懂半導體：看得懂一片晶圓在裡面經過了什麼，再回去看劇情，就知道大家在忙什麼了。

在 fab24hr 裡

fab24hr 是一款免費、免安裝的網頁遊戲，你可以當晶圓廠裡的一個工程師上一個班。機台的模型畫的是教科書等級的通用樣子，形狀、比例和細節都簡化過，不是任何一家公司的機台；動作的順序照公開的教科書與課程講義。遊戲裡的公司、人物、事件全部虛構。看到跟真的不一樣的地方，點畫面上方的小蟲，或到「許願與問題回報」告訴我們。