プロセスエンジニアと装置エンジニアはどう違う？

ひとことで言うと、プロセスエンジニア（PE）は装置が「つくるもの」が正しいかを、装置エンジニア（EE）は装置「そのもの」がちゃんと動くかを担当します。同じ装置を、一方はウェーハを、もう一方は機械を見ています。装置に何か起きると2人の仕事がからみ合うので、毎日のように声をかけ合います。

プロセスエンジニアは何を見ている？

• レシピ：レシピは装置が流す設定です。ガス、圧力、パワー、秒数。どれを使うか、どこを変えるかはプロセスエンジニアが決めます。
• 測定と管理図：ロットごとに膜厚や線幅を測り、管理図に記録します。ずれたら早めに気づくのが仕事です。
• ロットの判断：結果が規格を外れたら、そのロットをホールドするか、リワークするか、流してよいかを判断します。
• 改善：実験をして、同じ工程をより安定させ、欠陥を減らします。

装置エンジニアは何を見ている？

• メンテナンス：使ううちに部品はすり減り、チャンバーは汚れます。計画どおりにPM（定期メンテナンス）をして、開けて、掃除して、部品を替えて、組み直します。
• アラーム対応：装置のランプが赤になりアラームが出たら、どの部品、どの信号がおかしいかを突き止めます。
• 修理：装置がダウンしたら、アップまで持っていきます。予備品が足りなければ手を打ち、大きな問題は装置メーカーのエンジニアと一緒に見ます。
• 止まる時間を減らす：稼働率は装置エンジニアがいちばん気にする数字のひとつで、装置のセンサーのデータ（FDC）も毎日見ます。

夜中に装置が止まったら、2人はそれぞれ何をする？

たとえば夜中にエッチング装置が、中にウェーハを入れたまま止まったとします。

1. 当番の技術員がまず装置を確認し、当番のエンジニアに連絡します。
2. 装置エンジニアはハードを調べます。どの部品、どの信号が原因か、すぐ戻せるか。
3. プロセスエンジニアはウェーハを調べます。止まった数枚がどこまで進んでいたか、救えるか（足りなかった処理を足すか、廃棄か）、後ろで待っているロットを別の装置に回すか。
4. 修理が終わると、装置エンジニアが装置引き渡しをし、プロセスエンジニアがモニターウェーハでテストランをして、結果が規格内なら装置は復旧して生産に戻ります。

最後の手順が大切です。ハードが直っても、つくるものが同じとは限りません。だから「直す」と「確かめる」を2人に分け、それぞれが自分の分に責任を持ちます。

どんなときにPEを、どんなときにEEを呼ぶ？

状況	まず呼ぶ人
赤ランプ、アラーム、装置停止	ハードはEE、中と後ろのロットはPE
測定値が規格外、管理図がずれてきた	PE
PMの予定、部品の寿命、予備品	EE
レシピ変更、実験	PE
PMのあと生産を始めてよいか	2人で：EEが直し、PEがテストラン

どんな分野を学んだ人が、どちらに向いている？

大学の半導体キャリア案内によると、プロセスエンジニアは化学工学、材料、化学の出身が多く、装置エンジニアは機械や電気の出身が多いそうです。実際にはどちらにもいろいろな理工系の人がいます。大きな違いは、どんな問題が好きかです。データから原因を探し、条件を調整するのが好きならプロセス寄り。分解して、機械がどう動くかを理解するのが好きなら装置寄り。半導体工場は24時間止まらないので、どちらも交代勤務やオンコールがあることがあります。

fab24hrでは

fab24hrにはプロセスと装置の両方の役割があり、量産工場と開発ラインはそれぞれ、リソグラフィ、エッチング、成膜、CMP、拡散炉、イオン注入、洗浄の7つのエリアに分かれています。プロセスエンジニアなら、夜中に装置の中に残ったウェーハをどうするかを決めます。装置エンジニアなら、技術員が送ってきた写真から何が壊れたかを見立て、直してプロセスに渡し、テストランをしてもらいます。ゲームの装置、ロット番号、人物は架空のもので、2つの仕事の分担は公開されている一般的な資料をもとに書いています。実際の分担は会社ごとに違います。PEという2文字には別の意味もあります。「PEはプロセスエンジニア？ それとも製品エンジニア？」へ。