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半導体工場には誰がいる

10の役割、うち6つはそのままプレイできます

半導体工場は24時間止まりません。同じ1台の装置がダウンしても、技術員、製造部、プロセス、装置、リソグラフィ、インテグレーション、課長では、見えているものが違います。以下、役割ごとに、一日の流れ、いちばん怖いこと、fab24hrのどこで出会うかをまとめました。「この役でプレイ」があるものは、そのままゲームに入り、その人の目で1シフトを過ごせます。装置、ロット番号、登場人物は架空です。仕事の内容は、公開されている論文、業界標準、大学の教材、業界での公開の議論をもとにまとめています（「fab24hrとは？」ページの「参考にした資料」を参照）。

技術員（オペレーター） · 製造部（MFG） · プロセスエンジニア（PE） · 装置エンジニア（EE） · リソグラフィエンジニア（フォトリソグラフィ） · 開発インテグレーションエンジニア（開発ライン） · 開発プロセスエンジニア（開発ライン） · プロセスインテグレーション（PIE） · 課長 · メーカーのエンジニア

技術員（オペレーター）

装置の前に立つ人。ランプを見て、SOPどおりに操作します。12インチ工場ではロットの多くをOHTが運びますが、OHTが届けられないものやトラブルが起きたものは、技術員がロットを置き、取り出します。装置のランプが点いたら、OCAPに従ってまず止め、まず報告します。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

メイリン（18年目）とジャー（入社3か月）。製造部のストーリーでは、二人と一緒に台車を押し、認定を持つ人が戻ってくるのを待ちます。

製造部（MFG）

ロットを動かし続ける人たち。ディスパッチをし、Moveを追い、Qタイムに目を光らせます。装置のランプが点いたとき、最初に気づくのも製造部です。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

製造部の4つのシフト：夜中にオンコールのエンジニアへかける電話、ETCH-03が止まった朝、割り込んでくる超特急ロット、1行足りない引き継ぎ表。遊びの中心はディスパッチボードです。

この役でプレイ

プロセスエンジニア（PE）

何台かの装置がつくるものが正しいかを見る人。測定結果や管理図を見て、レシピを管理します。装置が直ったら、テストランの結果を見て、生産に戻せるかどうかを決めます。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

もともとのメインストーリー：エッチングの1工程を担当します（ETCH-03はそのうちの1台）。深夜02:47の電話から、夜の退勤まで。

この役でプレイ

装置エンジニア（EE）

装置を動かす人。メンテナンス、部品交換、アラーム対応。直したら、プロセスに渡してテストランをしてもらいます。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

装置エンジニアの4つのシフト：電話3件、チャンバー開放で静電チャック交換、部品が足りない、誤報が止まらない。

この役でプレイ

リソグラフィエンジニア（フォトリソグラフィ）

回路パターンをウェーハに焼き付ける工程の担当：レジスト塗布、露光、現像。この工程での失敗は、まだ洗い流してやり直せます。エッチングのあとは、もう戻れません。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

リソグラフィの4つのシフト：下流が止まる、アライメントが規格外、リワークするウェーハ選び、マスクの上の1点。

この役でプレイ

開発インテグレーションエンジニア（開発ライン）

新製品が初めて工場でつくられる、その最初の数ロットの担当です：実験をどう分けるか、出てきたデータが何を語っているか、いつ量産工場に渡せるか。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

開発インテグレーションの4つのシフト：Qタイム、12枚をどう分けるか、不良の形、2週間の前倒し。カードのいちばん上で「開発ライン」に切り替えます。

この役でプレイ

開発プロセスエンジニア（開発ライン）

新しいプロセスの中の、ある1ステップの条件の担当です：装置をどう動かすか、できた形が正しいか。安定したら、量産工場に渡す標準プロセスとして書き上げます。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

開発プロセスの4つのシフト：ボイド、唯一の1台、一字違い、最後の1マス。最後の1マスに書き込む数値が、量産工場の深夜02:47の電話につながります。

この役でプレイ

プロセスインテグレーション（PIE）

ロットの責任者。フロー全体の歩留まりを見て、ホールドされたロットを続行するか、リワークするか、スクラップにするかを決めます。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

ヤーティン。プロセスエンジニアのストーリーでは、彼女の特急ロットがあなたの装置の中で止まっています。

課長

1つの課の責任者。上には報告し、下には「いつになるか」を聞きます。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

チェン課長。朝会、検討会、そして退勤直前の「あとひとつだけ」の電話。

メーカーのエンジニア

装置メーカーから派遣されてくる人。部品と工具を持ってきて、防塵服に着替えてからでないと工場に入れません。

一日の流れ

いちばん怖いこと

ゲームでは

エアシャワーの外で、部品を届けようと待っている人。装置エンジニアの朝シフトで、新しい静電チャックを持ってくるのがこの人です。

この人たちはどうつながっているか

装置が1台ダウンした夜。技術員は赤ランプを見て、OCAPに従って止めます。製造部はロットをホールドし、オンコールに電話します。プロセスエンジニアは、プロセスと止まったロットに影響があったかを判断します。装置エンジニアはチャンバー開放が必要かを判断し、開けて部品を交換します。インテグレーションは、止まっていた1枚をどうするかを決めます。課長は朝会で「いつ直る？」と聞きます。

fab24hrの量産工場でプレイできる4つの役割は、同じ1日を過ごしています。製造部が夜中にかける電話は、プロセスエンジニアにかかります。プロセスエンジニアが朝に読む引き継ぎ表は、製造部が書いたものです。プロセスエンジニアが夜に見ている黄ランプは、装置エンジニアの側から見ると、監視システムのしきい値です。エッチングが夜中に止まると、リソグラフィ側で現像を終えたロットが、その手前に並び始めます。開発ラインの2つの役割は、その約半年前の話です。同じチップの初めての試作で、安定してはじめて量産工場に渡されます。

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