半導体工場エンジニアの一日
同じ時刻、プロセス・装置・インテグレーション・製造部はそれぞれ何をしている？
このページでは、fab24hrのゲームの中の一日を広げて見ていきます。深夜02:47のオンコールの電話から、夜勤への引き継ぎまで。半導体工場は24時間止まらず、装置が1台トラブルを起こすだけで、何人もの人が動くことになります。以下の装置、ロット番号、人物は架空です。仕事の内容は、公開されている論文、業界標準、大学の教材、業界の公開された議論をもとにまとめています（「fab24hrとは？」のページの「参考にした資料」を参照）。
誰が誰？PE・EE・PIE・製造部
- プロセスエンジニア（PE、Process Engineer）：1台または装置群で「つくったものが正しいか」を見る人。測定データと管理図を見て、レシピを管理し、プロセスの異常に対応します。装置の修理が終わったら、テストランの結果を確認するのもこの人です。ゲームではあなたがこの役割で、エッチングの1工程を担当しています。ETCH-03は、その工程を担う装置の1台です。
- 装置エンジニア（EE、Equipment Engineer）：装置のハードウェアが「動くかどうか」を見る人。メンテナンス、部品交換、アラームの調査。
- プロセスインテグレーションエンジニア（PIE、Process Integration Engineer）：ロットの責任者。工程の流れ全体を見て、ホールドされたロットを続行するか、リワークするか、スクラップにするかを決めます。
- 製造部（MFG）：ロットを動かし続ける人たち。ディスパッチ、生産量の追跡。装置のランプが点いたら、決められた手順どおりにロットをホールドし、真っ先にエンジニアへ電話をかけます。
- 課長：上には報告し、下には「何時に直るか」を聞く人。
会社によっては、PEは製品エンジニア（Product Engineer）を指します。このページのPEは、すべてプロセスエンジニアです。
オンコール：夜中のあの電話
半導体工場は止まらないので、エンジニアは交代でオンコールを担当します。夜中に装置にトラブルが起きると、夜勤の最初の電話は、その週のオンコール担当にかかってきます。家にいて装置は見えないので、夜勤の同僚に代わりに見てもらい、電話越しに指示を出すしかありません。まず装置を止め、ロットをホールドする。原因は朝に調べる。夜中の電話に必要なのは答えではなく、事態を大きくしないための指示です。
一日のタイムライン
ゲームの中の一日で、それぞれの時刻に5つの役割が何をしているか。最初から最後まで、1本の線でつながっています。3日間誰も見なかった黄ランプ、夜中の赤ランプ、装置の中に取り残されたウェーハ、手作業での立て直し、人による誤操作（MO）、不具合報告書。
02:47 深夜の電話
- あなた（プロセスPE） オンコール対応：夜勤に代わりに見てもらい、指示を出し、ウェット洗浄の順番を決める
- 装置EE 03:40、あなたの電話で起こされる
- 製造MFG 夜勤がロットをホールドし、電話をかけ、引き継ぎ表を書く
07:30 引き継ぎ
- あなた（プロセスPE） 引き継ぎ表を読み、追うべき件に印をつける
- 装置EE 夜勤のアラーム記録を見る
- 製造MFG 装置ごとに引き継ぎ、ディスパッチを組む
- インテグレーションPIE 自分のロットがなぜホールドされたか調べる
- 課長 夜勤の異常まとめを読む
08:30 朝会
- あなた（プロセスPE） 何時に復旧するか答える
- 装置EE 装置の状況を報告する
- 製造MFG MoveとWIPを報告する
- インテグレーションPIE 特急ロットの進捗を報告する
- 課長 ボードを見ながら1項目ずつ質問する
09:00 原因調査・チャンバー開放
- あなた（プロセスPE） プロセスに影響が出たかを判断する
- 装置EE アラームを調べ、チャンバー開放し、部品を交換する
- 製造MFG ロットをホールドし、連絡し、並べ直す
- インテグレーションPIE ロットの処置を決める
- 課長 報告を待ち、上に報告する
11:20 復旧テストラン
- あなた（プロセスPE） シーズニングとテストランの結果を見て、ロットを流してよいと言う
- 装置EE 装置引き渡し、修理記録を書く
- 製造MFG 復旧を待ち、ディスパッチの準備をする
- インテグレーションPIE 追加エッチングの指示を出す
- 課長 ロットを急かす圧力を食い止める
13:40 手動追加エッチング
- あなた（プロセスPE） 装置の前で手動投入する
- 装置EE ダブルチェックを頼まれる
- 製造MFG トラックアウトの時刻を急かす
- インテグレーションPIE 7枚目の結果を待つ
- 課長 部長に進捗を聞かれる
13:52 MO
- あなた（プロセスPE） ホールド、連絡、現場保存
- 装置EE 装置の記録の確認を手伝う
- 製造MFG ロットをホールドし、並べ直す
- インテグレーションPIE 影響を受けたウェーハを判定する
- 課長 連絡を受け、検討会を設定する
15:00 不具合報告書
- あなた（プロセスPE） 経緯・封じ込め・根本原因・対策を書く
- 装置EE アラームと修理の記録を出す
- 製造MFG ディスパッチと時刻の記録を出す
- インテグレーションPIE 影響を受けた枚数と納期を出す
- 課長 報告書をレビューする
16:30 検討会
- あなた（プロセスPE） 発表し、質問に答える
- 装置EE 赤ランプの原因を説明する
- 製造MFG Moveへの影響を説明する
- インテグレーションPIE ロットと顧客への影響を説明する
- 課長 司会、対策の担当者を決める
18:00 あとひとつだけ
- あなた（プロセスPE） 報告書を1ページに縮め、顧客には一言で答える
- 装置EE 別の装置を直しに行く
- 製造MFG 引き継ぎ表をまとめ、今日のMoveを照合する
- インテグレーションPIE 顧客からの電話を受ける
- 課長 その1ページを待つ
19:20 ちょっと見てて
- あなた（プロセスPE） 部品交換後のHe流量を見張る
- 装置EE ETCH-07に呼ばれる
19:33 夜勤への引き継ぎ
- あなた（プロセスPE） 引き継ぎ表を書く
- 装置EE 夜勤の装置担当に引き継ぐ
- 製造MFG 夜勤が装置ごとに引き受ける
- インテグレーションPIE ホールド中のロットを誰がリリースできるか確認する
- 課長 スクラップ票と異常票を承認する
4人の同僚の一日
プロセスエンジニアが毎日やりとりする4人。一日をどう過ごし、何にいちばん困っていて、いつあなたのところに来るのか。
カイ｜EE エッチング装置担当
装置のハードウェアを見る人。装置を動かせるかどうかは、この人が決める
一日の過ごし方
- 07:30 引き継ぎを受け、夜のうちにアラームが出た装置を確認
- 09:00 装置を見回り、部品の寿命とメンテナンスの予定を確認
- 10:00 技術員とPM：チャンバー開放、清掃、消耗品の交換
- 赤ランプ点灯時 アラームを調べ、部品交換、真空引きとリークチェック
- 16:00 予備品の入荷を追いかけ、明日のメンテナンスを組む
- 退勤前 修理が終わらなかった装置を、夜勤の装置担当に引き継ぐ
いちばん困ること
- ラインは生産能力がほしい。メンテナンスは延期してくれと言われ続ける
- 黄ランプのワーニングが多すぎて、どれが本物かわからない
- 直して装置引き渡しをしても、まだ復旧ではない。プロセスのテストラン合格待ち
あなたと顔を合わせるとき
- 赤ランプが点いたら：あなたと一緒に現場へ
- メンテナンスや修理のあと：装置をあなたに渡してテストラン
- 部品を早めに替えるか：あなたのプロセスデータが必要
ヤーティン｜PIE プロセスインテグレーション
ロットの責任者。フロー全体の歩留まりを見て、ロットの処置を決める
一日の過ごし方
- 08:00 自分の製品が昨夜どこまで進んだか、どのロットがホールドされたかを確認
- 08:30 朝会で特急ロットの進み具合を報告
- 10:00 ホールド中のロットを判定：続行、リワーク、スクラップ
- 14:00 測定データと電気特性を見て、歩留まりを追う
- 16:30 不具合検討会
- 終日 「このロット、いつ出る？」に答える
いちばん困ること
- ロットがホールドされているのに、理由の欄が空っぽ
- どの工程も、問題はうちじゃないと言う
- 特急ロットが詰まると、すぐ電話が来る
あなたと顔を合わせるとき
- あなたの工程でこの人のロットがホールド：プロセスに影響があったか、あなたの判断を待つ
- 追加エッチング、リワーク：指示を出すのはこの人、実行するのはあなた
- 不具合報告書：影響を受けた枚数と納期を出してくれる
ユン｜MFG 製造部日勤
ロットを止めずに流し続ける人。ディスパッチ、Moveの追いかけ。ランプが点いたら最初に気づく
一日の過ごし方
- 07:30 交代で出勤（12時間勤務、2勤2休）、夜勤と1台ずつ引き継ぎ
- 08:00 今日のディスパッチ順を確認し、特急ロットを前に回す
- 08:30 朝会でMoveとWIPを報告
- 終日 ラインを回り、詰まったロットを処理、装置のランプを見る
- 赤ランプ点灯時 OCAPに従ってロットをホールドし、装置の担当者に連絡
- 19:30 夜勤への引き継ぎ
いちばん困ること
- 装置がダウンしたのに、何時に復旧するか誰も言わない
- エンジニアが装置借用で実験をして、生産能力が削られる
- 手動操作の指示がチャットに書いてあって、延々とさかのぼるはめになる
あなたと顔を合わせるとき
- 装置のランプが点いたら：あなたに電話してくる
- 復旧：あなたがOKを出して、はじめてロットを流す
- 手動投入：読んでわかる指示がほしい
チェン課長 エッチング課
エッチング課のトップ。上には報告し、下には時間を求める
一日の過ごし方
- 07:45 夜勤の異常まとめを読む
- 08:30 朝会を仕切り、ボードの項目を1つずつ聞いていく
- 10:00 部の会議で「なぜ赤ランプが点いたのか」と聞かれる
- 13:00 スクラップ票、異常票、変更申請を承認
- 16:30 不具合検討会を仕切る
- 夜 当番の携帯を持つ。重大な異常は上に報告
いちばん困ること
- 上が聞くのは2つだけ。何時に復旧するか、何枚スクラップか
- 不具合報告書に「人的ミス、注意喚起を徹底」と書いても、次もまた起きる
- 人手はいつも足りない。新人は数か月で一人で当番に入る
あなたと顔を合わせるとき
- 朝会：あなたに見込みの時刻を求める
- MOが起きたら：はっきり説明できる報告書がほしい
- 対策：リソースを出すかどうかは、この人が決める
この一日を自分で過ごしてみる
fab24hrは、無料・インストール不要のブラウザ3Dゲームです。ゲームを開いた時刻のシフトから始まります。深夜は電話を受け、朝は火消し、昼はウェーハ1枚を手動でやり直し、夜はなかなか工場の門から出られない。1シフト数分で、会話の中の専門用語はタップするとやさしい解説が出ます。
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