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半導体工場の仕事約4分

PEはプロセスエンジニア? それとも製品エンジニア?

同じ2文字でも、半導体業界のPEにはよく使われる意味が2つあります。半導体工場では多くの場合プロセスエンジニア(Process Engineer)、設計会社や後工程工場、多くの会社の製品部門では製品エンジニア(Product Engineer)を指します。どちらもチップに関わる仕事ですが、担当する範囲が違います。一方は「1つの工程」を、もう一方は「1つの製品」を見ます。

半導体工場のPEは何をしている?

チップは何百もの工程を通ります。工場はそれをリソグラフィ、エッチング、成膜、CMPなどのエリアに分けています。プロセスエンジニアはふつう、そのうち1つのエリアのいくつかの工程と、それを流す装置のグループを担当します。

  • レシピ:装置が流すレシピ(ガス、圧力、パワー、時間)は担当者のもの。変更や試行には担当者の判断が要ります。
  • データ:ロットごとの測定結果と管理図。じわじわずれていく傾向を、だれよりも先に見つけます。
  • ロットの判断:装置が止まったり測定値が規格を外れたりしたとき、そのロットを先へ流すか、ホールドするか、リワークか廃棄か。意見を出し、プロセスインテグレーションと一緒に決めることがよくあります。
  • 改善:実験をして工程を安定させ、欠陥を減らします。

大学のキャリア案内でも、製造の1つの工程や装置群を担当し、実験で歩留まり、生産量、安定性を上げる仕事として紹介されています。

設計会社や後工程工場のPEは何をしている?

製品エンジニアは、1つのチップを最初から最後まで追います。ウェーハができあがり、テストが終わると、データが手元に戻ってきます。

  • テストデータと歩留まり:ウェーハテストとファイナルテストの結果。良品の割合、不良がどのビンに入ったか、ウェーハマップのどこに集まっているか。
  • 原因をさかのぼる:歩留まりが落ちたら、設計、製造工程、組立、テストそのもののどれが怪しいかを見極め、担当の人につなぎます。
  • 量産への移行:新製品が試作から量産へ進むとき、何をテストするか、上限・下限をどこに置くかを、テストエンジニアと一緒に決めることがよくあります。
  • 顧客の問題:顧客から返ってきた不良品の原因を突き止め、説明します。

大学のプロセス開発の講義資料でも、製品エンジニアリングはラインの最後に置かれています。ファイナルテストのデータと電気特性から歩留まりを追い、その結果を製造側に返す役割です。

2つのPEは顔を合わせる?

合わせます。きっかけはたいてい歩留まりです。製品エンジニアが、あるロットの歩留まりが落ち、不良がウェーハの端に集まっているのを見つけて工程をさかのぼると、その工程のプロセスエンジニアにたどり着きます。間にプロセスインテグレーション(PIE)が入ることもよくあります。プロセスエンジニアは自分の工程の測定値と管理図で、その時期にずれがなかったかを確かめます。一方は結果からさかのぼり、もう一方は源から追いかける。両方のデータが合ったとき、原因が見つかります。

PEと聞いたら、どちらか見分けるには?

  • どこで働いているか:半導体工場のPEは多くがプロセス、設計会社・後工程工場・製品部門のPEは多くが製品です。
  • 何の話をしているか:「この装置のレシピ」「この工程の管理図」ならプロセス、「このチップの歩留まり」「どのビン」「顧客」なら製品です。
  • 英語の正式名:ProcessかProductか。

いっしょによく出てくる略語も覚えておくと便利です。EEは装置エンジニア(大学ではEEは電気工学のこと)、PIEはプロセスインテグレーション、TEはテストエンジニア、QA・QEは品質保証です。肩書きや分担は会社ごとに違い、ここに書いたのはよくある分け方です。

fab24hrでは

fab24hrでは、PEはプロセスエンジニアのことです。夜勤の深夜02:47に電話で起こされるのはあなた。ETCH-03が止まり、中に残ったウェーハを救えるか、後ろのロットを動かせるかを判断します。製品エンジニアも登場します。後工程工場や開発ラインのいくつかのシフトで、数字のことを電話で聞いてくるレオが、顧客の製品エンジニアです。ゲームの会社、装置、ロット番号、人物は架空のものです。2種類のPEがそれぞれ何をしているかは、公開されている一般的な資料をもとに書いています。PEと装置エンジニアの分担は「プロセスエンジニアと装置エンジニアはどう違う?」へ。

fab24hrでプロセスエンジニアの一日を。装置が止まったとき、ロットを動かせるかを決めるのはあなたです。

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