装置の赤・黄・緑のランプは何を意味するのか

半導体工場（ほかの自動化された工場でもほぼ同じ）に入ると、どの装置の上にも小さなランプの塔が立っています。下から緑、黄、赤。シグナルタワー、積層表示灯とも呼ばれます。遠くからひと目見れば、その装置がいまどんな状態かがわかります。

3つの色の、だいたいの意味

工場や装置の種類によって定義は少しずつ違いますが、おおまかな考え方は、産業機器の表示灯でよく使われる色の決まりに近いものです。

ランプ	だいたいの意味
緑	正常に稼働中、処理している
黄	注意が必要：人の対応待ち、待機中やテストラン中、または警告が出ている
赤	異常：装置が止まり、誰かが対応しなければならない

青や白のランプを足して「オペレーターの操作が必要」といった状態を示す装置もあり、点灯か点滅かで意味が変わることもあります。

黄と赤はどう違う？

装置は、温度、圧力、ガス流量、真空度などをいつも自分で見張っています。どこかの値が外れると、メッセージを出します。軽いものは Warning（警告）で、装置はたいてい動き続け、黄ランプが点きます。重いものは Alarm（アラーム）で、装置はたいてい自分で止まり、赤ランプが点きます。くわしくは「アラーム／ワーニング」へ。

赤はわかりやすい。装置が止まり、ウェーハが流れないので、みんなすぐ駆けつけます。むずかしいのは黄色です。

なぜ黄ランプがいちばん見過ごされるのか

黄色のとき、装置はまだ動いているからです。

1台の装置が1日に何度も警告を出すことがあり、そのほとんどは本当に何でもありません。値が一瞬境界に触れて、また戻るだけ。そのうちみんな、黄ランプを見たら消して生産を続けることに慣れていきます。たいていはそれで正しいのです。そうしないと、1日じゅう何でもない警告の対応で終わってしまいます。

でもときどき、ひとつの黄ランプがもっと大きな問題の前ぶれになります。部品が少しずつ劣化している、継手がゆるみ始めている、ある値が日に日に上限へ近づいている。毎回消されて誰も記録しなければ、赤に変わったときには、もう1ロット分のウェーハがだめになり、装置も長い修理でダウンしているかもしれません。

だから多くの工場では、黄ランプは消してもいいけれど記録は残すこと、同じ警告が何度も出たら誰かが追いかけることを求めています。言うのは簡単です。でも真夜中、生産に追われ、あと5分で帰れるというときには、それがいちばんむずかしいのです。

fab24hrでは

fab24hrのプロセスエンジニアは、夜中にエッチング装置 ETCH-03 が止まったという電話で起こされます。そして同じ日の夜シフトで、黄ランプの点いた装置の前に立ち、それを消して帰るかどうかを決めることになります。ゲームの2つの称号「黄ランプを消した人」と「黄ランプに気づいた人」は、その瞬間のことです。ゲームに出てくる会社・人物・装置・数字は架空で、シグナルタワーの見方は公開されている一般的な資料をもとに書いています。