工場の中:クリーンルーム、交替勤務、装置の日常
チップをつくる場所はどんなところでしょう。このテーマは工場の日常です。なぜ全身を覆う防塵服を着るのか、なぜ夜中も止まらないのか、装置の上のランプは何を伝えているのか、ウェーハの入ったケースはなぜ待てないのか。
クリーンルームはどれくらいきれい? クラス100、ISO 5の数え方
クリーンルームの清浄度クラスは、空気1立方メートル(旧規格は1立方フィート)に、ある大きさ以上の微粒子が何個まであってよいかで決まります。クラス100とISO 5の関係、ふつうの空気との差、きれいに保つしくみを解説。
クリーンルームでは、なぜ全身を覆う防塵服を着るのか
半導体工場のクリーンルームに入る人は、頭から足まで覆い、目だけを出します。理由は、人こそがクリーンルームでいちばんのほこりの発生源だから。人は1分間にどれだけパーティクルを出すのか、清浄度のクラス、上から順に着る理由をやさしく解説します。
半導体工場はなぜ24時間止まらないのか
ふつうの工場は夜になれば明かりを消せますが、半導体工場は一年じゅう24時間動き、エンジニアは夜中にも電話を受けます。装置が高い、ウェーハ1枚に数か月、止めると再開が大変、そして交替勤務と呼び出しのしくみをやさしく解説します。
Qタイムとは? ウェーハを長く置いておけない理由
Qタイムは、半導体工場で「ある工程が終わってから、あとの工程を始めるまでの時間の上限」のこと。超えると、ウェーハの表面が知らないうちに変わっていて、リワークや廃棄になります。やさしく解説します。
装置の赤・黄・緑のランプは何を意味するのか
半導体工場のどの装置の上にも、赤・黄・緑のシグナルタワーがあります。緑は稼働中、黄は待機や警告、赤は異常停止。見方と、黄色のランプがいちばん見過ごされやすい理由をやさしく解説します。
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