オペレーター（技術員）とエンジニアはどう違う？

オペレーター（技術員）とエンジニアのいちばんの違いは、「何を受け持つか」です。オペレーターは現場を受け持ちます。装置のそばでSOPどおりに操作し、装置を巡回し、ふだんのトラブルに対応します。エンジニアは「なぜ」を受け持ちます。装置をどんな条件で動かすか、パラメータを変えるかどうかを決め、何か起きたら原因を突き止めます。一方は装置にいちばん近く、もう一方はデータと原因にいちばん近い。どちらが欠けても、工場は回りません。呼び方は場所によって違います。オペレーターは技術員とも呼ばれ、英語ではtechnicianやoperatorがよく使われます。装置の保守や修理を専門にする人を技術員と呼ぶところもあります。

オペレーターは装置のそばで何をしている？

半導体工場の装置は24時間動いていて、いくつもの班が交替で見ています。オペレーターの1シフトには、たとえばこんな仕事があります。

• 作業票どおりにロットを流す：システムが作業票を出し、このロットがどの工程で、どのレシピを使うかが書いてあります。オペレーターはロットと装置が合っているかを確かめ、載せて、処理を始めます。
• 巡回：装置を1台ずつ回り、シグナルタワー、画面の数字、消耗品が足りているかを見て、記録すべき数字を書き留めます。
• ふだんのトラブルへの対応：装置がアラームを出したり、測定値が管理線を外れたりしたら、OCAPに沿って1つずつ進めます。まず何を止めるか、どのロットをホールドするか、誰に知らせるか。
• 記録：何をしたか、何を見たかを、システムや記録表に書きます。次の人が調べられるようにするためです。

どれもSOPに沿って行います。SOPは標準作業手順書で、一つひとつの手順の進め方をはっきり書いたものです。みんなが同じように作る料理の手順書のようなもので、どの班の誰がやっても、結果は同じでなければなりません。新人はふつう、経験のある人について学び、訓練を受け、できることを確かめてから、その種類の装置をひとりで扱えるようになります。

オペレーターは一日じゅう装置のそばにいるので、異変に最初に気づくことがよくあります。音がいつもと違う、同じ黄ランプが今日もう3回目、といったことです。黄ランプがいちばん見過ごされやすい理由は「装置の赤・黄・緑のランプは何を意味するのか」へ。

エンジニアは何を考えている？

エンジニアはたいていオフィスでデータを見ていて、必要なときにクリーンルームに入ります。受け持つのは「なぜそうするか」です。

• 条件を決める：レシピのガス、温度、時間。規格の上限と下限をどこに置くか、なぜその数字なのか。
• パラメータを変える：数字が少しずつ片側へずれてきたとき、変えるか、どれだけ変えるか、変えるとあとの工程に響かないか。
• 原因を探す：装置がなぜ止まったか、このロットがなぜずれたか。データを比べ、実験し、最後に原因と対策を書きます。

エンジニアにもいくつか種類があります。プロセスエンジニアはできたものが正しいかを、装置エンジニアは装置が動くかを見ます。2人の分担は「プロセスエンジニアと装置エンジニアはどう違う？」へ。

SOPどおりにやることと、「なぜ」を考えることの違いは？

例をひとつ。装置がアラームを出したとします。

オペレーターはOCAPに沿って装置を止め、そのロットをホールドし、エンジニアに知らせます。ここで問題はいったん食い止められ、だめになるウェーハがこれ以上増えることはありません。

その先の問いは、エンジニアのものです。なぜアラームが出たのか。部品が古くなったのか、レシピを調整すべきなのか、それとも前の工程から来たウェーハがもともと少しずれていたのか。装置の中に残った何枚かは、まだ使えるのか。データを見て判断し、その判断の結果にも責任を持ちます。

だから、SOPどおりにやるのは、考えなくていいということではありません。SOPに書いてあることは、そのとおりにやるのがいちばん速くて確実です。SOPに書いていないことが起きたら、それが電話をかけるときです。

夜中に装置が止まったら、誰が誰に電話する？

オペレーターは24時間の交替勤務のことが多く、エンジニアはたいてい日中に働き、夜は交代でオンコールを受け持ちます。組み方は工場ごとに違います（なぜそうするのかは「半導体工場はなぜ24時間止まらないのか」へ）。夜中の出来事は、よくこう進みます。

1. 夜勤のオペレーターが、装置が止まったことに最初に気づき、OCAPでできることを済ませます。
2. オンコールのエンジニアに電話します（装置のことは装置担当、ウェーハのことはプロセス担当へ）。どの装置か、どのアラームか、何時か、どのロットの何枚目で止まったか、もう何をしたかを、はっきり伝えます。
3. エンジニアは電話の向こうで判断します。残りを止めるか続けるか、ほかの人に見てもらうか、朝に出勤して見るか。
4. オペレーターはその判断どおりに進め、記録します。

エンジニアは現場にいないので、電話で聞いたことだけが判断の材料です。オペレーターが正確に伝えるほど、エンジニアは早く判断できます。エンジニアが判断をはっきり伝えるほど、オペレーターも迷わず進められます。

引き継ぎはなぜそんなに大事？

オペレーターは交替のたびに引き継ぎをし、エンジニアも日中とオンコールのあいだでバトンを渡します。ひとつの出来事が夜中から朝まで続けば、何人もの手を通ります。手が変わるたびが引き継ぎで、終わっていないこと、決めたこと、なぜそう決めたかを、次の人に渡さなければなりません。

公開されている労働安全の指針は、引き継ぎを対面で、双方向に、口頭と書面の両方で行うことを勧めています。書いたものは残り、対面なら受け取る人がその場で聞き返せます。夜中の電話でホールドに決めたロットも、記録に書かれていなければ、朝の人には止まっているのが見えるだけで、理由がわかりません。

どちらの仕事が大事？

どちらも大事で、切り離せません。エンジニアが決めた条件は、オペレーターがシフトごとにそのとおりに進めて、はじめて1枚1枚の正しくできたウェーハになります。オペレーターが現場で見つけた異変は、誰かが原因を突き止めて手順を直さなければ、また起きます。オペレーターも改善の提案をします。毎日装置のそばに立っている人にしか見えない問題があるからです。ラインでどのロットを先に流すかは、製造部が決めます。「半導体工場の製造部は何をしている？ ロットの順番はどう決める？」へ。

fab24hrでは

オペレーターは遊べる役割ではありませんが、一日でいちばんよく話す相手です。「出勤」を押して「工場の一日」を選び、「今日のあなたは」のカードで「量産工場」を押し、左右にスワイプしてプロセスエンジニアで止め、名前の下の「イオン注入」を押すと、注入のプロセスエンジニアになります。深夜シフトでは、前工程の夜勤オペレーターのダーが電話で起こしてきます。IMP-01がロットの途中で自分で止まった。装置のオンコールにはもう電話した。決まりどおりモニターウェーハを1枚流して測ったら、平均は規格の中なのに、マップが縞々になっている。残りのウェーハをホールドするか、最後まで打つか。「決めてください」と彼は言います。夜シフトでは、日勤オペレーターのシウランと一緒に、装置が読み込んだレシピと作業票を1行ずつ照合します。彼女が帰ったあと、夜勤に入ったダーがやってきて、ホワイトボードに何を書くかを聞きます。製造部を遊ぶと、昼シフトで、認定を持っている唯一の技術員が昼食に出ています。入社3か月で、認定の試験は来月のジャーが「できます」と言います。彼に流させるかどうかは、あなたが決めます。ゲームに出てくる会社・人物・装置・ロット番号は架空です。オペレーターとエンジニアの分担は公開されている一般的な資料をもとに書いていて、実際の職名や分担は会社ごとに違います。