進無塵室有哪些規矩？為什麼不能化妝、不能帶一般的紙

進無塵室常見的規矩有這些：出門前不化妝、不噴香水，長頭髮收好；換上無塵衣、過風淋室；在裡面只用無塵室的紙和筆，手機和工具先擦過，慢慢走、不吃不喝、不直接摸晶圓；出來時照反方向脫，衣服不穿出去。這些規矩都在擋同一件事：不讓會掉粉、掉屑、掉纖維的東西靠近晶圓，而最大的來源之一就是人自己。各地規定不太一樣，下面是大學和研究機構公開的守則裡常見的做法和原因。

進去之前要做什麼？不能化妝嗎？

第 1 步：出門前，不化妝、不噴香水，長頭髮綁好

• 做什麼：不上粉底、蜜粉、眼影、睫毛膏，不噴香水、髮膠；長頭髮綁起來。
• 為什麼：化妝品很多是很細的粉，一流汗、一摸臉就掉，有的還是金屬的化合物，例如粉底、眼影常用的氧化鐵、二氧化鈦；香水、髮膠會散出細小的液滴，香味也可能蓋過化學品外洩的異味。
• 不這樣會怎樣：無塵衣只露出眼睛那一圈，臉上的粉就從那裡飄出去，也會弄髒無塵衣。

乳液比較特別：乾裂的皮膚也會一直掉皮屑，所以有的地方反而准用指定的乳液。

第 2 步：脫鞋、踩黏塵墊、洗手，換上無塵衣

• 做什麼：鞋子脫在門外，踩過黏塵墊，有的地方還要洗手；外套、包包、書留在外面。頭髮連耳朵收進髮網，有鬍子的戴鬍鬚罩，再由上往下穿無塵衣，手套最後戴。
• 為什麼：鞋底從馬路帶灰進來，黏塵墊會黏掉一些；頭和臉掉的東西最多，要先包好。
• 不這樣會怎樣：衣服還沒穿好就先髒了；頭罩邊露出來的一撮頭髮，會一直掉微粒。

穿的順序和原因，見「無塵室為什麼要穿全身無塵衣？」。

第 3 步：過風淋室，站在中間慢慢轉一圈

• 做什麼：走進一個小房間，身後的門關上，兩側噴嘴吹出過濾過的強風；人站在中間、舉起手，慢慢轉一圈，吹完另一邊的門才會開。
• 為什麼：轉一圈，風才吹得到每一面，把沾在無塵衣表面、沒黏牢的微粒吹掉一些；兩扇門不會同時打開（互鎖），外面的空氣就不會直通進去。
• 不這樣會怎樣：只吹到正面；靠在牆上，貼著牆的那一面就吹不到。

風淋室能吹掉多少，一直有不同看法；它是多一道保險，不能代替把衣服穿好。

進去之後有哪些規矩？哪些東西不能帶？

第 4 步：寫字只用無塵紙和無塵筆

• 做什麼：寫字用無塵室專用的紙和筆，擦東西用不掉纖維的擦拭紙；一般的紙、筆記本、紙箱、鉛筆、橡皮擦、修正液都不帶進去。
• 為什麼：一般的紙是木頭的纖維壓成的，撕、摺、翻頁都會掉纖維和紙粉；鉛筆寫的字是一層石墨粉，橡皮擦會擦出屑。
• 不這樣會怎樣：翻一頁筆記，就在機台旁撒下一片看不見的紙屑；要帶的文件，常先印在無塵紙上或護貝。

第 5 步：可以帶手機嗎？手機和工具先擦過，或用專用的

• 做什麼：手機各地規定差很多：有的要在入口用酒精擦過才能帶，有的只准在外面用，也有地方為了保密，不准在裡面拍照。工具和零件擦乾淨、拆掉紙箱，從傳遞窗（兩邊各有一扇門的小櫃子）送進去。
• 為什麼：手機整天在口袋和手上，有灰和油；殼的縫裡更多，所以有的地方要先拿掉殼。
• 不這樣會怎樣：人換了衣服，灰卻跟著東西一起進去。

第 6 步：慢慢走，不跑，不靠在機台上

• 做什麼：走路不跑、動作放慢，不靠、不坐在機台和工作檯上。
• 為什麼：動作越大，從衣服縫隙擠出來的微粒越多，跑起來還會攪亂由上往下吹的風；靠上去，衣服和檯面上的東西會互相沾。
• 不這樣會怎樣：該被風帶到地板的灰又被捲起來，多飄一陣子，多一點機會落到晶圓上。

第 7 步：不直接摸晶圓，手套破了就換

• 做什麼：晶圓盡量待在密封的盒子（FOUP）裡由機器搬（見「晶圓怎麼在廠裡移動？」）；真的要拿，戴著手套用真空吸筆或專用的夾子，碰背面或邊緣。手套破了、髒了，出去換一雙。
• 為什麼：手上的汗和油帶著鹽分，裡面的鈉跑進電晶體很薄的絕緣層，會讓開關的特性慢慢跑掉。
• 不這樣會怎樣：一個看不見的指印，就可能讓那一塊的晶片出問題。

第 8 步：不吃、不喝、不嚼口香糖

• 做什麼：食物、飲料、口香糖都留在外面。
• 為什麼：碎屑和水滴都是污染；無塵室裡也有化學品，放進嘴裡的東西可能沾到。
• 不這樣會怎樣：一口餅乾的屑，就是一大把微粒。

第 9 步：有些區，規矩更多

• 黃光區只開黃燈，保護晶圓上怕藍光和紫外光的光阻（見「黃光區為什麼是黃色的？」）。
• 拿晶片的地方要防靜電，例如戴接地的手環（見「靜電放電（ESD）是什麼？」）。
• 有的區要受過訓、有權限才進得去，沒有權限的要有人帶。

出來的時候要注意什麼？

第 10 步：照反方向脫，衣服不穿出去

• 做什麼：回到更衣室，大致照穿的反方向脫（有的地方是戴著手套、由下往上脫），口罩、手套丟掉，無塵衣掛回原位或送洗。
• 為什麼：衣服外面已經沾了東西，照順序脫，比較不會碰到裡面和下次還要穿的地方。
• 不這樣會怎樣：穿出去，外面的灰就沾上來，下一次一起帶進去；有的守則就寫明，無塵衣不能穿出無塵室。

有一個例外：火警或氣體警報響了，不用照順序脫，人先出去（見「在晶圓廠工作安全嗎？」）。

這些規矩，擋的是什麼？

十步其實只在做三件事：

1. 擋住人身上掉的：皮屑、頭髮、化妝品的粉、衣服的纖維，都會帶來微粒。
2. 擋住人帶進來的：紙、筆、手機、紙箱、食物。能換成專用的就換，換不了的先擦乾淨。
3. 不讓已經在裡面的東西亂飄、亂碰：慢慢走、不靠、不直接摸晶圓。

空氣由空調過濾（見「無塵室的空氣從哪裡來？」「無塵室有多乾淨？」）；規矩管的，是空調管不到的人和東西。一顆看不見的微粒，就可能讓一顆晶片壞掉，算進良率的損失。

在 fab24hr 裡

按「進廠」、選「打工人的一天」，在「今天你是」卡片上點「量產廠」，左右滑到製程工程師，名字下面那一排色塊點蝕刻，就是蝕刻製程工程師。往無塵室走之前要先換無塵衣，有五種顏色，例如新人穿的「新人黃」、訪客和廠商穿的「訪客藍」。點一下風淋室，按「拆開來看」、再按「看它怎麼動」，看得到人在強風裡慢慢轉一圈。

你還可能遇到：手套指尖破了一個小洞，要出去換還是先貼膠帶；地上撿到無塵筆；設備商在風淋室外面等，零件拆了外箱、擦過，從傳遞窗送進去。當研發線的設備商，早班換成你進不去：有鏡頭的手機要寄在櫃檯，你的證開不了風淋室，要等人帶你進去。

遊戲裡的廠、人物和規定都是虛構的；無塵室的規矩，照大學與研究機構公開的守則寫，不代表任何一家公司的規定。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」查。