黃光區為什麼是黃色的？

走進晶圓廠的照片或影片，常會看到一整區的燈是黃色的，連窗戶都是黃的。那一區，業界叫它「黃光區」或「黃光室」，在那裡上班的人叫「黃光工程師」。黃色不是裝潢風格，答案藏在這一區在做的事情裡。

黃光區在做什麼

晶片上的電路，是一層一層「印」上去的。印的方法叫微影（photolithography），口語就叫黃光：

1. 在晶圓上塗一層薄薄的光阻，一種照到光就會改變性質的材料。
2. 用曝光機把光穿過光罩照到晶圓上，電路的圖案就「曬」在光阻上。
3. 顯影：用藥水把照過光（或沒照過光，看光阻的種類）的部分洗掉，留下來的光阻就是圖案。

接下來，蝕刻或其他步驟會照著這層圖案往下做。一顆晶片要重複這個過程很多次，每一層都要靠黃光先把圖案定義出來。

為什麼是黃色：光阻怕藍光和紫外光

光阻的設計，就是要對曝光機的光有反應。傳統曝光用的光，是紫外光和接近紫外的紫光、藍光：教科書上常見的 g-line（436 奈米，藍紫色）、i-line（365 奈米，紫外光），更先進的製程用波長更短的深紫外光。

問題是，一般的白光燈裡也有藍光和一點紫外光。如果黃光區開一般的白燈，晶圓從機台出來、在等下一站的時候，光阻就會被室內的燈慢慢「曬」到，圖案還沒印上就先變質了。

所以黃光區的燈，是把藍光和更短波長的光濾掉的燈。剩下的光，看起來就是黃色、琥珀色。窗戶上貼的黃色膜也是同一個道理：擋住外面白光裡的藍光和紫外光。

一句話：黃光區是黃色的，因為光阻怕藍光和紫外光，黃光不會讓它感光。

是為了保護工人的眼睛嗎？

不是。黃色是為了光阻，不是為了人。反過來，長時間在單一顏色的光下工作，對人並不特別舒服：有大學的研究比較過黃光區和鄰近區域的工作者，黃光區的人辨認顏色的能力比較差、眼睛也比較容易疲勞。在黃光區看什麼都是黃的，紅色、橘色、白色常常分不清，這也是黃光區的人常說的日常。

那為什麼不乾脆關燈？

因為人還要在裡面工作：看機台、搬晶圓、看標籤、處理異常。全黑太危險，也做不了事。黃光是一個折衷：光阻幾乎不會被它影響，人眼又看得夠清楚。

至於為什麼不用紅光？紅光對光阻也很安全，但人眼對紅光沒那麼敏感，同樣的燈光功率，紅光看起來暗得多。黃色、琥珀色剛好在「光阻不怕」和「人看得清楚」之間。

每一區都是黃色的嗎？

不是。只有處理光阻的地方，也就是塗佈、曝光、顯影這一段，才需要黃燈。晶圓廠其他區域（蝕刻、薄膜、清洗、量測）用的是一般的白光。所以從無塵室的走道看過去，常常只有一塊是黃的。

黃燈也不是裝上去就永遠安全：濾光的燈管、燈套會老化，選錯燈也可能漏出一點紫外光。研究單位做過實驗，用光阻本身去測黃光區的燈，確實有照明會讓光阻慢慢感光。這也是為什麼晶圓在黃光區裡停太久，本身就是一個要注意的問題。

黃光做錯了，還能重來

黃光有一個其他站沒有的好處：做錯了可以重來。曝光偏了、疊對超出規格，只要還沒進蝕刻，就可以把光阻洗掉，重新塗、重新曝光，這叫重工。一旦蝕刻下去，材料被吃掉了，就回不去了。所以黃光後面那一道量測，常常是整條線最重要的關卡之一。

在 fab24hr 裡

在 fab24hr 的量產廠裡，黃光區就是無塵室左邊那一塊黃色地板、兩面簾子圍起來的地方。黃光工程師的四個班，從塗佈顯影機卡住、曝光後烘烤的溫度、疊對超規要不要重工，到光罩上的一顆缺陷被印成每一片都有的重複缺陷。遊戲裡的公司、人物和數字都是虛構的；黃光在做什麼、為什麼是黃色，照公開的一般資料寫。想先看名詞，可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」。