晶圓廠用過的水去哪裡？

晶圓廠用過的水，不會全部倒在一起排掉。它在機台旁邊就照「裡面多了什麼」分開收：比較乾淨的沖洗水回收，處理過再送回去做超純水；含酸鹼、氟、研磨顆粒、金屬、有機物的水，各走各的管子，到廢水站用不同的方法處理，量過合格才放流，也就是放出廠外。這就是常說的半導體廢水處理與水回收。另外，機台還有一套不碰晶圓的冷卻水，在封閉的管子裡一直繞圈，把機台的熱帶走。

用過的水，裡面多了什麼？

晶圓每泡完一次藥液，就要用超純水沖乾淨（超純水怎麼做，見「超純水有多純？」）。沖下來的水帶走了晶圓上的東西，所以同樣是用過的水，差很多：

• 最後幾道沖洗的水：只多了一點點東西，幾乎還是乾淨的。
• 泡完藥液、前幾道沖下來的水：帶著酸或鹼（見「晶圓清洗是什麼？」）。
• 用過氫氟酸的步驟：水裡有氟。氫氟酸會溶掉二氧化矽，見「蝕刻是什麼？」。
• CMP 磨完沖下來的水：混著很細的研磨顆粒（見「CMP 是什麼？」）。
• 顯影、用溶劑的步驟：水裡有有機物。
• 做金屬導線的步驟：水裡可能有銅這類金屬。

有點像家裡的垃圾分類：資源回收、廚餘、一般垃圾各有去處，全倒進同一包，能回收的也髒了。

用過的水，一步一步去哪裡？

第 1 步：在機台旁邊就分開

每台機台的排水，照種類接到不同的管子。這樣每一種才能用對的方法處理，比較乾淨的那一股也才保得住。混在一起，乾淨的水被弄髒、不能回收，要處理的量變大；有些東西被沖淡了，反而更難除，例如氟。

第 2 步：回收的那一條，一直量導電度

回收的管子上裝著儀器，一直量水的導電度：水裡溶的離子（帶電的小粒子）越多，越導電（超純水看的電阻率，就是它倒過來）。數字往上還照收，髒東西會一路送進純水系統，前段的逆滲透越來越吃力；所以一超過範圍，就改送去廢水站，乾淨了再收回來。

第 3 步：回收的水，送回純水系統的前段

回收的水先過濾、處理，再跟外面抽進來的原水一起，從純水系統的前段開始，一關一關做成超純水。它多半比一般的原水乾淨，處理起來省力，也少抽一點外面的水。它不能直接拿去沖晶圓：回收的水只是「比較乾淨」，還不是超純水。

第 4 步：其他的水，先進廢水站的大槽混勻

各處排來的廢水，先流進一個大槽（調勻槽），混勻了再一點一點送去處理。廢水一下多、一下少，濃度也忽高忽低，先攤平，後面加藥才跟得上。一次來太多，例如清洗機換槽液、把舊藥液一口氣排掉，槽會滿、藥來不及反應，出口的水就可能不合格；所以大量排放前要先跟廢水站說好，分批排。

第 5 步：照種類，用不同的方法處理

沒有一種方法能一次處理全部，所以前面才要分開收。做法各廠不一樣，常見的原理是：

• 酸和鹼：加鹼或加酸，中和到接近中性。
• 氟：加鈣。鈣和氟結合成氟化鈣，一種不溶於水的固體，沉下來就能分出去。
• 研磨顆粒：顆粒很小，表面又帶電，彼此推開，一直浮在水裡；加藥讓它們黏成大團，才沉得下去。
• 銅這類金屬：讓它變成沉澱，或用樹脂把它抓出來。
• 有機物：很多交給微生物慢慢吃掉；不好分解的，有的會先用氧化的方法打碎。

沉下來的東西變成一攤泥（污泥），擠掉水分，再運出去處理。

第 6 步：量過，合格才放流

處理好的水，放出去之前要量，例如酸鹼值、氟有多少，在範圍裡才放。不在範圍裡，就先關上出口，把水送回前面再處理一次。放到哪裡、要合格到什麼程度，看當地的規定。

用過的水，能全部回收嗎？

不能。冷卻水塔會蒸發掉一些水；逆滲透擋下來的東西，留在一股比較濃的水裡排掉；有些東西很難除乾淨，混進回收的水就不能收（見「超純水有多純？」）。能回收多少，各廠差很多，算法也不一樣，這篇不寫數字。

機台的冷卻水，跟超純水是同一套嗎？

不是。冷卻水不碰晶圓，是另一套封閉的水：從冷卻水站送出去，沿著主管路分成一支一支，進到每台機台，流過泵浦、電源、腔體旁邊把熱帶走，再流回冷卻水站。在那裡，它隔著熱交換器（兩股水不混、只交換冷熱）把熱交給更冰的冰水，冷下來再送出去。冰水由冰水機做，空調也要用（見「晶圓廠為什麼那麼耗電？」、「無塵室的空氣從哪裡來？」）。

冷卻水也要處理過：不必像超純水那麼純，但太髒會結垢、長東西，熱帶不走，機台裡細細的水路也可能堵住。

供應這一端，廠務看的是送水的壓力、溫度和每一支的流量。很多機台自己也盯著冷卻水的流量，少到一個程度就發警報、停下來，免得過熱燒壞。

主管路正常、只有一支少水，問題多半在那一支：閥沒開好、過濾網堵了、接頭有狀況。這時把整圈的送水壓力調高，不一定補得到它，同一圈的別台反而先多了水。就像大樓裡一戶的水龍頭出水小，要先看那一戶的水管，不是把整棟的水壓調高。

在 fab24hr 裡

按「進廠」、選「打工人的一天」，在「今天你是」卡片上點「量產廠」，左右滑到廠務工程師，在名字下面點「廠務・水」那一區，就是水課工程師（目前標著 Beta）：超純水、冷卻水、廢水都歸你們這一組。四個班照你打開的時間：

• 深夜班「兩組輪流」：你在家 on-call。凌晨四點，純水系統例行切換到 B 組，電阻率沒動，TOC（總有機碳，水裡有機物的多少）卻一點一點往上：B 組打碎有機物的紫外線燈用久了。你可以請中控室切回 A 組，或讓 B 組照送、天亮換燈。五點中控室來電（可以不接）：CVD-02 那一支冷卻水少，設備問能不能把整圈的送水壓力調高。
• 早班「換酸的那一缸」：清洗機 WET-05 換槽液，舊的槽液要排到廢水站，那裡的調勻槽已經偏高：你決定一次排完，還是分兩次。
• 午班「新管子的水」：新機台的純水接點接好了，旁邊有一段預留、一直沒用的短管，水停在裡面不流，叫死角：停著的水會長細菌、積顆粒。你決定現在剪掉還是先蓋著；設備商還想先接機台試水，你可以拒絕。
• 晚班「回收那一條」：WET-05 新換的槽液洗晚上第一批，沖洗水回收那一條的導電度往上。中控室用對講機問你（可以不回）：先切去廢水，還是照常回收、看著。

遊戲裡的廠、人物、機台編號和時間都是虛構的，也沒有寫這座廠用多少水、回收多少、放流標準是多少；水怎麼分、怎麼處理、怎麼回收，照公開的一般資料寫，不代表任何一家公司的做法。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」查。