製程工程師和設備工程師差在哪？

一句話：製程工程師（PE）管機台「做出來的東西」對不對，設備工程師（EE）管機台「本身」能不能好好動。同一台機台，一個看晶圓，一個看機器。兩個人每天都會找彼此，因為機台一有狀況，兩邊的事就纏在一起。

製程工程師在顧什麼？

• Recipe：Recipe 是機台照著跑的設定，氣體、壓力、功率、秒數。製程工程師決定用哪一份、改哪裡。
• 量測和管制圖：每一批做完量厚度、線寬，數字畫在管制圖上，偏了要先發現。
• 判貨：結果超出規格，這一批要 Hold 住、重工，還是可以放行，他要給判斷。
• 改善：做實驗，讓同一道製程做得更穩、缺陷更少。

設備工程師在顧什麼？

• 保養：機台用久了零件會磨損、腔體會髒，要照排程做保養：拆開、清潔、換零件、裝回去。
• 處理 alarm：機台亮紅燈、跳出 alarm，先找出是哪個零件、哪個訊號出了問題。
• 修好它：機台 Down 了，修到能 Up；備品不夠要想辦法，大問題要跟設備商的工程師一起看。
• 讓機台少停：稼動率是設備工程師最在意的數字之一，機台的感測資料（FDC）也是他每天看的東西。

一台機台半夜停了，兩個人各做什麼？

假設半夜一台蝕刻機停下來，裡面還有晶圓：

1. 輪班的技術員先看機台、通報值班的工程師。
2. 設備工程師查硬體：哪個零件、哪個訊號出問題，能不能先恢復。
3. 製程工程師查晶圓：卡在裡面的那幾片做到哪一步、還能不能救（例如把沒跑完的補上，或只能報廢），後面排隊的貨要不要先改走別台。
4. 修好之後，設備工程師把機台交機，製程工程師跑測機，用監控片看結果在規格內，機台才復機回到生產。

最後一步特別重要：硬體修好，不代表做出來的東西一樣好。所以「修」和「驗」分給兩個人，各簽各的。

什麼事找 PE，什麼事找 EE？

狀況	先找誰
機台亮紅燈、跳 alarm、停機	EE 處理硬體，PE 判斷裡面和後面的貨
量測超出規格、管制圖慢慢偏	PE
保養排程、零件壽命、備品	EE
換 recipe、做實驗	PE
保養完能不能開始生產	兩個一起：EE 修好，PE 測機

讀什麼科系、適合什麼樣的人？

大學的半導體職涯資料提到，製程工程師常見化工、材料、化學背景，設備工程師常見機械、電機背景；實際上兩邊都有各種理工科系的人。比較大的差別在喜歡的問題：喜歡從數據裡找原因、調條件的，比較像製程；喜歡動手拆解、搞懂一台機器怎麼運作的，比較像設備。兩種工作都可能要輪班或值班 on-call，因為晶圓廠 24 小時不停。

在 fab24hr 裡

fab24hr 有製程和設備兩種位子，量產廠和研發線各分黃光、蝕刻、薄膜、CMP、爐管、植入、清洗七區。當製程工程師，半夜要決定卡在機台裡的晶圓怎麼辦；當設備工程師，要看技術員傳來的照片判斷是哪裡壞了，修好再交給製程測機。遊戲裡的機台、批號和人物都是虛構的；兩種工程師怎麼分工，照公開的一般資料寫，實際的分工每家公司不一樣。PE 這兩個字母還有另一個意思，可以讀「PE 是製程工程師還是產品工程師？」。