廠務工程師在做什麼？

廠務工程師，顧的是讓整座晶圓廠「活著」的那些系統：電、超純水、氣體、化學品、無塵室的空調、排氣和廢水處理、冷卻水。機台負責做晶片，可是機台要吃電、要用水沖晶圓、要用氣體和藥液，還要把熱和廢氣排出去；這些全部從廠務來。口語常把它簡稱「水電氣化」：水、電、氣體、化學品。英文叫 facilities engineer。

廠務到底顧哪些系統？

把晶圓廠想成一座城市：機台是一間一間的店，廠務就是自來水公司、電力公司、瓦斯公司和清潔隊，全部歸同一個單位管。

系統	做什麼
電	每一台機台、空調、泵浦都要用電
超純水	沖洗晶圓，幾乎只剩水分子的水
氣體	氮氣這類用量大的，從大儲槽或製氣設備用管子送進來；有毒、會燒、會腐蝕的特殊氣體，多半一瓶一瓶放在氣瓶櫃裡送出去
化學品	酸、鹼、溶劑，用管子送到機台旁邊
無塵室空調	過濾空氣，讓溫度、濕度穩定，讓室內氣壓比外面高一點
排氣與廢水	機台抽出來的廢氣、用過的水，處理過才能排出去
冷卻水	一條送、一條回，把機台的熱帶走

這些管子、泵浦和處理設備，很多放在無塵室樓下的廠務層。機台的廢氣常先在旁邊的尾氣處理燒掉、分解或用水洗過，才送進排氣的大管子。超純水怎麼做，見「超純水有多純？」；無塵室的空氣怎麼吹，見「無塵室有多乾淨？」。

為什麼這些系統停一下，影響就很大？

一台機台壞了，停的是一台。廠務的系統一停，停的是用到它的每一台。就像一棟大樓停電，不是一戶沒電，是整棟。

電最明顯。外面的電壓突然掉一下，多半不到一秒，叫壓降。光是這一下，就可能讓機台停下來。業界還為這件事訂了一份標準，要求機台至少撐得過某些短暫的壓降，可見這不是少見的事。機台停下來的時候，裡面可能還有晶圓；重新開機、確認做出來的東西沒問題，可能要好幾個小時，嚴重的更久。

其他系統也一樣。冷卻水停了，泵浦和機台很快就會過熱停下來；超純水停了，要沖洗的步驟就做不了；溫度、濕度跑掉了，對溫濕度很敏感的黃光就會受影響。所以這些系統一年到頭都在跑（見「晶圓廠為什麼 24 小時不停？」）。

廠務工程師每天在做什麼？

中控室：一面牆看全廠

全廠的水、電、氣體、化學品、排氣，還有無塵室的溫度、濕度、壓差，訊號都送到中控室，排在一整面牆的螢幕上。中控室二十四小時有人，所以廠務也有人要輪班值夜。美國常用的一份消防規範，在半導體廠那一章裡就要求：生產區外面要有一個緊急控制站，隨時都有受過訓練的人在。

巡檢：走一圈，用眼睛和耳朵看

螢幕上看得到數字，看不到滴水、怪聲、鬆掉的東西。所以要到現場走一圈：看錶、聽泵浦的聲音、看有沒有漏。例如有些送酸的管子會做成雙層管：內管漏了，外管先接住，中間的偵測燈會亮。

換瓶、吹淨、測漏

特殊氣體用完要換瓶，這是最要小心的時候之一。常見的做法是兩個人一組、戴好呼吸防護。拆之前先吹淨：抽真空、充氮氣，來回好幾次，把管子裡剩下的氣體趕乾淨。裝好之後測漏：用偵測器沿著每一個接頭聞，確定沒有縫，才開瓶。櫃子裡也裝著氣體偵測器，萬一漏了，第一個知道。

上鎖掛牌：有人在修，不要動

修東西之前，先把會送東西過來的開關關掉、鎖住，再掛上寫著名字的牌子，這叫上鎖掛牌。職業安全的規定裡，要擋住的不只是電，還有壓力、化學品、熱；管子上的閥也算一種開關。廠務的系統全是管子和電，所以常常用得到。

新機台進廠：接管

新機台還沒到，廠務就要先把接點留好。機台定位之後，照一張接點表，把水、電、氣體、排氣一條一條接上，這叫接管。業界的標準裡，也有一份清單，列出機台接點上一般會有哪些廠務供應。

廠務工程師和設備工程師差在哪？

一句話：設備工程師顧機台本身，廠務工程師顧機台吃的水電氣。兩邊大致以機台的接點為界：接點外面的管子、電、排氣歸廠務，接點裡面、機台裡的零件歸設備。

	設備工程師	廠務工程師
顧什麼	機台本身：腔體、零件、保養	機台吃的：電、水、氣體、化學品、排氣、冷卻水
出事的範圍	多半是一台	用到那個系統的每一台
常做的事	處理 alarm、保養、換零件	中控室、巡檢、換瓶、接管

兩邊常常要打電話。例如一台機台的氣體用得比平常多：廠務從供應那一端看得到，源頭正常、同一條線上別台也正常；問題在那台機台自己的接頭，那就是設備的事。設備工程師在做什麼，見「製程工程師和設備工程師差在哪？」。這些系統要用到的知識，橫跨電機、機械、化工、環工。

在 fab24hr 裡

按「進廠」、選「打工人的一天」，在「今天你是」卡片上點「量產廠」，左右滑到廠務工程師，遊戲裡顧的是氣體和化學品。四個班照你打開的時間：深夜班「值夜」，在中控室看一面牆，清洗機保養完補酸的閥停在手動，兩個人下樓，先看閥上有沒有上鎖掛牌再轉回自動；還可能有人打來問氦氣是「一台的問題還是全部」，你從供應那一端回答。早班「換瓶」，巡檢氣瓶櫃、蝕刻機下面的泵浦、往清洗區的雙層管，再兩個人換一瓶特殊氣體，省掉的步驟之後會回來找你。午班「搬入」，新機台過兩道門，照接點表一條一條接管，新的氣體管要保壓，等不等滿由你決定。晚班「櫃子裡的一點點」，氣瓶櫃裡的偵測器讀到一點點，要分辨是真的漏，還是偵測器自己飄了。遊戲裡的廠、人物、機台編號和時間都是虛構的，也沒有寫吹淨要幾次、警報設在多少這些數字；廠務顧什麼、為什麼這樣做，照公開的一般資料寫，不代表任何一家公司的做法。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」查。