機台的 Alarm 和 Warning 是什麼？為什麼不能隨手按掉

機台的 Warning 是提醒：某個數字開始不對勁，但機台還能繼續跑，通常亮黃燈。Alarm 是警報：比較嚴重的異常，機台常會自己停下來，通常亮紅燈。晶圓廠的機台一天會叫很多次，大部分不是大事，所以很容易犯的錯，就是沒看清楚就按掉。

Alarm 和 Warning 差在哪？

用手機來想：電量快沒了，跳出一個提醒，你還能繼續用，這像 warning；電量低到撐不住，手機自己關機，這像 alarm。

機台也一樣。Warning 的時候，機台照常做，只是提醒該有人來看一眼，例如某個氣體流量靠近上限、還沒超過。Alarm 的時候，正在做的那一步可能中斷，機台停下來等人。有大學無塵室的機台操作手冊就這樣分：「硬」的 alarm 會讓正在跑的製程中止，「軟」的只提醒，製程繼續跑。

各廠、各機台的叫法和分法不太一樣，大方向相同。機台頭上的三色燈怎麼亮、為什麼黃燈最容易被忽略，見「機台上的紅黃綠燈是什麼意思？」。

機台怎麼知道該叫了？

機台裡有很多感測器，一直在量壓力、溫度、氣體流量。每個數字都有人事先設好界線，超過了就叫。

一種常見的做法，是同一個數字設兩條線：比較靠近正常的那條碰到了，只發 warning；再往外那條碰到了，才發 alarm、停下來。裡面那條提早叫，好處是早一點發現，代價是比較常「狼來了」。

這些數字怎麼被一直盯著、界線怎麼訂，見「FDC 是什麼？」；量出來的結果怎麼用管制界線判斷，見「SPC 管制圖是什麼？」。

互鎖是什麼？為什麼有時候機台不讓你動？

除了叫人，機台還有一種更硬的保護，叫互鎖（interlock）：危險的條件還在，某些動作就做不了。

生活裡最常見的是微波爐：門一打開，它就停；門沒關好，按了也不會動。機台也一樣，例如蓋板打開、碰得到裡面的高壓電或射頻電源時，電就送不出去。

互鎖的好處是不必靠人記得：條件不對，機台自己擋下來。所以遇到互鎖，該做的是處理好擋住它的那個狀況，不是想辦法繞過去。

Alarm 響了，一步一步怎麼處理？

各廠細節不同，大致的順序是這樣：

第 1 步：先看清楚是什麼 alarm、裡面有沒有貨

• 做什麼：到機台前看螢幕：哪一台、哪一個腔體、哪一個 alarm、停在哪一步，裡面有沒有晶圓、是哪一批。
• 為什麼：原因可能差很多；晶圓在不在裡面、停在哪一步，決定下一步怎麼做。
• 不這樣會怎樣：沒看清楚就動手，卡在裡面的晶圓可能又被搬一次。

第 2 步：照 OCAP，先把損害停住

• 做什麼：照這台機台的異常處置流程 OCAP 一格一格做：該停的停住，可能受影響的貨 hold 住。
• 為什麼：OCAP 是事先寫好的順序，半夜人又累又慌，照著做最不會漏。
• 不這樣會怎樣：一邊猜一邊照跑，後面的貨可能跟著做壞。

OCAP 寫些什麼、為什麼要事先寫好，見「OCAP 是什麼意思？」。

第 3 步：通知該通知的人

• 做什麼：打給負責的工程師：機台本身的問題找設備，貨的問題找製程；半夜就打給 on-call 的人，說清楚看到什麼、已經做了什麼。
• 為什麼：要不要打開機台修、卡在裡面的晶圓還能不能用，要懂的人來判斷。
• 不這樣會怎樣：自己硬處理，可能把小問題弄大；拖到天亮才說，機台又多停幾個小時。

半夜線上的人和工程師怎麼接力，見「技術員和工程師差在哪？」。

第 4 步：確認原因，再 reset

• 做什麼：等原因找到、排除了，才把錯誤狀態清掉、讓機台重新開始，這叫 reset。
• 為什麼：reset 不會修好任何東西，它只是把「出錯了」這個狀態清掉。
• 不這樣會怎樣：原因還在，同一個 alarm 很快又跳，而且可能更糟（下一節說）。

第 5 步：留下紀錄

• 做什麼：寫下幾點響、什麼 alarm、做了哪些事、誰處理；機台自己的 alarm 紀錄也留著，不要清掉。沒處理完的，寫進交接單。
• 為什麼：同一個 alarm 反覆出現，可能是零件慢慢變壞的前兆；有紀錄，才看得出「又來了」。
• 不這樣會怎樣：每次都像第一次，等到大出事，才發現它其實叫過很多次。

為什麼不能一直按 reset？

按一下 reset，燈變綠、機台又能跑，看起來最快。可是：

• 問題沒解決：讓它停下來的原因還在，alarm 會回來。
• 可能傷到晶圓或機台：機台會停，常是因為再做下去會出事。晶圓沒貼好就硬再跑，或卡在半路又被搬一次，晶圓和零件都可能受損。

有大學無塵室的操作手冊寫得很直接：出現 alarm，先停下製程，排除了問題、或通知管理機台的人之後，才能繼續。

警報疲勞是什麼？

提醒響得太頻繁、大多又沒事，人就會開始習慣性地按掉，這叫警報疲勞（alarm fatigue）。醫院很早就在討論這件事：病床旁的監測儀器一直嗶嗶叫，大部分不需要處理，醫護人員慢慢就聽而不聞，甚至把音量調小、把界線調寬。

工廠也一樣。同一個聲音聽了一百次都沒事，任何人都會開始習慣；麻煩的是，真正要緊的那一個，聽起來跟其他的一模一樣。這不只是哪一個人不夠認真，所以解法也不只是叫大家更小心，而是讓警報本身變少、變準。

怎麼讓真正要緊的 alarm 不被淹沒？

工業上有專門管警報的做法，叫警報管理。常見的幾個原則：

• 每一個警報，都要有人該做事：響了卻不需要任何人做什麼的，就不該當警報，可以改成只記下來。
• 界線要定得合理：太緊，一點正常的晃動就叫；太鬆，等它叫已經來不及。
• 太常響的，回頭調：定期看紀錄，找出最常響的那幾個：是界線不對、感測器壞了，還是真的有問題？數字在界線上下晃、一直響一直停的，加一點緩衝。
• 分輕重：最要緊的排在最前面，讓人一眼看到。

在 fab24hr 裡

按「進廠」、選「打工人的一天」，在「今天你是」卡片上點「量產廠」、左右滑到「製造部」。四個班照你打開網站的時間排。深夜班 02:47，蝕刻機 ETCH-03 的 A 腔亮紅燈、跳 alarm，裡面卡著急件 H-2417 的第 7 片。夜班的阿豪說，通常按 reset 再跑一次就過了；OCAP 寫的是：機台 alarm，先通知工程師。你可以照 OCAP 打給 on-call 的製程，也可以先按一次 reset 試試看。按下去，機台想了三秒，又跳了同一個 alarm，下面多了一行：WAFER NOT CHUCKED，晶圓吸不住。

當蝕刻製程工程師（滑到製程工程師、名字下面點「蝕刻」），早班到 ETCH-03 看 alarm 紀錄：這三天有 6 次同樣的黃燈 warning，每一次都被按掉了。晚班留下來的話，A 腔的 He 流量會碰到警示線，亮起黃燈：「He 流量接近上限。機台可以繼續跑。」你可以按掉下班，也可以開一張單給夜班。

遊戲裡的公司、人物、機台編號和數字都是虛構的；alarm 和 warning 是什麼、怎麼處理，照公開的一般資料寫，各廠的做法不一樣。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」查。