晶片怎麼做:一層一層疊出來的
晶片不是一次做出來的,而是在晶圓上一層一層疊上去:每一層都要印圖案、照著刻、長新的膜、磨平、洗乾淨,重複幾十次。這一類一次講一道:它在做什麼、為什麼難。
晶圓廠七個製程區各在做什麼?
晶圓廠前段常分成幾個製程區:黃光印圖案、蝕刻照圖案刻、薄膜長一層、CMP 磨平、爐管高溫加熱、離子植入打進原子、清洗把表面洗乾淨。這篇一區一段白話說明,也說一片晶圓怎麼在這些區之間來回上百道步驟。
微影(黃光)是什麼?晶片的圖案怎麼「印」上去
微影(photolithography),台灣晶圓廠口語叫黃光,是用光把電路圖案「印」到晶圓上的步驟:塗光阻、隔著光罩曝光、顯影,再交給蝕刻照著刻。這篇用白話講每一步在做什麼、為什麼要一層一層重複幾十次、每一層怎麼對準,以及能印多細看什麼。
黃光區為什麼是黃色的?
晶圓廠的黃光區(微影區)燈是黃的,不是為了好看,也不是為了保護眼睛,而是為了保護塗在晶圓上的光阻:它怕紫外光和藍光。這篇用白話講黃光在做什麼、為什麼是黃色、為什麼不乾脆關燈。
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