Hold 是什麼？一批晶圓被擋下來之後，放行、重工、報廢誰決定

Hold 的意思，是把一批晶圓扣在原地、不准往下一站走，直到有人決定它怎麼辦。晶圓廠一發現不對勁，最先做的事之一就是 Hold：先擋住，再查、再判。判的結果大致三種：沒問題就放行，照原本的路走下去；能補救的就重工，把那一步重做；救不回來的就報廢。英文常說 lot hold、hold lot。

出了問題，晶圓廠照什麼順序做？

大致分六步：

1. 發現：有人或有系統看到不對。
2. 擋住：把這一批 Hold 住，可能也中了的別批一起擋（圍堵）。
3. 照表處理：照事先寫好的 OCAP 一步一步做。
4. 決定這批怎麼辦：放行、重工，還是報廢。
5. 找根本原因。
6. 改了以後不再發生。

這篇講前四步。後兩步，見「根本原因分析是什麼？」。

有一個例外：氣體外洩、化學品外洩、火警這種會傷人的事，第一步是讓人照疏散路線離開，貨和機台都排在後面（氣體為什麼要那麼小心，見「晶圓廠用哪些氣體？」）。

第 1 步：發現不對

做什麼：訊號有好幾種。量測的數字超出規格；管制圖上的點跳出界線（見「SPC 管制圖是什麼？」）；機台的感測器數字不對，FDC 發通知（見「FDC 是什麼？」）；或是人看到的，例如機台亮紅燈停下來、片子上有一道刮痕。

為什麼：越早發現，中的貨越少。

不這樣會怎樣：問題跟著晶圓一站一站往下走，等到最後才看到，已經又多做了好幾批。

第 2 步：擋住：先 Hold 這一批，再劃出範圍

• Hold 住這一批，寫清楚原因：在 MES（記著每一批貨在哪一站的系統）上把它 hold 住，系統就不會再派它進下一站；同時寫下看到什麼、誰負責處置，盒子上也貼標籤。為什麼：還不知道壞在哪，錯的貨多走一站，就多一站要收拾。不這樣：原因沒寫，接手的下一班不知道為什麼不能動、該問誰，貨就在架上躺著沒人管。
• 劃出範圍，把可能中的也擋住：問一句「還有誰也中了？」同一台機台、同一段時間做過的批，從上一次確定沒問題的那一刻算起，都算可能中了，先全部擋住再判，MES 查得到是哪幾批。為什麼：機台出狀況，很少只壞一片。不這樣：只擋看到的那一批，同樣有問題的別批照樣往下走，最後可能走到客戶手上。

第 3 步：照 OCAP 處理，機台修好先測機

做什麼：照那一台、那一種異常的 OCAP 走：機台先停、確認數字沒有量錯、通知 on-call 的工程師（見「OCAP 是什麼意思？」）。

為什麼：出事可能在半夜，照著事先寫好的順序做，不用等人想。

不這樣會怎樣：各憑記憶做，這一班和下一班做的不一樣，還可能漏掉一步。

機台修好，也不是馬上放貨。設備把機台交回來，只代表它會動；要先跑幾片測機片，確認做出來的結果在規格內，製程也確認過，才復機、讓貨進去。不這樣：修的地方萬一哪裡沒弄好，第一批放進去的貨又中了。測機用的晶圓，見「控片、擋片、監控片是什麼？」。

第 4 步：決定這批怎麼辦：放行、重工、報廢

做什麼：一片一片看紀錄和量測結果，決定每一片的去留，這叫判片。同一批可以分開判：幾片報廢、幾片重工，其他照跑。

判的結果	什麼時候	接下來
放行	查清楚沒事，例如重新量一次，數字回到界線內	解除 hold，照原本的路走
放行，附偏差單	沒完全照規定走，但判斷還能用	寫清楚哪裡不一樣、為什麼能用、誰簽的；單子一直跟著這批
重工	那一步還能重做或補做	例如黃光還沒蝕刻，可以洗掉光阻重來；做完再量一次
報廢	救不回來	從這批剔除

為什麼要一片一片判：判得太鬆，壞的走到後面才被發現；判得太嚴，好好的晶圓也丟掉。而且越後面的站，報廢越貴：一片晶圓要走幾百道步驟、花上幾個月，越接近做完，身上累積的工就越多。重工也有代價：多跑一趟，多等好幾個小時。

最後，解除 Hold：判完、處置也做完，才把 hold 解開。誰解的、為什麼可以解，也要記下來。不這樣：之後有人來查，說不清楚這批為什麼走了。

放行、重工、報廢，誰決定？

不是一個人說了算。常見的分工是：

• 那一站的製程工程師：看數字、看機台，判斷問題出在哪裡。
• 製程整合：看每一片走過的紀錄，決定它續跑、重工還是報廢（見「製程整合工程師（PIE）在做什麼？」）。
• 品保：一起看，確認處置有紀錄、偏差單該簽的人簽了；有些情況還要客戶同意（見「品保（QA）在晶圓廠做什麼？」）。

很多工廠把這種跨部門一起判的會叫 MRB（material review board，物料審查委員會）。叫法和分工各廠不同，道理一樣：不合規定的貨要標示、隔開，處置要留下紀錄，看得出是誰核准的。

Hold 住的貨，為什麼不能一直放著？

被 hold 住的貨不會自己動，時間卻照樣在走：

• 生產週期變長：一片晶圓本來就要做好幾個月，hold 又多等一段（見「一片晶圓要做多久？」）。
• Q-time 在倒數：有些站做完，下一站要在時間內開始。hold 的時候倒數照走，超過了，本來沒事的貨也可能要重工（見「Q-time 是什麼？」）。
• 交期往後延：客戶在等的貨被擋下來，生管要重排、算出會晚多久，再由業務告訴客戶（見「生管在做什麼？」）。

所以每一個 hold 都要寫清楚原因、有人負責，也要說得出大概什麼時候判；擋下來不等於做完了。

在 fab24hr 裡

主線「晶片的一生」第 6 章「那通電話」，你是這週 on-call 的蝕刻製程工程師。凌晨 02:47 起，夜班的阿豪打電話找你：ETCH-03 的 A 腔跳 alarm，一批急件 H-2417 的第 7 片卡在腔體裡。你在電話裡交代：A 腔掛 down，第 7 片不要硬取，前 6 片拆批出來先送清洗，其他整批 hold。清洗機前排了三批，誰先洗由你排。04:05，阿豪傳來交接單草稿，hold 原因和處置負責人兩格是空的：要撥回去補上，還是回一個「好」，由你決定；空著的話，洗好的那 6 片在系統上沒跟著 hold，差點被派往下一站。

第 7 章「救火」，早上沒有人先告訴整合的雅婷，她的貨為什麼被 hold。設備的阿凱說，他們換完零件交回來的只是「機台會動」，做出來的對不對，要等你測機過了才算。測機過了，別的貨可以進；H-2417 還 hold 著，要等量測看過第 7 片剩下多厚，雅婷才判得了要不要補。

從品保那一邊看：按「進廠」、選「打工人的一天」，在「今天你是」卡片上點「量產廠」、左右滑到「品保工程師」。四個班照你打開網站的時間排；深夜班「放還是擋」，一批 25 片的貨清晨六點半就要上車，抽 5 片有 2 片刮痕：全部再看一次、整批先擋，還是只拿掉一片。

遊戲裡的公司、人物、批號、機台和流程內容都是虛構的；Hold 和出了問題的處理順序、分工，照品質管理標準的一般說法和公開的學術資料寫，實際的叫法、分工和表單每家工廠不一樣。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」查。