SOP 是什麼？晶圓廠的標準作業程序

SOP 是 Standard Operating Procedure 的縮寫，中文叫標準作業程序，也有人說標準作業流程：把一件事每一步怎麼做寫下來的文件，讓不同的人、不同的班來做，做出來都一樣。一份公開的 SOP 撰寫指引這樣定義它：一套書面的指示，記下一個組織裡例行、重複在做的事。在晶圓廠，機台怎麼開、保養怎麼拆裝、氣瓶怎麼換，都有自己的 SOP。

有點像組裝家具的說明書：第一步拿哪兩塊板子、第二步鎖哪幾顆螺絲，照著做，誰來組都一樣。差別是在晶圓廠做錯一步，賠上的可能是一整批晶圓。

SOP 這三個字母是什麼意思？

• Standard：標準，大家照同一套。
• Operating：作業、操作，平常在做的事。
• Procedure：程序，一步接一步的做法。

晶片封裝的名字裡也有 SOP，那是 Small Outline Package 的縮寫：一種從兩邊伸出細腳的封裝，跟這篇講的文件是兩回事（見「晶片的封裝有哪些樣子？」）。

SOP 跟 recipe、OCAP 差在哪？

先說 recipe：它是給機台照著跑的數字：溫度、氣體、秒數（見「Recipe 是什麼？」）。SOP 是寫給人看的：做哪些動作、照什麼順序、核對什麼。OCAP 也寫給人看，但只管出了異常的時候照什麼順序處理（見「OCAP 是什麼意思？」）。所以人照 SOP 放貨、核對，機台照 recipe 跑；跳了警報，就照 OCAP 走。

晶圓廠裡的 SOP，在管哪些事？

各廠分法不一樣，常見的有這幾類：

• 機台操作：開機、放貨前核對什麼、跑完看哪些數字、怎麼關機。一些大學的無塵室把規定公開在網路上，也是這樣：每一台機台有自己的 SOP，使用者先受過那一台的訓練，才准自己操作。
• 保養：PM 時拆哪裡、換什麼、照什麼順序裝回去、裝完檢查哪幾項（見「機台保養（PM）是什麼？」、「機台修好了，為什麼還要『測機』？」）。職業安全的資料提醒，保養常見的失誤就在裝回去、重新開起來的時候：裝錯、漏一步、安全裝置沒接回去。
• 不常做、但遇到就要做對的事：例如緊急停機、停機後怎麼重新開起來。管高危險化學製程的安全法規，也有要求操作程序把這些情況寫進去。
• 化學品和氣體：換一瓶特殊氣體、補化學品、修東西前上鎖掛牌：每一步、穿戴什麼、要不要兩個人，都寫在 SOP 裡（見「在晶圓廠工作安全嗎？」）。

一份 SOP 怎麼來、怎麼改？一步一步看

各廠的名稱、表單和誰簽不一樣，常見的順序是這樣：

1. 寫：由真正做這件事的人和懂機台的工程師一起寫，一步一個動作，照做的順序排。那份指引也要熟悉這件工作的人來寫，寫得短、不模稜兩可。寫的人不懂現場，寫出來跟真的做法對不上，大家只好照自己的習慣做。
2. 審：另一個懂的人看過、核准，才發到現場。寫的人最難看見自己漏掉的那一步。沒人審，錯的那一步就直接變成「標準」。
3. 訓練、確認看懂：先由有經驗的人帶著學、做給他看，確認會了、留下訓練紀錄，才自己做。讀過不等於會做，所以那類安全法規也要雇主確認員工真的懂了，並記下怎麼確認的。沒確認就上手，第一次練習就是在產品上。
4. 照做、留紀錄：做的時候 SOP 在手邊，做完一步勾一步，數字當場記。靠記憶最容易漏；藥品製造的法規也要求照書面程序做、當下記錄，偏離了要寫下理由。不記，下一班就不知道做到哪一步（見「晶圓廠交接班在交接什麼？」）。
5. 發現不對就提出、走流程改版：發現哪一步不對、少一步、做不到，就提出來，照規定的流程改版：新版一樣要審過、核准，改完再教一次。動到製程條件的，還要走變更管理（見「晶圓廠的變更管理是什麼？」）。紙上那一步改了，下一個人才會跟著改。各自在現場換個做法，就變成紙上一套、現場一套。
6. 舊版收回：新版一發行，舊版從現場和系統收回，或清楚標成作廢。品質管理的國際標準也要求文件在要用的地方拿得到、改版要有控管。兩版同時在，總會有人拿到舊的。

就算沒人提出，SOP 也會定期拿出來重看，確認還跟現場的做法一樣。

為什麼「照 SOP 做」還是會出錯？

有 SOP，不等於不會錯。常見的有四種：

• 步驟沒寫清楚，或少寫一步：保養完要把一個閥轉回自動，SOP 上卻沒有這一行。每一步都照做了，閥還是停在手動。
• 拿到舊版：SOP 改了，手上那份還是舊的。職業安全的公開資料整理過，程序沒被照著做，常見的原因是寫錯了、過時了、太難用，或要用時不在手邊。
• 跳步驟：趕時間，或覺得這一步多餘（「剛裝好的，應該不會漏」）。研究人為失誤的資料指出，規定做不到、時間太趕，是人跳過規定的常見原因；跳久了，大家甚至不覺得那是在跳。
• SOP 沒想到的情況：SOP 寫的是平常。遇到沒寫到的，就停下來、打電話問，不要自己猜（見「技術員和工程師差在哪？」）。

好的 SOP，怎麼讓人容易照著做？

• 短、清楚、用現場的說法：一步一個動作；讓用的人參與寫、參與找問題。
• 放在做事的地方：貼在機台旁、櫃門上，不用回辦公室翻。
• 重要的地方寫出為什麼：例如超出範圍會怎樣、該怎麼修正，前面那類安全法規就要求寫進操作程序。研究程序的論文也指出，照做的人不懂一步的理由，有時會覺得它多餘而跳過。
• 最要緊的幾步，兩個人做：一個唸、一個做。飛機駕駛艙的檢查表也常一個人唸、另一個人確認回答。
• 能讓系統擋的，不只靠提醒：讓錯的那一步做不出來，叫防呆（見「MO 是什麼？」）。

大家一直跳過同一步時，先問為什麼。常常該改的是那份 SOP，不是那個人。

在 fab24hr 裡

按「進廠」、選「打工人的一天」，在「今天你是」卡片上點「量產廠」，左右滑到設備工程師，名字下面點「蝕刻」。早班「開腔」，你要換 ETCH-03 A 腔的 ESC（靜電吸盤）：拆和裝各是一張步驟清單，從上鎖掛牌、等腔體降溫，到裝新的、抽真空、測漏。每一步寫著要花幾分鐘，製造部的小芸隔一陣子就打來問「幾點會好？」。有幾步旁邊寫著「可以省」，例如測漏：「剛裝好的東西，應該不會漏。」照做的話，阿凱會說：「測漏抓到一個。剛裝好的東西，最常漏。」如果你先在卡片上點「研發線」、當過設備商的駐廠工程師，晚班「季底」請客戶多給一天再測，服務報告上寫了「換 ESC 後，接頭要測漏」，這張清單就會多這一行，測漏也不能省了。

滑到廠務工程師、名字下面點「氣體化學品」：深夜班「值夜」，WET-02 的補酸閥保養完停在手動，保養單上沒有「做完轉回自動」那一行；凌晨三點半，你可以補上這一行，也可以留給白天。早班「換瓶」，惠如說：「程序貼在櫃門上。我唸一步，你做一步。」當蝕刻製程工程師，午班 16:30 的檢討會上，部經理問：「SOP 上明明寫了下貨前要核對。為什麼還是會錯？」結論是：「所以要改的是那一步，不是那個人。」

遊戲裡的公司、人物、機台編號、步驟和分鐘數都是虛構的；SOP 是什麼、怎麼寫、怎麼改，照公開的一般資料寫，實際的格式和誰簽，每家公司不一樣。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」查。