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在晶圓廠工作約 5 分鐘

研發線和量產廠差在哪?

研發線(也叫試產線,英文常說 pilot line)是新製程、新產品先做出來的地方;量產廠是把已經做穩的東西,每天大量、一模一樣地做出來的地方。研發線一次只做幾片,一批常拆開試不同的條件,問的是「做不做得出來、壞了是為什麼」;量產廠問的是「每一片都一樣嗎、做得夠多、夠準時嗎」。

研發線是什麼?

一片晶圓要走幾百道步驟,才會變成晶片。這一整串步驟,加上每一步用什麼機台、什麼條件,叫做「製程」(每一區在做什麼,見「晶圓廠七個製程區各在做什麼?」)。

新的一代製程,或要改幾道步驟的新產品,沒有人知道照新條件做會發生什麼事。總要有個地方先試,這就是研發線。它的機台種類齊全,從第一站到最後一站都走得完;但同一種機台常常只有一兩台,壞了沒有備用的。新產品第一次做出來的那幾批叫試產,常常就在這裡做。

電晶體每縮小一代,新的作法也都要先在研發線試出來(見「摩爾定律是什麼?」)。

為什麼不直接在量產廠試?

因為量產廠的機台,每天都排滿了要交給客戶的晶圓。有論文研究過:研發的晶圓放進量產線,如果讓它優先走,要出貨的晶圓就會被拖慢,每天做完的量跟著變少。反過來,研發的晶圓也常被擠到後面,結果遲遲回不來。

所以很多地方另外有一條研發線。也有研發和量產共用大部分機台的做法,比較省錢,但兩邊會搶機台。公開的說法常用「少量多樣」形容試產線:每一種只做一點點,種類卻很多。

研發線上每天在做什麼?

研發線像一間開發新菜的試菜廚房:一次只做幾份,這一份鹽多一點、那一份火大一點,每一份都要嚐。

  • 一批拆開做:同一批晶圓分成幾組,每一組只改一個條件,留一組什麼都不改,拿來比,這叫分片實驗。做完一比,就知道那個條件的影響。
  • 條件常在變:同一台機台,早上跑的是這個產品的新溫度,下午可能是另一個產品的新材料。
  • 量得很多:每一組都要量,常常還把晶圓切開,用顯微鏡看斷面。量得多,才知道差別是從哪一步來的。
  • 只走需要的那幾站:要驗證的如果只是其中一段,常常只做那幾站,做出專門的測試結構,叫短流程。站少,結果回來得快。

研發線最在意的是「學得多快」:結果回來得越快,下一輪就越早開始。它也比量產廠能接受大得多的變化。做壞了也有收穫:知道它為什麼壞。

量產廠追的是什麼?

量產廠像每天要出幾千份便當的中央廚房:食譜定了就照做,每一份都要一樣,連換一種醬油都要先試過。

  • 大量、重複:一批常常是一整盒晶圓,最多 25 片;同一個步驟有好幾台機台輪流做,一台壞了,還有別台。
  • 看的數字不一樣:良率(做出來的晶片,好的佔幾成)、產能(每天能做完多少)、交期(能不能準時交給客戶),還有成本。
  • 條件鎖住:每一站用哪一種機台、什麼條件,寫在一份叫 POR 的標準製程裡。要改一個數字,得先證明改了沒事,有時還要重做可靠度測試。業界的公開標準也規定,供應商的產品或製程有重大改變,要事先通知客戶。
研發線量產廠
一次做多少幾片,一批常拆成好幾組一盒最多 25 片,每天很多盒
同一種機台常常只有一兩台好幾台,壞一台還有別台
條件常在改,就是要試鎖在 POR 裡,改之前要先驗證
最常問的問題做得出來嗎?為什麼壞?每一片都一樣嗎?夠多、夠準時嗎?

新製程怎麼交給量產廠?

研發線做穩了,良率到了目標,可靠度測試也過了,就要把整套東西交給量產廠,這叫技術移轉,常簡稱技轉。交的不只是一份條件,常見的有:

  1. 標準製程:每一站的機台和條件,寫成 POR。
  2. 規格:每一站量到多少算對,做完之後量電性,數字要落在哪裡。
  3. 文件:作業指導書,機台怎麼操作、零件怎麼換,一步一步寫清楚,換一個人照著做也做得出來。
  4. 訓練:量產廠的人先到研發線學,看實際怎麼做。
  5. 可靠度資料:證明晶片用很久,也不會提早壞。

交出去之前,要過技轉審查,一項一項對。

最難的,常常是機台。同一份條件換一台機台做,結果可能不一樣:零件磨損的程度、機台本身的狀態,每一台都差一點。量產廠一種機台有好幾台,每一台都要調到做出一樣的結果,這叫機台匹配(tool matching)。有的做法是讓量產廠的機台和設定,盡量跟研發線一模一樣;也有人認為量產不必每一步都照原樣,要緊的是做出來的東西一樣。

交出去之後,量產剛開始的良率,通常還要再往上爬一段(見「新聞說的「良率」是什麼?」)。有時可靠度測試還沒跑完,客戶等不及,就先在量產廠投片,叫風險投片,可以讀「投片是什麼?」。

在研發線工作的人做什麼?

  • 研發製程工程師:各顧一區,例如蝕刻、黃光或爐管。新步驟要用的條件,是他在那一區的機台上試出來的:試幾組、量結果、看切片,定下一組,最後寫進 POR 的那一格。
  • 研發整合工程師:不只顧一區,而是顧整條流程和新產品的第一批貨:實驗怎麼分、做出來能不能交給量產廠。可以讀「研發整合工程師在做什麼?」;量產廠裡顧整條流程的人,見「製程整合工程師(PIE)在做什麼?」。
  • 研發線也有設備工程師和技術員。

職稱和分工,每家公司不一樣;上面寫的是常見的分法。

在 fab24hr 裡

fab24hr 的研發線有 8 個位子:研發整合工程師,加上黃光、蝕刻、薄膜、CMP、爐管、植入、清洗七區的研發製程工程師。按「進廠」、選「打工人的一天」,在「今天你是」卡片上點「研發線」,左右滑到那個工作;研發製程工程師,在名字下面再點一區。蝕刻那一區的早班,新步驟只有 ETCH-R1 一台做得了,它偏偏當機了;晚班,明天就要把標準製程交給量產廠,POR 還剩最後一格要你簽。爐管那一區的晚班,量產廠的爐管跑了一爐研發線的條件,數字一樣,厚度卻對不上。主線「晶片的一生」第 1 到 5 章也在研發線:從投片前一天決定第一批 12 片怎麼分,到技轉審查前一晚的八項清單。遊戲裡的公司、產品、人物、機台編號和時間表都是虛構的;研發線和量產廠差在哪、技轉要交什麼,照公開的一般資料寫,實際的做法每家公司不一樣。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話,白話解釋」查。

在遊戲裡你會在哪裡遇到它在「打工人的一天」點「研發線」,可以當研發整合工程師,或七區之一的研發製程工程師;主線「晶片的一生」第 1–5 章也在研發線,第 4、5 章就是技轉審查的前一晚。

在 fab24hr 裡,新步驟只有一台機台做得了;做穩了,還要把最後一格寫進 POR,才交給量產廠。

當研發線的蝕刻研發製程工程師玩

給老師:這一篇可以搭配「在課堂上玩 fab24hr」用在課堂上。

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