重工是什麼？為什麼黃光可以重來、蝕刻不行

重工（rework）的意思，是把做得不對的那一站重做，或把沒做完的補做。品質管理的國際標準把它定義成：讓不合格的東西重新符合要求的動作。晶圓廠發現一批貨不對，會先 Hold 住，再判放行、重工還是報廢；誰來判，見「Hold 是什麼？」。這篇只講重工：什麼能重工、怎麼重工、要付出什麼。

為什麼黃光最常重工？

先說黃光在做什麼。黃光是把電路圖案「印」到晶圓上：塗一層光阻，曝光、顯影，留下來的光阻就是圖案。接著蝕刻照著圖案把下面那一層刻掉，最後再把光阻去掉。

想像油漆牆壁之前先貼紙膠帶：貼歪了，撕下來重貼就好；漆一噴下去，歪的就留在牆上了。光阻就是那卷膠帶，只是暫時的模板。顯影完，圖案還只在光阻上，下面的材料一點都沒動。這時量到疊對偏了、線寬不對，或看到缺陷，把光阻整層去掉，晶圓就回到印之前的樣子，可以再印一次。

一旦蝕刻下去，或用離子植入把原子打進去，改的就是晶圓本身，拿不回來了。

黃光重工怎麼做？一步一步看

第 1 步：顯影後量出來不對

• 做什麼：顯影完，量疊對、量線寬、看有沒有缺陷，這一道常叫顯影後檢查（ADI）。怎麼量，見「晶圓廠怎麼知道做對了沒？」。
• 為什麼：這是圖案刻下去之前，最後一次還改得了的時候。
• 不這樣會怎樣：錯的圖案被刻進去，就只剩評估還能不能用，不能用就報廢。

第 2 步：判斷要不要重工，也找出為什麼錯

• 做什麼：先把這批 Hold 住，工程師判要重工還是照跑；只有幾片要重工，就把那幾片分出來另成一批（拆批）。同時找原因：曝光機偏了，就把偏差交給它補正（見「疊對是什麼？」）；熱板壞了，就先停用那片熱板。
• 為什麼：只偏一點點時，重工不一定划算；原因沒改，重印一次還是一樣錯。
• 不這樣會怎樣：白跑一趟，晶圓還多受一次處理。

第 3 步：去光阻、清洗

• 做什麼：用氧氣的電漿把光阻「燒」掉，或用藥液溶掉，常兩種接著用，再洗乾淨（見「光阻是什麼？」的最後一步）。
• 為什麼：舊的光阻一點都不能留，新的才塗得平、黏得牢。
• 不這樣會怎樣：殘渣留在晶圓上，變成新的缺陷。

第 4 步：從頭再走一次黃光

• 做什麼：烤乾、塗底、塗光阻、烤、曝光、曝光後烘烤、顯影，跟第一次一樣，一步不少。
• 為什麼：每一步都會影響印出來的圖案，條件要跟正常的貨一樣。
• 不這樣會怎樣：例如少了塗底，光阻黏不牢，細的線在顯影時被掀起來。

第 5 步：再量一次，過了才放行

• 做什麼：跟第一次一樣量疊對、線寬、缺陷，在規格內才往蝕刻走。
• 為什麼：重工也可能出錯，要確認這一次真的對了。
• 不這樣會怎樣：以為修好了，錯的照樣被刻進去。

除了黃光，還有哪些重工？哪些不能？

重工也包括「補做」。蝕刻做到一半停了，量出剩下多厚，再把沒刻完的那一段補上，這叫補蝕刻。清洗完等太久、超過 Q-time，有些可以再洗一次再往下走（見「Q-time 是什麼？」）。

但很多步驟沒有退路：

做錯的地方	能重工嗎	為什麼
黃光，還沒蝕刻	多半可以	圖案只在光阻上，去掉就回到原樣
蝕刻，刻不夠	有時可以補	量剩下多厚，補刻那一段
蝕刻，刻過頭	不行	刻掉的材料放不回去
離子植入打錯	不行	打進矽裡的原子挑不出來
長氧化層	回不到原樣	長氧化層用掉的是晶圓本身的矽，厚度將近一半「吃進」了晶圓；就算去掉重長，用掉的矽也回不來

不能重工的，只能先停下來量、評估：還能用的，寫偏差單照跑；不能用的報廢。植入為什麼救不回來，見「離子植入是什麼？」。

重工要付出什麼？

• 時間：多跑一趟，多等好幾個小時。研究也指出，重工會讓廠裡在等的貨變多，重工的那幾批做完的時間也跟著拉長（見「一片晶圓要做多久？」）。
• 曝光機：重工的晶圓要再排一次曝光機。黃光常是全廠最擠的一段，多印一次，後面的貨就多等一下。
• 晶圓本身：多泡一次藥液、多被手臂搬一次。去光阻和清洗對下面那一層也不是完全沒影響，一次很少，次數多了就會累積；研究也看過，清洗反覆做越多次，矽的品質越受影響。

所以重工要挑：只挑真的需要的那幾片。同一站一直要重工，代表前面有東西沒顧好，例如一片熱板、一瓶光阻、一台曝光機，要回頭找真正的原因，見「根本原因分析是什麼？」。

在 fab24hr 裡

按「進廠」、選「打工人的一天」，在「今天你是」卡片上點「量產廠」，左右滑到製程工程師，名字下面點「黃光」，就是黃光製程工程師；四個班照你打開網站的時間排。午班就叫「重工」：塗佈顯影機 TRK-01 早上剛保養完，下午出來的兩批，線寬一邊寬、一邊窄。12 片的線寬圖攤在面前，你勾出要重工的，送出重工單；重工完的，量過再放。早班，P-3A08 的疊對超出規格，下一站就是蝕刻，要給製程整合的雅婷一個答案：重工，還是照跑。深夜班可能遇到蝕刻機停了，一批顯影完的貨在蝕刻前面排隊、能等的時間快到了：吵醒剛睡下的製程 on-call，還是讓它早上回黃光重工，由你決定。

同一座廠的蝕刻製程工程師，午班「趕時間」（也是主線「晶片的一生」第 8 章）要到機台前手動下一次補蝕刻：只做第 7 片，只補 15 秒。光罩工程師的深夜班，如果你讓一片起霧的光罩先上機，25 片裡就有 5 片要重工。

遊戲裡的公司、人物、批號、機台和數字都是虛構的；重工是什麼、怎麼做、為什麼黃光能重來，照公開的一般資料寫，實際的做法和判斷每家工廠不一樣。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」查。