設備商的駐廠工程師（FSE）在做什麼？

設備商的駐廠工程師，英文常叫 FSE（Field Service Engineer），中文也叫現場服務工程師。晶圓廠的機台是向設備商買的；設備商派工程師到客戶的廠裡，顧自己公司賣出去的那幾台：裝機、驗機、保養、壞了來修，也教客戶的工程師怎麼保養、怎麼先處理。他是設備商的人，上班的地方卻是客戶的廠，所以叫「駐廠」。

可以想成辦公室的大影印機：總務每天顧它，決定什麼時候停下來修；影印機公司的技師來保養、修大問題、換大零件。晶圓廠的設備工程師像總務，駐廠工程師像那位技師。

為什麼機台要由設備商的人來顧？

晶圓廠自己不做機台，蝕刻機、曝光機、薄膜機都向專做機台的公司買（見「半導體產業鏈的上中下游，各在做什麼？」）。機台怎麼設計、零件該換哪一版，最清楚的是做它的人：設備商有原廠的設計資料、維修手冊和零件倉庫，現場解不開的，還能找總部懂設計的專家一起看。

所以「誰來裝、誰來保養、壞了多久之內要到」，常寫進合約。

跟晶圓廠自己的設備工程師怎麼分？

晶圓廠的設備工程師每天做什麼，見「設備工程師在做什麼？」。兩邊常見的分法是：

	晶圓廠的設備工程師	設備商的駐廠工程師
是誰的人	晶圓廠	設備商，賣機台的那一家
顧哪些機台	一區裡的很多台，可能不只一家設備商的	自己公司賣出去的那幾台
平常做什麼	照排程保養、處理 alarm，決定機台什麼時候停	裝機、驗機、大保養、修大問題、換關鍵零件
手上有什麼	這台機台的保養排程和歷史紀錄	機台的設計資料、原廠的零件和專家

機台一停，後面的貨就要等，所以什麼時候停下來保養，由晶圓廠排（見「機台保養（PM）是什麼？」）；修好之後能不能回到生產，也由晶圓廠的人確認。實際怎麼分看合約：有的廠保養幾乎都自己來，大問題才叫設備商；有的把整台的保養交給設備商。

一台新機台，從進廠到簽驗收

整座廠怎麼蓋，見「蓋一座晶圓廠要做哪些事？」；這裡只跟著一台新機台，一步一步走。

第 1 步：搬進來

• 做什麼：木箱在無塵室外面拆，機台一塊一塊擦乾淨，經過兩道不同時打開的門推進去。
• 為什麼：外面的灰塵會跟著機台進去。
• 不這樣：無塵室被弄髒，旁邊的機台也受影響。

第 2 步：接管、接電

• 做什麼：機台定位後，廠務照接點表把水、電、氣體、排氣一條一條接上，叫接管；新的氣體管要保壓、測漏（見「廠務工程師在做什麼？」）。駐廠工程師在旁邊對：每個接點對不對得上。
• 為什麼：水電氣都從廠務來，機台每個接點要什麼，設備商最清楚。
• 不這樣：一條接錯，機台可能壞，有毒的氣體也可能漏出來。

第 3 步：驗機：機台自己先動起來

• 做什麼：通電，一個部件一個部件確認：腔體抽得到真空、接頭不漏、搬晶圓的手臂走得到每個位置、感測器讀得對。
• 為什麼：一路運來的震動、拆開再裝回去，都可能讓接頭鬆一點、位置偏一點。
• 不這樣：問題留到跑晶圓才冒出來，就分不清是機台還是條件的問題。

第 4 步：照合約的條件測試

• 做什麼：照合約裡事先約好的項目一項一項測，例如結果在不在約好的範圍、會不會多出微粒、連續跑一段時間會不會停。用的是約好的測試條件，不是客戶自己的製程條件；很多機台出貨前，已在設備商的工廠測過一輪。
• 為什麼：「機台好不好」要先講好怎麼算，雙方才不會各說各話。
• 不這樣：交了機才發現，兩邊想的「合格」不一樣。

第 5 步：簽驗收

• 做什麼：都過了，客戶在最終驗收單上簽名，機台才算正式交給客戶。有的合約，最後一筆款要等這張簽名才付。
• 為什麼：簽名代表客戶認了：這台照約好的做到了。
• 不這樣：還沒驗過就簽，之後出了問題，責任說不清。

在別人的廠裡工作，有什麼不一樣？

• 門要別人開：客戶的證分等級，有的地方要客戶的人全程陪；陪的人走開，你就在門外等。進廠前要先上安全課。有的廠不准帶有鏡頭的手機；修機台用的電腦，也要先掃毒。
• 看不到客戶的條件：機台照著跑的設定叫 recipe，常是客戶最在意的機密之一。設備商的人看得到多少，各廠不同；有的只看得到 alarm 和機台自己的紀錄，所以要學會從紀錄分出：是硬體壞了，還是條件的事。從外面連進機台也一樣，要走廠方開好的通道。
• 半夜被叫：合約常寫著機台停了，設備商要在多久之內到；多久，各家不一樣（待命是什麼樣子，見「半導體業很操嗎？」）。
• 零件要等：零件種類太多，不可能每種都放在客戶廠旁邊。缺的時候，從別的倉庫調、空運，或先從別台拆一顆；拆過去的之後要裝回去，多做一次工。
• 夾在快和對之間：客戶想早一天生產，自己公司也希望早一天簽驗收。可是航空維修的研究把「趕時間」列為維修出錯的常見原因之一：少做一項檢查，錯常常當下看不出來，過一陣子才冒出來。

所以每做一次服務，都要寫服務報告：做了什麼、花多久、誰做的、之後要注意什麼，給客戶看，也給下一個來修的人看。

在 fab24hr 裡

按「進廠」、選「打工人的一天」，在「今天你是」卡片上點「研發線」，左右滑到設備商的駐廠工程師（研發線是什麼，見「研發線和量產廠差在哪？」）。你顧客戶研發線新到的蝕刻機 ETCH-R1，打開的時間決定你上哪一班：

• 早班「第一天」：螢火（客戶的助聽器晶片）投片前兩週，你第一天到這個客戶廠，研發線在另一棟，每條走廊都長得一樣，前一分鐘沒有「帶我去」。ETCH-R1 跑客戶的條件時跳了 alarm，條件你看不到。你的證開不了風淋室，要有權限的人帶你進去；保養時你一邊講，客戶的設備工程師建宏一邊動手。
• 午班「少一顆」：投片前一週，驗收要用的一顆零件壞了，備品櫃裡那一顆是舊的版次。你可以空運新的、從公司的展示機拆一顆，或先裝舊的、那一項之後補測。
• 深夜班：投片後第二週，凌晨兩點建宏打來，ETCH-R1 停在步驟中間，螢火的先行片在裡面。廠方還沒開遠端的通道，只能請他把紀錄唸給你聽。你可以現在進廠，或在電話裡教他先把晶圓退出來。
• 晚班「季底」：投片後大約五週，你的主管希望客戶今天簽最終驗收，測漏的數字卻剛好在合格線邊上。你可以今天簽，或請客戶多給一天再測。多測一天，會找到上週換 ESC（靜電吸盤）時背面沒鎖到位的氦氣接頭；服務報告多一行「換 ESC 後，接頭要測漏」，量產廠換 ESC 的步驟也多這一行。

大約半年後，量產廠蝕刻設備工程師的早班，在風淋室外面等著、送新的 ESC 來的那個設備商，就是你。

遊戲裡的公司、晶片、人物、機台編號和時間都是虛構的；駐廠工程師的工作和分工，照公開的一般資料寫，實際的規定和合約每家公司不一樣。其他行話可以到「半導體晶圓廠的行話，白話解釋」查。