반도체 입문: 칩의 일생 따라가기
반도체를 처음부터 알고 싶은 사람에게
칩 하나의 일생을 따라가는 무료 커리큘럼이다. 반도체 산업이 하는 일에서 출발해, 팹에서 칩을 한 층씩 만드는 방법과 제대로 만들었는지 확인하는 방법을 거쳐, 팹에서 일하는 사람들과 미래까지 이어진다. 강마다 쉽게 풀어 쓴 글 한 편 이상, 게임 fab24hr의 챕터나 근무 하나, 정답이 없는 토론 질문이 있다. 팹과 패키징·테스트를 다루는 강의에는 대개 분해해 볼 수 있는 3D 장비도 있다. 설치도 로그인도 필요 없고, 휴대폰으로 읽고 플레이할 수 있다.
- 6웨이퍼와 클린룸
- 7칩 제조 과정: 공정 흐름 개관
- 8세정: 공정 단계 사이에 웨이퍼를 깨끗이
- 9퍼니스: 고온 산화와 어닐링
- 10박막: 한 층씩 쌓아 올리기
- 11포토리소그래피: 패턴을 찍어 내는 공정
- 12식각: 패턴대로 깎아 내기
- 13도핑: 이온 주입과 어닐링
- 14배선과 연마: CMP와 층층이 쌓는 금속
- 15공정 통합: 수백 단계를 하나의 흐름으로 엮기
- 1624시간 멈추지 않는 공장
제1부: 반도체가 하는 일
칩이란 무엇인지, 그 안에 많게는 백억 개가 넘게 들어 있는 스위치가 무엇을 하는지, 그리고 상류부터 하류까지 산업의 각 부분이 무엇을 하고 어떻게 협력하는지 다룬다.
1강반도체와 칩이란 무엇인가
‘반도체’라는 말은 흔히 한 가지 재료와 하나의 산업 전체를 동시에 가리킨다. 먼저 가장 자주 뒤섞이는 말들, 곧 반도체, 웨이퍼, 칩, 집적회로부터 구분해 두자.
학습 목표
- 반도체가 도체, 절연체와 어떻게 다른지, 그리고 ‘전기가 통할지 말지를 제어할 수 있다’는 점이 왜 그토록 중요한지 설명할 수 있다.
- 웨이퍼, 칩, 집적회로를 구분하고, 흔히 말하는 ‘반도체 산업’에서 어떤 종류의 회사들이 일을 나누어 맡는지 안다.
- 칩 하나가 크게 설계, 팹 제조, 패키징·테스트의 세 단계를 거친다는 것을 안다.
- 필독반도체 입문: 반도체란 무엇이고, 반도체 공장은 무슨 일을 할까?반도체란? 왜 ‘반’도체라고 부를까?칩이란? 웨이퍼, 집적회로, 반도체와는 무엇이 다를까
- 더 읽기MEMS(미세전자기계시스템)란? 칩 위에 움직이는 작은 기계를 어떻게 만들까
- 플레이‘출근’을 눌러 시작: ‘칩의 일생’을 골라 칩 하나의 전 과정을 따라가거나, ‘직장인의 하루’를 골라 팹의 한 사람으로 근무 한 번 해 보기
생각해 보기
- 내 주변에서 칩이 들어 있는 물건에는 무엇이 있을까? 내일 전 세계의 칩이 절반으로 줄어든다면, 나의 하루는 어디에서 가장 먼저 막힐까?
- 칩 하나는 한 회사가 처음부터 끝까지 만드는 것이 아니라 여러 종류의 회사가 나누어 완성한다. 이렇게 분업하면 어떤 이점이 있고, 어떤 위험이 있을까?
2강트랜지스터: 백억 개가 넘는 스위치
칩이 계산하고 기억할 수 있는 것은 전기로 제어하는 수많은 작은 스위치 덕분이다. 휴대폰 칩 하나에만 이런 스위치가 백억 개 넘게 들어 있다. 이번 강에서는 스위치 하나에서 출발해 프로세서와 메모리까지 다룬다.
학습 목표
- ‘스위치’에 빗대어 트랜지스터가 하는 일과 평소에는 전류가 흐르지 않는 이유, 그리고 0과 1이 실제로는 선 하나에 걸린 전압의 높낮이라는 점을 설명할 수 있다.
- 두 종류의 스위치를 왜 한 쌍으로 묶는지(CMOS), 그리고 스위치를 직렬과 병렬로 이으면 어떻게 논리 게이트가 되고, 다시 덧셈을 하는 회로가 되는지 설명할 수 있다.
- 트랜지스터를 작게 만들 때 얻는 이점과, 칩이 아무 일도 하지 않아도 전력을 소모하는 이유를 안다.
- 필독트랜지스터란? 휴대폰 칩 하나에 왜 스위치가 백억 개 넘게 있을까CMOS란? 칩 속 스위치는 왜 두 종류가 짝을 이룰까논리 게이트란? 스위치가 어떻게 계산하는 칩이 될까
- 더 읽기메모리와 프로세서는 무엇이 다를까? DRAM과 플래시 메모리는 또 무엇이 다를까칩은 왜 전력을 쓸까? 아무 일도 하지 않을 때의 대기 전류와 누설 전류
- 플레이챕터 10 ‘대기 전류’부터 시작하기: 아무 일도 하지 않는데 전력을 너무 많이 쓰는 칩
생각해 보기
- 휴대폰을 쓰지 않고 그냥 두어도 배터리는 조금씩 닳는다. 그 전기는 어디로 갔을까? 이번 강에서 읽은 내용으로 설명해 보자.
- 어떤 메모리는 전원이 끊기면 내용을 잊고, 어떤 메모리는 전원이 끊겨도 기억한다. 휴대폰에는 왜 두 가지가 다 필요할까? 일상에서도 비슷한 분업을 찾을 수 있을까?
3강반도체 밸류체인: 상류·중류·하류의 역할과 협력
칩 하나는 재료, 설계, 포토마스크, 팹, 후공정을 거쳐 휴대폰에 들어가기까지 여러 회사를 거치는 경우가 많다. 먼저 각 단계가 무엇을 하는지, 왜 다른 회사가 맡는 경우가 많은지 살펴본 다음, 주문 하나를 따라 공정 선택부터 웨이퍼를 후공정 업체로 보내기까지 차례로 짚어 본다.
학습 목표
- 밸류체인의 각 단계가 무엇을 하는지, 왜 서로 다른 회사가 맡는 경우가 많은지 말할 수 있고, 뉴스에서 말하는 상류·중류·하류가 어떤 기준으로 나눈 것인지 읽어 낼 수 있다.
- IC 설계 회사, 파운드리, IDM, 후공정 업체를 구분하고, 왜 이렇게 분업하게 되었는지, 고리 하나가 끊기면 왜 사슬 전체가 느려지는지 안다.
- 설계 회사가 공정을 고르고, 테이프아웃하고, 포토마스크를 만들고, 웨이퍼를 투입하고, 후공정 업체로 보내기까지의 각 단계를 말할 수 있고, 신제품이 왜 흔히 셔틀과 엔지니어링 로트부터 거치는지 안다.
- 필독반도체 밸류체인의 상류·중류·하류는 각각 무엇을 할까?뉴스에 나오는 IC 설계(팹리스), 파운드리, IDM은 무엇이 다를까?뉴스에 나오는 ‘파운드리’란? 남의 칩을 만들어 주는 사업IC 설계 회사는 팹과 어떻게 협업할까? 주문부터 납품까지 단계별로 보기
- 더 읽기칩은 왜 이렇게 비쌀까?반도체 공장 하나를 지으려면 무엇을 해야 할까? 왜 몇 년이 걸리고 돈이 그렇게 많이 들까
- 플레이챕터 4 ‘2주 앞당기기’부터 시작하기: 신뢰성 시험은 아직 3주가 남았는데 고객은 리스크 투입을 먼저 하고 싶어 하는 상황에서 조언하기
생각해 보기
- 파운드리는 서로 경쟁하는 여러 회사의 칩을 동시에 만드는 경우가 많다. 작은 설계 회사를 차렸다면, 가장 값진 설계를 넘기기 전에 무엇을 먼저 분명히 물어 두고 싶을까?
- 처음 칩을 만들 때는 먼저 셔틀(MPW)을 탈 수도 있고, 곧바로 자기만의 포토마스크 한 세트를 만들 수도 있다. 직접 결정한다면 무엇을 따져 보겠는가? 두 방식은 각각 무엇을 대가로 치러야 할까?
제2부: 칩이 태어나기 전
칩 하나가 팹에 들어가기 전에, 어떤 요구에서 출발해 설계가 되고 포토마스크 제작으로 넘겨지기까지를 다룬다.
4강요구 사항과 사양, IC 설계
칩은 팹에 들어가기 전에 컴퓨터에서 설계를 모두 마치고 여러 번 검사한다. 큰 칩에는 트랜지스터가 100억 개 넘게 들어가 사람이 다 그릴 수도, 다 확인할 수도 없으므로 모든 단계를 설계 소프트웨어에 의존하며, 일부 블록은 사 오기도 한다. ‘무엇을 만들 것인가’에서 설계도를 넘기기까지, 모든 단계는 테이프아웃 뒤에야 오류를 발견하는 일을 막기 위한 것이다.
학습 목표
- 디지털 칩 설계가 사양, 동작 기술, 검증, 합성, 배치 배선을 거쳐 사인오프와 테이프아웃에 이르는 순서와, 단계마다 어떤 종류의 설계 소프트웨어(EDA)를 쓰는지 말할 수 있다.
- 사양에 따라 테스트를 만들고, 커버리지를 보고, 수학으로 증명하는 검증 방법과, 테이프아웃 뒤에 발견한 오류가 특히 비싼 이유를 설명할 수 있다.
- 칩에서 어떤 블록을 흔히 반도체 설계 자산(IP)으로 사 오는지, 소프트 IP와 하드 IP가 어떻게 다른지, 팹의 규칙이 PDK를 통해 설계에 어떻게 반영되는지 안다.
- 필독칩은 어떻게 설계할까? IC 설계가 하는 일반도체 설계자산(IP)이란? 칩 속에 왜 사 온 회로가 있을까EDA란? 칩을 설계하는 소프트웨어는 단계마다 무엇을 할까칩 검증이란? 테이프아웃 전에 설계가 맞는지 어떻게 확인할까
- 더 읽기SoC란? 휴대폰 속 ‘시스템 온 칩’ 쉬운 설명아날로그 칩과 디지털 칩은 무엇이 다를까?IC 설계(VLSI)와 팹 업무는 무엇이 다를까?
- 플레이챕터 1 ‘12장을 어떻게 나눌까’부터 시작하기: 설계 때 모델로 계산한 코너를 실제로 만들어, 설계가 버티는지 본다
생각해 보기
- 보청기를 만드는 작은 회사가 처음으로 칩을 직접 설계한다. 마이크가 받은 소리를 숫자로 바꾸는 아날로그 회로, 칩 전체에 박자를 맞춰 주는 클록 회로는 직접 그릴 수도 있고 이미 만들어진 IP를 살 수도 있다. 무엇을 직접 만들고 무엇을 살지 어떻게 정하겠는가? 사기 전에 판매자에게 무엇을 먼저 묻겠는가?
- 검증에는 많은 인력과 시간이 든다. 그렇다고 덜 하면 테이프아웃 뒤에야 오류를 발견할까 걱정이다. 일정이 빠듯하다면 ‘이 정도 확인했으면 충분하다’는 판단을 어떻게 내리겠는가?
5강포토마스크와 테이프아웃: 설계가 마스크 세트가 되기까지
검증을 마친 설계를 팹에 넘기는 것을 테이프아웃이라고 하며, 그 뒤에 고치려면 마스크를 다시 만들어야 한다. 설계도를 그대로 찍을 수도 없어서, 먼저 보정한 뒤 마스크 한 세트로 만든다. 마스크는 노광의 원판이어서, 그 위에 찍힐 만한 점 하나, 작은 오차 하나가 모든 웨이퍼의 모든 샷에 그대로 찍힌다. 그래서 극도로 정밀하게 그리고, 극도로 꼼꼼하게 검사해야 한다.
학습 목표
- 테이프아웃 직전에 마지막으로 무엇을 검사하는지, 넘기는 것이 무엇인지, 그리고 테이프아웃 뒤에 고치는 것이 왜 비싸고 느린지 말할 수 있다.
- 마스크가 어떻게 패턴을 웨이퍼에 찍는지, 칩 하나에 왜 마스크가 수십 장 필요한지, 그리고 왜 패턴을 먼저 OPC로 일부러 바꾸고, 바꿀 양은 컴퓨터로 계산해야 하는지 말할 수 있다.
- 마스크를 어떻게 묘화하고 검사·수리하는지, 한 세트가 왜 그렇게 비싼지, 팹에 들어간 뒤에도 왜 다시 검사하는지 안다.
- 필독테이프아웃(tape-out)이란? 칩 설계를 넘긴 뒤에는 무슨 일이 일어날까포토마스크란? 어떻게 만들고, 한 세트는 왜 그렇게 비쌀까OPC란? 포토마스크의 패턴은 왜 칩의 패턴과 다를까
- 더 읽기마스크 엔지니어는 무슨 일을 할까?
- 플레이마스크 엔지니어로 근무해 보기: 마스크에 헤이즈가 끼거나, 점이 하나 생기거나, 스크래치가 났을 때 노광 장비에 계속 올려도 되는지 판단하기
생각해 보기
- OPC를 세밀하게 할수록 마스크 데이터가 커지고 제작 기간도 길어지며 비싸진다. 검증 조건이 많을수록 컴퓨터 계산도 오래 걸린다. 하지만 가장 이상적인 조건에서만 맞는 패턴은 양산에서 문제를 일으킬 수 있다. 테이프아웃 일정이 촉박하다면 어떤 층, 어떤 부분에 시간을 쓰겠는가? 그 이유는 무엇인가?
- 마스크의 점 하나는 모든 샷에 찍히므로, 마스크는 일정 기간 쓰면 내려서 검사해야 한다. 너무 자주 검사하면 마스크를 쓸 수 없는 시간이 늘고, 너무 드물게 검사하면 문제가 커진 뒤에야 발견할 수 있다. 직접 정한다면 어떻게 균형을 잡겠는가? 무엇을 보겠는가?
제3부: 팹 안에서
웨이퍼가 팹 안에서 한 단계씩 칩이 되어 가는 과정. 단계마다 무엇을 하고, 왜 그렇게 하며, 그렇게 하지 않으면 어떻게 되는지 다룬다.
6강웨이퍼와 클린룸
칩은 둥근 실리콘 웨이퍼 위에 만들며, 그것도 극도로 깨끗한 클린룸 안에서 만든다. 웨이퍼는 모래에서 어떻게 만들어질까? 왜 둥글고, 왜 점점 커질까? 클린룸은 얼마나 깨끗해야 할까?
학습 목표
- 웨이퍼가 모래에서 정제되고, 단결정 잉곳으로 끌어올려지고, 얇게 잘려 연마되기까지의 과정과 웨이퍼가 둥근 이유, 12인치와 8인치가 무엇을 뜻하는지, 웨이퍼를 크게 만드는 이점을 설명할 수 있다.
- ‘공기 1세제곱미터 안에 파티클이 최대 몇 개 있는가’로 클린룸의 등급을 설명하고, 파티클 하나가 왜 칩 하나를 망가뜨릴 수 있는지, 클린룸 출입 규칙이 무엇을 막는지 설명할 수 있다.
- 팹이 대량의 초순수와 여러 특수 가스도 사용한다는 것, 이를 왜 그토록 조심해서 다뤄야 하는지, 팹이 사람을 어떻게 여러 겹으로 보호하는지 안다.
- 필독실리콘 웨이퍼는 어떻게 만들까? 모래에서 연마된 웨이퍼 한 장까지웨이퍼는 왜 둥글까?12인치, 8인치 웨이퍼란 무슨 뜻일까? 웨이퍼는 왜 점점 커졌을까클린룸은 얼마나 깨끗할까? Class 100, ISO 5 같은 등급을 정하는 방법
- 더 읽기클린룸에 들어갈 때 지켜야 할 규칙은? 화장을 하면 안 되고 일반 종이를 가져가면 안 되는 이유클린룸에서는 왜 전신 방진복을 입을까?팹에서 일하는 것은 안전할까? 팹은 사람을 어떻게 보호하나클린룸의 공기는 어디에서 올까?초순수는 얼마나 순수할까? 팹은 왜 물을 많이 쓸까팹에서 쓴 물은 어디로 갈까?팹에서는 어떤 가스를 쓸까? 왜 그렇게 조심할까반도체 팹은 왜 그렇게 전력을 많이 쓸까?
- 살펴보기에어샤워 · 가스 캐비닛
- 플레이인프라 엔지니어로 근무해 보기: 용수, 전력, 공조, 가스
생각해 보기
- 팹은 물과 전기를 많이 쓰고, 경제에도 매우 중요하다. 팹 근처에 산다면 어떤 점이 신경 쓰일까? 공장 측에 무엇을 설명해 달라고 요청하고 싶을까?
- 이 규칙들 가운데 가장 쉽게 생략될 것 같은 것은 무엇인가? 신입을 데리고 클린룸에 들어간다면, 어떻게 설명해야 그 사람이 기꺼이 따르겠는가?
7강칩 제조 과정: 공정 흐름 개관
웨이퍼 한 장은 팹 안에서 수백 단계를 거치며 몇 달을 보낸다. 먼저 전체 지도를 보고, 이어지는 강에서 구역별로 자세히 살펴본다.
학습 목표
- 칩 하나가 설계, 포토마스크, 팹, 테스트, 패키징으로 이어지는 대략적인 순서를 말할 수 있고, 공정의 ‘앞’과 ‘뒤’를 나누는 말의 두 가지 뜻을 구분할 수 있다.
- 팹의 일곱 공정 구역인 세정, 퍼니스, 박막, 포토, 식각, CMP, 이온 주입이 각각 무엇을 하는지 안다.
- 칩이 한 층씩 쌓아 만들어진다는 것, 즉 재료를 한 층 입히고, 패턴을 찍고, 필요 없는 부분을 깎아 내는 과정을 여러 번 되풀이한다는 것을 이해한다.
- 필독칩은 어떻게 만들어질까? 반도체 공정 순서 한눈에 보기반도체 공장의 7개 공정 구역은 각각 무슨 일을 할까?전공정·후공정이란? FEOL·BEOL과 패키징·테스트의 ‘후공정’은 무엇이 다를까
- 더 읽기웨이퍼 투입이란? 웨이퍼 한 로트의 시간은 언제부터 셀까팹(fab)이란? 반도체에서 말하는 fab, ‘팹에 들어간다’는 무슨 뜻일까?레시피란? 팹 장비가 따라 실행하는 ‘공정 레시피’
- 살펴보기클러스터 툴
- 플레이챕터 2 ‘한 공정씩’부터 시작하기: 일곱 공정 구역에서 구역마다 한 단계씩 직접 해 보기
생각해 보기
- 칩은 왜 한 번에 완성하지 않고 ‘막 입히기, 패턴 찍기, 식각’을 한 층씩 되풀이할까? 집 짓기나 다른 일상의 예로 설명해 보자.
- 웨이퍼 한 장이 완성되기까지 몇 달이 걸린다. 이렇게 긴 흐름에서 가장 큰 위험은 어디에 있다고 생각하는가? 어떻게 하면 일찍 발견할 수 있을까?
8강세정: 공정 단계 사이에 웨이퍼를 깨끗이
웨이퍼는 공정 단계를 하나 마칠 때마다 표면에 눈에 보이지 않는 것이 남고, 다음 단계는 표면이 깨끗하지 않은 것을 가장 꺼린다. 세정은 전체 공정 흐름에서 가장 많이 반복되는 단계 가운데 하나다. 덜 씻으면 다음 층이 제대로 자라지 않고, 지나치게 씻으면 깎여 나간 것을 되돌릴 수 없다.
학습 목표
- 세정으로 제거해야 할 네 가지 오염과, 각각이 남았을 때 어떤 문제를 일으키는지 말할 수 있다.
- 일반적인 표준 세정이 어떤 단계로 나뉘고 각각 무엇을 제거하는지, 왜 약액 단계마다 초순수로 헹구는지, 그리고 세정조에 차례로 담그는 방식과 한 장씩 분사하는 방식이 각각 어떤 장점이 있는지 설명할 수 있다.
- 농도, 온도, 시간이 세정의 강도를 어떻게 결정하는지, 왜 너무 오래 씻어도 안 되는지, 세정 후 왜 오래 두면 안 되는지 설명할 수 있다.
생각해 보기
- 배치식은 한 번에 많은 웨이퍼를 씻고, 매엽식은 한 번에 한 장씩 씻어 앞 웨이퍼의 오염을 다음 웨이퍼로 옮길 가능성이 낮다. 어떤 단계에 어느 방식을 쓸지 직접 정한다면, 어떤 질문부터 하겠는가?
- 세정을 마친 웨이퍼에는 시간 제한이 있지만, 다음 공정의 장비가 마침 다운되었거나 PM 중이거나, 앞에 긴급 로트가 잔뜩 밀려 있을 수 있다. 다음 로트를 지금 세정해야 하는가? 각 선택에는 어떤 대가가 따르는가?
9강퍼니스: 고온 산화와 어닐링
많은 공정에서 트랜지스터 게이트 아래의 아주 얇은 절연층은 퍼니스에서 고온으로 성장시킨다. 주입한 원자도 가열을 거쳐야 비로소 전도에 기여하기 시작한다. 하지만 가열할 때마다 앞서 만든 구조가 조금씩 더 움직이므로, 열은 처음부터 끝까지 따져야 한다.
학습 목표
- 열산화에 왜 고온이 필요한지, 새 산화막이 어디에서 자라는지, 건식 산화와 습식 산화가 각각 어디에 쓰이는지 설명할 수 있다.
- 어닐링이 어떻게 주입된 원자를 전도에 기여하게 하는지, 온도와 시간이 많거나 적으면 각각 어떻게 되는지, 그리고 왜 일부 어닐링은 몇 초만 가열하는 방식으로 바뀌었는지 설명할 수 있다.
- 퍼니스가 백 장이 넘는 웨이퍼를 어떻게 똑같이 가열하는지(구역별 가열, 더미 웨이퍼), 그것을 어떻게 확인하는지(모니터 웨이퍼), 그리고 열 예산을 왜 처음부터 끝까지 계획해야 하는지 말할 수 있다.
생각해 보기
- 한 런에 백 장 넘게 넣어 함께 처리하면 효율적이지만, 그 런이 잘못되면 손실도 크다. 생활이나 일에서 언제 ‘한 번에 많이’를 고르고, 언제 차라리 ‘한 번에 하나씩’을 고르겠는가? 그 이유는 무엇인가?
- 런 하나가 공정 도중에 멈췄다. 그 단계를 처음부터 다시 돌리면 열 예산을 한 단계만큼 더 쓰게 된다. 일단 막아 두고 모니터 웨이퍼를 측정한 뒤 남은 부분만 보충하면 시간이 더 든다. 직접 결정한다면 무엇을 먼저 알고 싶은가?
10강박막: 한 층씩 쌓아 올리기
칩은 거의 모든 층이 새 재료를 한 층 까는 데서 시작한다. 그래야 그 뒤에 패턴을 찍고 식각할 대상이 생긴다. 막의 두께, 균일도, 청정도는 식각과 연마, 그리고 다음 층의 포토 공정까지 줄곧 영향을 미친다.
학습 목표
- 박막이 무엇인지, 왜 거의 모든 층이 막을 입히는 데서 시작하는지, 그리고 박막이 퍼니스의 산화와, 또 웨이퍼의 결정 격자를 따라 자라는 에피택시와 어떻게 다른지 말할 수 있다.
- CVD, 스퍼터링, ALD에서 막이 각각 어디서 오고 무엇에 강한지 구별하고, 많은 장비가 왜 먼저 진공을 만드는지, 깊은 홀의 입구가 먼저 막히면 왜 문제인지 설명할 수 있다.
- 막이 왜 두께가 균일해야 하고, 파티클이 없어야 하며, 웨이퍼를 너무 휘게 해서는 안 되는지, 그리고 증착 후 어떻게 측정하는지 설명할 수 있다.
- 필독박막 공정이란? 칩은 어떻게 한 층씩 ‘쌓아’ 올릴까에피택시란? 웨이퍼 위에 가지런히 배열된 실리콘 층은 어떻게 자랄까
- 더 읽기반도체 장비는 왜 진공이 필요할까?
- 살펴보기CVD 챔버 · PVD 챔버
- 플레이박막 공정 엔지니어로 근무해 보기: 스퍼터링 장비가 입히는 막 하나하나 지키기
생각해 보기
- 막의 ‘두께’와 ‘균일도’ 가운데 어느 쪽이 관리하기 더 어렵다고 생각하는가? 가운데가 두껍고 가장자리가 얇다면 뒤의 공정에서 어떤 문제가 생길 수 있을까?
- 막이 조금 두껍거나 얇으면 다음 공정인 CMP의 연마 결과도 따라 바뀐다. 박막 엔지니어라면 다음 공정에서 묻기 전에 무엇을 먼저 알려 주겠는가? 그 이유는 무엇인가?
11강포토리소그래피: 패턴을 찍어 내는 공정
포토리소그래피(포토)는 칩의 패턴을 얼마나 미세하게 만들 수 있는지를 결정한다. 가장 정밀한 공정 가운데 하나이며, 최첨단 노광 장비는 값도 매우 비싸다.
학습 목표
- 사진 인화와 도장 찍기에 빗대어 포토레지스트, 포토마스크, 노광, 현상이 각각 하는 일을 설명하고, 포지티브 레지스트와 네거티브 레지스트를 구분하며, 포토 구역의 조명이 왜 노란색인지 말할 수 있다.
- 노광 전에 아래층과 어떻게 정렬하는지, 찍은 뒤 오버레이를 어떻게 측정하는지, 측정한 오차를 다음 로트에 어떻게 보정하는지, 그리고 식각 전에는 왜 아직 리워크가 가능한지 설명할 수 있다.
- 빛의 파장이 짧을수록 패턴을 더 미세하게 찍을 수 있는 이유, 193nm의 빛으로 어떻게 수십 nm의 선을 찍는지, 그리고 극자외선(EUV)이 왜 어려운지 안다.
- 필독포토리소그래피(포토 공정)란? 칩의 패턴은 어떻게 ‘찍어’ 낼까포토레지스트란? 포지티브 PR과 네거티브 PR은 무엇이 다를까오버레이란? 칩의 위아래 층은 왜 정렬해야 하나포토 구역은 왜 노란색일까?
- 더 읽기193nm 빛으로 어떻게 수십 nm 선을 찍을까? 액침 노광과 멀티 패터닝극자외선(EUV)이란? 그 장비는 왜 그렇게 만들기 어려울까?
- 살펴보기코터 디벨로퍼 · 노광기
- 플레이포토 공정 엔지니어로 근무해 보기: 회로 패턴을 웨이퍼에 찍기
생각해 보기
- 다음 층을 찍기 전에는 먼저 이전 층에 정렬해야 하며, 조금만 어긋나도 웨이퍼 한 장 전체를 못 쓰게 될 수 있다. 일상에서도 ‘이전 층에 맞춰야 하는’ 일에는 무엇이 있을까? 어긋나면 어떻게 되고, 제대로 맞췄는지는 어떻게 확인하는가?
- 최첨단 노광 장비는 매우 비싸다. 장비가 이 정도로 비싸다면 칩의 가격에, 그리고 누가 최첨단 칩을 만들 여력이 있는지에 어떤 영향을 줄까?
12강식각: 패턴대로 깎아 내기
포토 공정은 포토레지스트에 패턴을 찍을 뿐, 그 아래 재료는 아직 조금도 건드리지 않았다. 패턴을 실제로 웨이퍼에 새기는 것은 식각이며, 잘못 깎으면 되돌리기 어렵다.
학습 목표
- 식각과 포토 공정의 관계, 즉 포토레지스트가 어떻게 틀 역할을 하는지, 식각이 왜 덮이지 않은 부분만 제거하는지 설명할 수 있다.
- 습식 식각과 건식 식각을 구분하고, 플라즈마가 무엇인지, 플라즈마가 왜 곧게 깎으면서도 재료를 가려 깎는지, 선택비가 무엇인지 말할 수 있다.
- 장비가 막을 다 뚫었음을 어떻게 아는지, 왜 조금 더 식각하는지, 덜 깎거나 더 깎으면 각각 어떻게 되는지, 챔버를 왜 매일 지켜봐야 하는지 설명할 수 있다.
- 필독식각이란? 건식 식각과 습식 식각은 무엇이 다를까플라즈마란? 팹은 왜 플라즈마로 식각할까
- 살펴보기식각 챔버
- 플레이챕터 6 ‘그 전화’부터 시작하기: 한밤중, 식각 장비가 멈췄다
생각해 보기
- 엔드포인트 검출이 다 깎았다고 알려도 장비는 조금 더 식각한다. 너무 짧으면 일부 홀이 뚫리지 않고, 너무 길면 아래층이 손상된다. 얼마나 더 깎을지 직접 정한다면 어떤 데이터부터 보겠는가?
- 한밤중에 장비에 문제가 생겨 웨이퍼 한 장이 식각 도중에 안에 갇혔다. 정보를 더 모은 뒤 결정하는 것과 먼저 손을 써서 처리하는 것은 각각 어떤 대가를 치르는가? (챕터 6을 플레이한 뒤 생각해 보자)
13강도핑: 이온 주입과 어닐링
아주 순수한 실리콘은 전기가 거의 통하지 않는다. 칩에 필요한 것은 ‘이 작은 영역은 전기가 통하고, 바로 옆 영역은 통하지 않는’ 구조이므로, 다른 원자를 아주 조금, 정확한 위치에 정확한 깊이로 넣어야 한다.
학습 목표
- 순수한 실리콘이 왜 전기가 거의 통하지 않는지, n형과 p형이 어떻게 다른지, n과 p를 어떻게 배치해야 스위치가 평소에는 꺼져 있고 게이트에 전압을 걸 때만 켜지는지 설명할 수 있다.
- 이온 주입 장비가 원자를 어떻게 실리콘에 박아 넣는지, 에너지와 도즈가 각각 무엇을 결정하는지, 포토레지스트가 주입하지 않을 곳을 어떻게 가리는지 설명할 수 있다.
- 주입 후에 왜 어닐링이 필요한지, 잘못 주입하면 왜 되살릴 수 없는지, 왜 주입 전에 대조하고 주입 후에 면저항을 측정하는지 설명할 수 있다.
- 필독도핑이란? n형, p형 반도체로 어떻게 ‘평소에는 꺼져 있는’ 스위치를 만들까이온 주입이란? 팹은 어떻게 원자를 실리콘에 ‘쏘아’ 넣을까
- 살펴보기이온 주입기
- 플레이이온 주입 공정 엔지니어로 근무해 보기: 원자, 에너지, 도즈는 내가 맡는다
생각해 보기
- 잘못 주입된 웨이퍼는 겉모습이 똑같아서 한참 뒤에야 발견되는 경우가 많다. 로트를 장비에 넣기 전에 한 줄씩 대조하는 사람이 나라면, 빠뜨리지 않으려고 어떤 방법을 쓰겠는가? 누가 한 번 더 확인해 주어야 하는가?
- 어닐링은 충분히 해야 하지만 너무 오래 해서도 안 된다. ‘조금 더 하는 편이 안전하다’와 ‘너무 많이 하면 오히려 망친다’가 동시에 성립할 때, 어디서 멈출지 어떻게 정하겠는가?
14강배선과 연마: CMP와 층층이 쌓는 금속
트랜지스터는 여러 층의 금속 배선으로 연결해야 쓸모가 있다. 배선용 홈을 어떻게 파고, 구리를 어떻게 채우고, 어떻게 평탄하게 연마하는지가 전기가 제대로 통하는지, 칩이 얼마나 빠르게 동작하는지를 결정한다.
학습 목표
- 칩이 왜 빌딩과 같은지, 즉 아래에는 트랜지스터가 있고 그 위로 배선이 층층이 쌓이며 비아와 콘택트로 위아래가 연결된다는 것을 설명할 수 있다.
- 구리는 왜 홈을 먼저 파고 채우는지(다마신), 왜 배리어층을 먼저 까는지, 구리가 묻은 장비와 웨이퍼를 왜 전단 공정(FEOL)과 분리하는지 설명할 수 있다.
- CMP로 왜 평탄화하는지, 어디서 연마를 멈추는지, 덜 갈거나 더 갈면 각각 어떻게 되는지, 배선이 왜 점점 칩의 속도를 늦추는지 설명할 수 있다.
- 필독칩 속 배선은 어떻게 만들까? 비아, 구리, 그리고 먼저 홈을 파고 채우는 이유CMP란? 웨이퍼를 왜 평평하게 갈아야 할까
- 살펴보기화학적 기계 연마
- 플레이CMP 공정 엔지니어로 근무해 보기: 얼마나 갈지, 어디서 멈출지 정한다
생각해 보기
- 연마 패드는 오래 쓰면 미끄러워져서, 같은 시간에 갈리는 양이 점점 줄어든다. 지금 2시간 멈추고 패드를 교체하는 것과, 우선 연마 시간을 늘려 버티는 것은 각각 어떤 대가가 있는가? 누가 영향을 받는가?
- 앞 공정에서 증착한 막이 조금 두껍게 나왔지만 아직 규격 안에 있다. 그러면 다음 공정인 CMP의 연마 결과도 따라 달라진다. 두 공정 사이에서 누가 먼저 알아채야 하는가? 누가 먼저 말을 꺼내야 하는가?
15강공정 통합: 수백 단계를 하나의 흐름으로 엮기
모든 공정 단계를 제대로 해도 칩이 동작한다는 보장은 없다. 수백 개의 단계를 하나의 공정 흐름으로 배열해야 하고, 단계와 단계 사이의 영향은 누군가 처음부터 끝까지 지켜봐야 한다.
학습 목표
- 트랜지스터 하나가 만들어지는 과정을 소자 분리, 웰, 게이트, 소스와 드레인, 어닐링, 콘택트, 첫 번째 금속층의 순서로 말하고, 단계마다 왜 필요한지 말할 수 있다.
- 순서를 왜 함부로 바꿀 수 없는지(금속은 고온에 약하고, 열은 누적된다), 어떤 단계 사이에서는 왜 너무 오래 기다리면 안 되는지(큐타임) 설명할 수 있다.
- 모든 공정 단계가 규격 안에 있는데도 칩이 잘못될 수 있는 이유와, 공정 통합 엔지니어가 결과에서 거꾸로 원인을 어떻게 찾아가는지 설명할 수 있다.
- 필독트랜지스터 하나는 어떻게 만들어질까? 소자 분리부터 첫 금속층까지 단계별로 보기공정 통합 엔지니어(PIE)는 무슨 일을 할까? 공정 엔지니어와는 무엇이 다를까?Q-time이란? 웨이퍼는 왜 오래 기다릴 수 없을까
- 플레이공정 통합 엔지니어로 근무해 보기: 내가 맡은 것은 장비 한 대가 아니라, 첫 단계부터 마지막 단계까지의 제품 하나다
생각해 보기
- 조건 하나를 바꾸면 이 단계는 좋아지지만, 뒤의 어떤 단계는 나빠질 수 있다. 바꿀지 말지는 누가 결정할 권한을 가져야 하는가? 결정하기 전에 어떤 데이터를 먼저 봐야 하는가?
- 다음 단계의 장비가 갑자기 멈췄고, 한 로트의 큐타임 카운트다운이 진행 중이다. 장비 수리를 기다리는 것과 앞 단계를 다시 하는 것은 각각 어떤 대가가 있는가?
16강24시간 멈추지 않는 공장
팹은 불을 끄지 않는다. 웨이퍼는 밀폐 용기에 담겨 천장의 레일을 따라 이동하고, 어떤 공정 사이에서는 너무 오래 기다려서는 안 되며, 긴급 로트와 장비 정비도 모두 일정에 끼워 넣어야 한다.
학습 목표
- 팹이 왜 24시간 가동되는지, 멈추면 어떤 대가를 치르는지 설명할 수 있다.
- 웨이퍼가 팹 안에서 어떻게 이동하는지, MES가 로트마다 어디까지 왔는지를 어떻게 기억하는지, 웨이퍼 한 장을 만드는 데 왜 몇 달이 걸리는지 안다.
- 로트 일정을 짤 때의 트레이드오프, 즉 긴급 로트, 공정 사이 대기 시간의 상한(Q-time), 장비 정비가 서로 어떻게 맞물리는지 이해한다.
- 필독반도체 공장은 왜 24시간 멈추지 않을까?웨이퍼는 팹 안에서 어떻게 이동할까? 웨이퍼 박스(FOUP)와 천장의 OHTMES란? 팹의 컴퓨터는 로트마다 어디까지 왔는지 어떻게 알까웨이퍼 한 장 만드는 데 얼마나 걸릴까? 사이클 타임은 왜 몇 달이나 될까
- 더 읽기Hot lot이란? 긴급 로트는 왜 꼭 1순위가 아닐까장비의 빨간불·노란불·초록불은 무슨 뜻일까?
- 살펴보기OHT(천장 반송) · 스토커
- 플레이제조부로 근무해 보기: 한 구역 전체의 로트가 앞으로 나아가도록 챙기기
생각해 보기
- 교대 근무 덕분에 공장은 멈추지 않지만, 사람은 잠을 자야 한다. 멈추지 않는 공장은 그 안에서 일하는 사람들을 어떻게 돌봐야 할까?
- 긴급 로트 하나가 끼어들면 앞에 줄 서 있던 로트들은 기다려야 한다. 긴급 로트가 언제나 첫 번째여야 할까? 누가, 무엇을 근거로 정해야 할까?
제4부: 제대로 만들었는지 아는 법
팹이 어떻게 측정하고, 날마다 숫자를 어떻게 지켜보며, 수율을 어떻게 계산하는지, 그리고 문제가 생기면 한 단계씩 어떻게 대응하는지 다룬다.
17강계측과 검사: 무엇을, 몇 장이나 재는가
웨이퍼 한 장은 수백 단계와 몇 주에서 몇 달을 거쳐야 전기를 걸어 테스트할 수 있다. 마지막에야 오류를 발견하면 너무 늦으므로, 중요한 단계를 마칠 때마다 제대로 됐는지 먼저 확인한다.
학습 목표
- 웨이퍼가 완성될 때까지 기다렸다가 검사하면 안 되고, 공정 도중에 미리 측정해야 하는 이유를 설명할 수 있다.
- 계측과 검사를 구분하고, 막 두께·선폭·오버레이를 대략 어떻게 측정하는지, 결함 검사와 결함 리뷰가 어떻게 다른지 말할 수 있다.
- 계측과 결함 스캔이 왜 대부분 샘플링으로 이루어지고 모니터 웨이퍼까지 따로 쓰는지, 많이 측정할 때와 적게 측정할 때 각각 어떤 대가를 치르는지 설명할 수 있다.
- 필독팹은 공정이 제대로 됐는지 어떻게 알까? 계측과 검사의 차이결함 검사란? 웨이퍼 위의 파티클과 스크래치는 어떻게 찾을까
- 살펴보기전자 현미경 계측기
- 플레이챕터 2 ‘한 공정씩’부터 시작하기: 2일째에 계측 장비로 가서, 퍼니스 런의 모니터 웨이퍼를 측정한다
생각해 보기
- 많이 측정하면 안심이 되고, 적게 측정하면 로트가 빨리 진행된다. 내가 맡은 장비가 최근 조금 불안정하다면, 몇 로트를 더 측정할지 어떻게 정하겠는가? 누구와 먼저 상의해야 하는가?
- ‘옆 칩과 비교하기’로는 모든 칩에 똑같이 있는 문제를 찾지 못한다. 일상이나 일에서 ‘모두 똑같아서 눈에 띄지 않는’ 오류가 있는가? 그런 오류는 어떻게 찾겠는가?
18강관리도와 일상 모니터링
측정한 숫자는 어떤 잣대와 비교해야 공정이 여전히 평소와 같은지 알 수 있다. 관리도가 바로 그 잣대이며, 제품이 불량이 되기 전에 공정이 변하고 있음을 먼저 보여 준다.
학습 목표
- 관리 한계가 어디서 나오는지, 규격 한계와 어떻게 다른지 설명하고, OOC와 OOS를 구분할 수 있다.
- 아직 규격 안에 있고 관리 한계를 벗어난 점이 하나도 없어도, 왜 멈춰서 원인을 찾아야 할 수 있는지 설명할 수 있다.
- 모니터 웨이퍼, FDC, APC가 각각 무엇을 언제 보는지 말하고, 시스템이 규칙에 따라 로트마다 보정하는 것이 ‘한계 안에서는 일단 손대지 않는다’는 원칙과 왜 충돌하지 않는지 설명할 수 있다.
- 필독SPC 관리도란? OOC와 OOS는 무엇이 다를까모니터 웨이퍼, 컨트롤 웨이퍼, 더미 웨이퍼란? 장비는 매일 어떻게 이상 없음을 증명할까APC란? 팹은 계측 후 어떻게 자동으로 보정할까: 피드백과 피드포워드FDC란? 장비의 센서는 어떻게 쉬지 않고 감시될까
- 더 읽기장비 PM(예방 정비)이란? 장비는 왜 정기적으로 멈춰야 할까팹의 변경 관리란? 조건 하나 바꾸는 데 왜 그렇게 많은 사람이 서명할까
- 플레이챕터 7 ‘급한 불 끄기’부터 시작하기: 메일함에는 판정을 기다리는 OOC 로트가 있고, 계측 장비에는 8점 연속 낮게 나온 관리도가 하나 더 있다
생각해 보기
- 관리도는 ‘아직 규격 안이지만 이미 평소와 다르다’고 말하고, 로트는 기다리고 있다. 릴리스하는 것과 붙잡아 두고 더 조사하는 것은 각각 누구에게 대가를 치르게 하는가?
- 관리도의 판정 규칙과 FDC의 임계값은 엄격하게 정할수록 빨리 발견하지만 오경보도 늘어난다. 너무 느슨하면 서서히 나빠지는 것을 보지 못한다. 직접 정한다면 어떻게 균형을 잡겠는가? 오경보로 여러 번 불려 간 사람은 다음에도 진지하게 보겠는가?
19강수율과 웨이퍼 맵
팹이 최종적으로 내보내는 것은 양품 칩이다. 수율은 양품이 몇 퍼센트인지를, 웨이퍼 맵은 불량이 어디에 있는지를 알려 준다. 둘을 함께 봐야 어느 공정 단계로 거슬러 올라가 찾아야 할지 알 수 있다.
학습 목표
- 수율을 어떻게 계산하는지, 단계마다 조금씩만 손실이 나도 곱하면 왜 크게 차이 나는지 설명하고, 결함 밀도를 이용해 칩이 클수록 왜 수율이 낮아지는지 설명할 수 있다.
- WAT와 웨이퍼 맵을 구분할 수 있다. 하나는 스크라이브 라인의 TEG를 측정하고, 다른 하나는 칩 하나하나를 모두 테스트한다.
- 웨이퍼 맵에 나타난 불량의 모양이 흔히 어떤 종류의 문제를 가리키는지 말하고, 새 공정의 수율이 한 차례씩 어떻게 올라가는지(수율 학습), 왜 갈수록 느리게 오르는지 설명할 수 있다.
- 필독뉴스에서 말하는 ‘수율’이란? 1% 차이가 왜 클까칩이 클수록 수율은 왜 낮아질까? 결함 밀도, 수율 모델, 수율을 끌어올리는 방법WAT란? 웨이퍼 맵으로 어디가 잘못됐는지 알아내는 법
- 플레이챕터 3 ‘불량의 모양’부터 시작하기: WAT에서 한 장이 불합격, 이어서 웨이퍼 맵 세 장에서 이상한 곳을 짚어 낸다
생각해 보기
- 수율이 90%에서 95%로 오르면 공장, 칩을 사는 회사, 제품을 쓰는 사람에게 각각 무엇을 의미하는가?
- 웨이퍼 맵의 불량이 칸칸이 늘어서 있다면 마스크 때문일 수도, 프로브 카드 때문일 수도 있다. 각각을 확인하는 데 얼마나 품이 드는가? 어느 쪽을 먼저 조사하겠는가? 그 이유는 무엇인가?
20강이상 발생 대응: 알람에서 재발 방지까지
아무리 신중한 공장에서도 문제는 생긴다. 차이는 문제가 생긴 처음 몇 분 동안 순서를 지켜 대응했는지, 그리고 나중에 오류가 생기게 한 구멍을 메웠는지에서 갈린다.
학습 목표
- 문제가 생긴 뒤의 순서, 곧 먼저 멈추고 막은 다음 확인하고, 범위를 정하고, 한 장씩 처리를 판정하고, 원인을 찾는 순서를 말할 수 있으며, 왜 이 순서인지, 판정은 주로 누가 하는지 설명할 수 있다.
- 이상 조치 계획(OCAP)을 왜 미리 써 두는지, 계획에 없는 상황에서는 어떻게 하는지 설명할 수 있다.
- 5 Why로 근본 원인을 고칠 수 있는 층위까지 파고드는 방법, 누가 더 부주의했는지가 아니라 절차의 구멍을 찾는 이유, 가장 믿을 만한 대책의 종류, 그리고 증거를 확인한 뒤에야 종결하는 이유를 설명할 수 있다.
- 필독OCAP이란 무슨 뜻일까?홀드란? 로트가 멈춰 선 뒤 릴리스, 리워크, 스크랩은 누가 정할까근본 원인 분석이란? 8D와 5 Why는 어떻게 쓸까
- 더 읽기불량 분석(FA)이란? 고장 난 칩의 원인은 어떻게 찾을까MO란? 팹에서 말하는 ‘오조작’
- 플레이챕터 8 ‘시간에 쫓겨’부터 시작하기: 새벽에 멈춰 있던 웨이퍼 한 장을 마저 처리하고, 검토 회의에서 절차의 구멍 메우기
생각해 보기
- 새벽 3시, 장비에 빨간불이 들어왔다. 로트는 기다리고 있고 엔지니어는 자고 있다. 옆 사람은 리셋을 한 번 누르면 보통 넘어간다고 말한다. OCAP대로 전화하는 것과 일단 해 보는 것은 각각 어떤 대가를 치르게 되는가?
- 생활 속에서 되풀이되는 작은 실수를 하나 떠올려 보자. 예를 들면 외출할 때 열쇠를 깜빡하는 일이다. 자신의 부주의를 탓하지 않고 ‘어디가 잊기 쉽게 되어 있는가’를 찾는다면, 실수가 아예 일어날 수 없거나 잊을 수 없도록 무엇을 바꾸겠는가?
제5부: 웨이퍼를 다 만든 뒤
웨이퍼가 팹을 나온 뒤 칩을 어떻게 테스트하고 패키징하는지, 몇 년을 쓸 수 있는지 어떻게 확인하고 약한 칩을 걸러 내는지, 그리고 어떻게 포장해 출하하고 회로 기판에 납땜해 손에 든 제품에 들어가는지 다룬다.
21강패키징과 테스트
웨이퍼가 완성되었다고 해서 바로 쓸 수 있는 칩이 되는 것은 아니다. 먼저 테스트하고, 자르고, 와이어로 연결하고, 외장으로 감싼 뒤 다시 한 번 테스트해야 제품에 넣을 수 있다.
학습 목표
- 패키징이 하는 세 가지 일, 즉 칩 보호, 접점의 외부 연결, 칩의 방열을 설명할 수 있다.
- 웨이퍼 테스트(CP)와 파이널 테스트(FT)가 각각 언제 이루어지고 어떤 문제를 잡아내는지 구분할 수 있다.
- 와이어 본딩과 플립칩이라는 두 가지 연결 방식의 차이를 알고, BGA, QFN 같은 패키지 이름이 무엇을 뜻하는지 이해한다.
- 필독패키징이란? 완성된 칩을 왜 또 감싸야 할까칩은 어떻게 테스트할까? 웨이퍼 테스트(CP)와 파이널 테스트(FT)의 차이와이어 본딩이란? 칩은 어떻게 외부와 연결될까
- 더 읽기칩 패키지에는 어떤 모양이 있을까? BGA, QFN 같은 이름은 무슨 뜻일까프로브 카드란? 웨이퍼 위의 칩 하나하나에 어떻게 전기를 넣어 테스트할까웨이퍼는 어떻게 칩 하나하나로 자를까? 백그라인딩과 다이싱플립칩이란? 칩은 솔더 볼로 어떻게 외부에 연결될까OSAT란? 후공정 공장은 무엇을 할까?SiP란? 칩과 작은 부품을 작은 모듈 하나로 패키징하는 기술
- 살펴보기웨이퍼 프로버 · 와이어 본더 · 몰딩 장비 · 파이널 테스트
- 플레이챕터 11 ‘볼이 들렸다’부터 시작하기: 와이어 본딩 풀 테스트에서 수치가 낮게 나온 두 가닥
생각해 보기
- 테스트를 많이 할수록 더 믿을 수 있지만, 그만큼 비싸고 느려진다. 보청기에 들어가는 칩을 맡았다면 어느 정도까지 테스트할지 어떻게 정하겠는가?
- 왜 어떤 회사들은 패키징과 테스트만 전문으로 할까? 왜 모두 팹에 맡기지 않을까?
22강신뢰성, 출하, 그리고 제품 속으로
테스트는 칩이 ‘지금 괜찮은가’만 묻지만, 칩은 제품 속에서 여러 해를 버텨야 한다. 이번 강에서는 몇 주 만에 몇 년 뒤의 일을 알아내는 방법, 취약한 칩을 걸러 내는 방법, 그리고 칩이 포장되어 출하되고 회로 기판에 납땜되어 우리 손에 든 제품 속으로 들어가는 과정을 살펴본다.
학습 목표
- 신뢰성 시험이 무엇을 묻는지, 가속 조건으로 몇 주 만에 몇 년을 어떻게 추산하는지, 그리고 흔히 쓰는 몇 가지 시험이 각각 무엇을 보는지 말할 수 있다.
- 욕조 곡선을 읽을 줄 알고, 신뢰성 시험(샘플링)과 번인(전수)을 구별하며, 수율이 유난히 나쁜 로트를 왜 더 조심해야 하는지 안다.
- 칩을 어떻게 테이프 앤 릴에 담는지, 습기에 약한 칩은 왜 방습 포장을 해야 하는지, 조립 공장이 SMT로 칩을 회로 기판에 어떻게 납땜하는지 말할 수 있다.
- 필독신뢰성 테스트란? 칩은 몇 년을 써야 하는데, 몇 주 만에 어떻게 알 수 있을까칩은 어떻게 출하할까? 테이프 앤 릴, 방습 포장과 습도 민감도 등급칩은 어떻게 회로 기판에 납땜할까? SMT 표면 실장과 리플로우
- 더 읽기번인이란? 칩은 왜 출하 전에 먼저 ‘구울까’정전기 방전(ESD)이란? 칩은 왜 정전기에 약할까
- 살펴보기신뢰성 시험 오븐 · 부품 실장 라인
- 플레이챕터 12 ‘출하 전날 밤’부터 시작하기: 샘플링해 이틀 동안 돌려 초기 고장을 볼지, 내일 예정대로 출하할지 직접 결정하고, 출하 구역에서 마지막 관문인 방습 포장 확인하기
생각해 보기
- 내일 아침이면 출하해야 한다. 신뢰성 시험실에서는 먼저 수백 개를 뽑아 고온에서 전압을 걸고 이틀 동안 돌려 초기 고장을 확인할 수 있다고 하지만, 그러면 물량 전체가 일주일 늦어진다. 직접 결정한다면 무엇을 먼저 알고 싶은가? 또 누구와 먼저 이야기하겠는가?
- 방습백 겉면의 경고 라벨에는 등급, 밀봉 날짜, 개봉 후 얼마 안에 납땜해야 하는지 같은 몇 칸의 글자만 적혀 있다. 조립 공장에서 부품을 장비에 올리는 일을 맡았다면, 모든 백이 그대로 처리되도록 어떻게 하겠는가? 한 칸이 비어 있으면 누가, 언제 곤란을 겪게 될까?
제6부: 사람과 협업
팹에는 어떤 사람들이 있고 교대 근무는 어떻게 돌아가는지, 새 칩이 개발에서 양산까지 가는 동안 누가 어떤 순서로 일하고 어떻게 인수인계하는지 다룬다.
23강팹의 사람들: 분업, 교대 근무, 커리어
팹에는 기계만 있는 것이 아니다. 이번 강에서는 팹 안에 어떤 부서가 있는지, 누가 누구와 매일 이야기해야 하는지, 문제가 생기면 누가 먼저 무엇을 하는지 살펴보고, 어떤 직무가 있는지, 교대 근무와 온콜은 어떤 것인지도 알아본다.
학습 목표
- 제조, 공정, 장비, 공정 통합, 품질보증, 생산관리, 팹 인프라 부서가 각각 무엇을 맡는지, 그리고 왜 부서마다 매일 여러 부서와 이야기해야 하는지 말할 수 있다.
- 문제가 생겼을 때 누가 먼저 로트를 막고, 누가 원인을 찾고, 누가 웨이퍼 한 장 한 장을 판정하고, 누가 규정대로 처리되었는지 확인하고, 누가 일정을 다시 짜는지 말할 수 있으며, 공정 엔지니어와 장비 엔지니어가 일을 어떻게 나누는지 구분할 수 있다.
- 공개된 자료를 바탕으로 교대 근무, 온콜, 근무 시간을 바라보고, 무엇이 일 자체의 성격이고 무엇이 회사마다 다른지 구분할 수 있다.
- 필독반도체 공장에는 어떤 부서가 있을까? 누가 누구와 매일 이야기할까반도체 업계에는 어떤 직무가 있을까? IC 설계부터 팹, 후공정까지 직무 분류공정 엔지니어와 장비 엔지니어는 무엇이 다를까?반도체 업계는 정말 힘들까? 팹의 교대 근무, 온콜 대기, 근무 시간
- 더 읽기기술자와 엔지니어는 무엇이 다를까?어떤 전공이면 반도체 팹에 갈 수 있을까? 전공별로 팹에서 하는 일장비 엔지니어는 무슨 일을 할까?장비사 상주 엔지니어(FSE)는 무슨 일을 할까?팹의 제조부는 무슨 일을 할까? 생산 라인의 로트 순서는 어떻게 정할까?품질 보증(QA)은 팹에서 무슨 일을 할까?팹 인프라 엔지니어는 무슨 일을 할까?PE는 공정 엔지니어일까, 제품 엔지니어일까?팹 엔지니어 면접에서는 무엇을 물을까? 어떻게 준비할까
- 플레이한 역할로 근무를 한 번 플레이하고, 역할을 바꿔 같은 근무를 다시 플레이해 비교해 보기
생각해 보기
- 한밤중에 장비에 문제가 생기면 누구를 깨워야 할까? 한 사람을 깨우는 대가는 무엇이고, 깨우지 않는 대가는 무엇일까?
- 같은 순간, 예를 들어 장비가 다운된 그 순간에 공정, 장비, 제조부는 각각 무엇을 걱정할까? 가장 해 보고 싶은 자리와 가장 하고 싶지 않은 자리는 어디이며, 그 이유는 무엇인가?
24강R&D에서 양산까지: 누가 먼저 하고, 어떻게 넘기는가
새 칩이 팹에서 처음 만들어진 뒤 안정적으로 대량 출하되기까지는 설계, 팹, 테스트, 신뢰성, 고객, 양산 팹으로 이어지는 여러 구간의 릴레이를 거친다. 이를 신제품 도입(NPI, new product introduction)이라고 한다. 새 세대 공정이나 새 공정 단계를 추가해야 하는 제품은 먼저 R&D 라인에서 만들어 보고 안정시키는 경우도 많다. 구간마다 다른 사람이 바통을 이어받으므로, 인계가 얼마나 명확한지가 다음 사람이 일을 잘할 수 있는지를 좌우한다.
학습 목표
- 신제품 도입(NPI)이 테이프아웃, 시생산, 설계 수정, 신뢰성 평가, 고객 승인을 거쳐 양산 이관에 이르기까지 구간마다 누가 이어받는지, 그리고 R&D 라인과 양산 팹이 각각 어떤 질문을 하는지 말할 수 있다.
- 기술 이전 때 넘겨야 할 것들, 즉 표준 공정(POR), 규격, 작업 지침서, 교육, 신뢰성 데이터를 안다.
- 양산 이후 생산관리, 제조부, 장비, 공정, 공정 통합이 일을 어떻게 나누는지, 문제가 생겼을 때 정보가 어떻게 한 단계씩 전달되는지 안다.
- 필독R&D 라인과 양산 팹은 무엇이 다를까?개발 PIE 엔지니어는 무슨 일을 할까? 새 칩의 초도 로트는 어떻게 이끌까신제품 도입(NPI)이란? 새 칩 하나가 시생산에서 양산까지 가는 동안, 누가 어느 단계를 이어받을까
- 더 읽기생산관리는 무슨 일을 할까? 팹의 납기는 어떻게 정할까?후공정 공장의 고객 담당은 무슨 일을 할까?
- 플레이챕터 5 ‘마지막 한 칸’부터 시작하기: 내일 양산 팹에 넘길 표준 공정에 알람 상한 하나만 남았다
생각해 보기
- 신뢰성 시험이 아직 끝나지 않았는데, 고객은 양산 팹에서 먼저 웨이퍼를 투입하고 싶어 한다(리스크 투입). 시험을 통과하면 고객은 제품을 더 일찍 받지만, 통과하지 못하면 먼저 투입한 로트들이 통째로 스크랩될 수 있다. 내가 담당자라면 양쪽의 대가를 고객에게 어떻게 설명하겠는가?
- 작업 지침서는 R&D 라인에 와서 배운 적이 없을 수도 있는 사람이 읽는 문서다. 어느 정도까지 써야 다른 사람이 그대로 따라 해도 실수하지 않겠는가? 글만으로는 전할 수 없는 것에는 무엇이 있는가?
제7부: 미래
트랜지스터는 얼마나 더 작아질 수 있는지, 공정 이름이 어떻게 나노미터에서 옹스트롬으로 넘어가는지, 그리고 미세화와 함께 가는 여러 갈래의 길을 다룬다. 트랜지스터의 모양 바꾸기, 전원 배선을 웨이퍼 뒷면으로 옮기기, 위로 쌓기, 첨단 패키징으로 여러 칩을 하나로 묶기, 다른 반도체 재료 쓰기, 빛으로 데이터 보내기. 이 가운데 여러 갈래가 ‘메모리 월’(프로세서는 빨리 계산하지만 데이터가 그만큼 빨리 오지 못하는 문제)과 관련이 있다. 마지막으로 뉴스 속 칩 이야기를 읽는 법을 다룬다.
25강트랜지스터는 얼마나 더 작아질 수 있는가: ‘몇 나노’에서 ‘옹스트롬 시대’까지
뉴스는 날마다 ‘2나노’ ‘3나노’를 말하고, ‘옹스트롬 시대’라는 말도 쓰기 시작했다. 이 숫자들이 어디서 왔는지, 왜 줄일수록 어려워지는지, 트랜지스터가 왜 거듭 모양을 바꾸는지 이해하면 칩이 앞으로 어디로 가는지 읽을 수 있다.
학습 목표
- 나노미터와 옹스트롬이 얼마나 작은지(1나노미터는 10옹스트롬) 알고, ‘2나노’ ‘옹스트롬 시대’ 같은 명칭은 칩 위 어떤 것의 길이가 아니라 공정 세대의 이름이라는 점을 이해한다.
- 무어의 법칙이 무엇을 말하는지, 그리고 왜 줄일수록 어려워지는지(원자 크기에 근접, 누설 전류와 발열, 느려지는 배선, 갈수록 커지는 비용) 설명할 수 있다.
- 트랜지스터가 왜 평면 구조에서 세워 올린 핀(FinFET)으로, 다시 네 면을 감싸는 구조(GAA)로 바뀌었는지, 그리고 전원 배선이 왜 웨이퍼 뒷면으로 옮겨 가기 시작했는지 설명할 수 있다.
- 필독무어의 법칙이란? 왜 느려졌다고 할까FinFET과 GAA란? 트랜지스터는 왜 평면에서 세워졌다가 네 면을 감싸는 구조가 되었을까뉴스에서 말하는 ‘2나노’는 무엇이 2나노일까?뉴스에 나오는 ‘옹스트롬 시대’란? 옹스트롬은 얼마나 작을까
- 더 읽기후면 전력 공급이란? 칩의 전원선을 왜 웨이퍼 뒷면으로 옮길까
- 플레이포토 공정 엔지니어로 근무해 보기: 노광 장비가 찍어 내는 층 하나하나 지키기
생각해 보기
- 새 세대는 보통 같은 일을 조금 더 적은 전력으로, 또는 같은 전력으로 조금 더 빠르게 해내지만, 만들기는 더 어렵고 더 비싸다. 버튼형 전지 하나로만 움직이는 칩을 만든다면 최신 세대를 쫓겠는가? 결정하기 전에 어떤 질문부터 하겠는가?
- 공정의 이름은 오래전부터 실제 치수가 아니지만, 지금도 대체로 ‘0.7을 곱하는’ 방식으로 다음 이름을 붙이고(중간에 반 세대짜리 이름도 끼어 있다), 2나노 아래로 내려가면서 옹스트롬으로 부르기 시작했다. 이렇게 이름을 붙이면 어떤 좋은 점이 있고, 사람들이 무엇을 오해하기 쉬울까? 직접 이름을 붙인다면 어떻게 하겠는가?
26강첨단 패키징과 신소재: 미세화만이 답은 아니다
프로세서의 계산은 점점 빨라지는데 메모리의 데이터 공급은 따라가지 못한다. 이 ‘메모리 월’ 때문에 AI 칩은 자주 멈춰서 기다린다. 메모리를 쌓아 프로세서 바로 옆에 붙이는 것, 여러 칩을 하나로 패키징하는 것, 더 먼 구간을 빛으로 바꾸는 것이 모두 이와 관련이 있다. 여기에 큰 칩을 작은 칩으로 나누는 것과 재료를 바꾸는 것까지, 이 몇 갈래 길을 이해하면 뉴스에 나오는 새 용어들이 하나로 이어진다.
학습 목표
- 메모리 월이 무엇인지, 곧 프로세서가 왜 자주 멈춰서 데이터를 기다리는지, 데이터를 옮기는 데 왜 계산보다 전력이 더 드는지, 그리고 왜 AI가 메모리 월에 가장 심하게 부딪히는지 설명할 수 있다.
- 캐시, HBM, 실리콘 관통 전극, 칩렛, 2.5D와 3D가 각각 무엇을 하는지, 큰 칩을 왜 나누고 먼저 테스트한 뒤 조립하는지 설명할 수 있으며, 이 길들을 함께 쓸 수 있고 저마다 대가가 있다는 것을 안다.
- 전력 반도체가 무엇을 하는지 알고, 와이드 밴드갭 소재와 실리콘 포토닉스가 각각 어떤 문제를 푸는지 구별하며, 이들이 실리콘과 구리 배선을 모두 대체하려는 것이 아님을 안다.
- 필독메모리 월이란? 칩은 빨리 계산하는데 왜 데이터는 제때 오지 못할까뉴스에 나오는 ‘첨단 패키징’이란? 칩을 왜 나란히 놓고, 쌓아 올릴까칩렛(chiplet)이란? 큰 칩 하나를 왜 작은 칩 여러 개로 나눌까뉴스에서 말하는 ‘HBM’이란? AI는 왜 특별한 메모리가 필요할까
- 더 읽기TSV(실리콘 관통 전극)란? 칩을 위아래로 쌓고 관통해 연결하는 방법팬아웃 패키징이란? 접점을 둘 자리가 모자랄 때 칩 바깥으로 끌어내는 방법뉴스에 나오는 ‘3세대 반도체’란? 탄화규소와 질화갈륨 쉽게 이해하기전력 반도체란? 큰 전류와 높은 전압을 다루는 칩은 무엇을 할까뉴스에 나오는 ‘실리콘 포토닉스’란? 왜 전기 대신 빛으로 데이터를 보낼까
- 플레이챕터 11 ‘볼이 들렸다’부터 시작하기: 수후이와 함께 패키징 라인을 한 바퀴 돌며, 칩이 저항, 커패시터와 함께 작은 모듈 하나에 들어가는 과정 보기
생각해 보기
- 큰 칩을 칩렛으로 나누면 결함 하나가 작은 칩 하나만 망가뜨리고, 돈도 가장 필요한 곳에 쓸 수 있다. 하지만 칩렛 사이의 경로는 칩 내부보다 조금 느리고 전력도 조금 더 들며, 칩렛마다 데이터를 주고받는 회로를 더 넣어야 하고, 접점은 작고 촘촘해 테스트에 손이 더 가며, 패키징도 더 어려워진다. 직접 정한다면 어떤 칩을 나눌 가치가 있다고 보겠는가? 어떤 칩은 통째로 남겨 두겠는가?
- 메모리 월에 맞서려면 캐시를 늘리거나 옆에 HBM 스택을 더 놓을 수 있고, 계산을 메모리 안에서 하는 방법을 연구하는 사람들도 있다. 어느 길에나 대가가 있다. AI로 질문에 답하는 일만 하는 기계를 만든다면 어느 길에 먼저 돈을 쓰겠는가? 결정하기 전에 무엇을 먼저 알고 싶은가?
27강반도체 뉴스 제대로 읽기
뉴스에 나오는 ‘성숙 공정 공급 부족’ ‘재고 조정’ ‘AI 칩’ ‘획기적 돌파구’ 같은 말은 앞에서 배운 내용으로 읽어 낼 수 있고, 어디서 말이 너무 앞서 나갔는지도 알아볼 수 있다.
학습 목표
- 성숙 공정과 첨단 공정이 어떻게 다른지, 이전 세대의 방식이 왜 여전히 중요하면서 더 저렴한지, 공급 부족과 공급 과잉이 왜 주기적으로 되풀이되는지, 그리고 ‘납기 장기화’ ‘재고 조정’ ‘주문 축소’가 각각 이 주기의 어느 국면에 나타나는지 설명할 수 있다.
- AI 칩에 왜 단순한 연산 장치를 아주 많이 넣는지 설명하고, 학습용 칩과 추론용 칩이 어떻게 다른지 안다.
- 뉴스가 말하는 ‘연구 단계에서 구현’ ‘양산 시작’ ‘이미 보편화’를 구별하고, 새 기술이 논문에서 양산까지 왜 흔히 10년 넘게 걸리는지 말할 수 있다.
- 필독뉴스에서 말하는 ‘성숙 공정’이란? 구세대 칩은 왜 여전히 중요할까뉴스에 나오는 ‘AI 칩’이란? 일반 프로세서와 무엇이 다를까새 기술이 논문에서 양산까지 가는 데 얼마나 걸릴까? 칩 뉴스의 ‘돌파구’ 제대로 읽기
- 더 읽기뉴스에 나오는 ‘차량용 반도체’는 무엇이 다를까?반도체 사이클이란? 칩은 왜 부족했다가 남아돌까
- 플레이개발 라인의 퍼니스 개발 공정 엔지니어로 근무해 보기: 게임 속 보청기 칩 ‘Glowmere’는 최신 세대로 만들지 않지만, 퍼니스 조건은 여전히 개발 라인에서 정해야 한다
생각해 보기
- 최근의 반도체 뉴스 하나를 골라 가족에게 쉬운 말 세 문장으로 설명해 보자. 뉴스에 나온 단어 가운데 이 과정에서 배운 것은 무엇인가? 기사가 다루는 내용은 어디까지 왔는가? 연구 단계에서 구현된 것인가, 양산이 시작된 것인가, 이미 보편화된 것인가? 과장되었거나 분명하지 않다고 느낀 표현은 무엇인가?
- 자동차 한 대, 휴대폰 한 대, AI 서버 한 대에는 각각 어떤 칩이 필요한가? 생산 라인을 하나만 더 지을 수 있다면 어느 쪽을 위해 먼저 짓겠는가? 라인이 완성되기까지는 시간이 걸리고 그때는 수요가 이미 바뀌었을 수 있다. 결정하기 전에 무엇을 먼저 알고 싶은가?
추천 과제(정답이 없는 열린 과제)
- 칩 하나의 일생: 설계부터 제품에 들어가기까지의 흐름도를 그리고, 가장 잘못되기 쉽다고 보는 세 곳과 그곳의 문제가 보통 어느 단계에 가서야 발견되는지 표시한다.
- 인수인계서: 근무 하나를 플레이한 뒤 다음 근무자를 위해 인수인계서를 쓴다. 무슨 일이 있었는지, 어떤 결정을 내렸는지, 아직 해결되지 않은 것은 무엇인지 적는다. 다른 학생과 바꿔 읽고, 상대가 그대로 이어받을 수 있는지 본다.
- 뉴스를 쉬운 말로: 칩 관련 뉴스 하나를 골라, 배운 적 없는 사람을 위해 쉬운 문장 세 개로 다시 쓰고, 원문에서 과장됐거나 분명하지 않다고 생각하는 부분을 표시한다.
- 같은 순간, 다른 사람: 조를 나눠 각자 역할 하나를 골라 같은 근무를 플레이한다. 장비에 문제가 생긴 순간 역할마다 무엇을 보고 무엇을 걱정했는지 비교해 한 쪽 분량의 보고서로 쓴다.
- 단순화한 곳 찾기: 필독 글에서 한 단락을 골라 교과서나 대학 강의 자료와 대조하고, 글이 어디를 단순화했는지, 그 단순화가 타당한지 적는다.
수준과 정확성
물리나 화학 배경 지식은 필요 없고, 중학교 수준의 과학이면 충분하다. 목표는 흐름과 분업, 트레이드오프를 이해하는 것이지, 장비 조작법을 배우는 것이 아니다.
글은 공개된 교과서, 산업 표준, 대학 강의 자료와 논문을 바탕으로 썼고, 다 쓴 뒤 따로 다시 검토했다. 이해하기 쉽도록 일부는 단순화했다. 예를 들어 수식 대신 비유를 쓰고, 숫자에는 ‘약’을 자주 붙였다. 더 깊이 공부하려면 두 종류의 교과서를 함께 보면 좋다. ‘반도체 소자’는 칩이 왜 동작하는지를, ‘반도체 공정’은 칩을 어떻게 만드는지를 다룬다. 오류를 발견하면 각 글 맨 아래의 ‘오류가 있다면 문제 신고’를 눌러 알려 주기 바란다.
게임 속 회사, 인물, 장비 번호, 로트 번호와 숫자는 허구이며, 어느 회사의 실제 방식도 나타내지 않고, 조작 교육 자료로 쓸 수도 없다. 실제와 같은 것은 일의 모습이다: 교대 근무, 인수인계, 단계 사이의 대기 시간 상한, 테스트 런, 절차에 따른 이상 처리.
인용과 수업 활용
이 커리큘럼과 글, 장비의 짧은 영상과 큰 이미지, 활동지는 수업과 비영리 목적이라면 무료로 쓸 수 있다. 화면에 띄우거나 강의 자료에 넣거나 학생들에게 인쇄해 나눠 줘도 된다. 출처는 fab24hr로 밝혀 주기 바란다. 판매하거나 자신의 저작물로 바꿔 내놓을 수는 없다.
인용 형식 예: “반도체 입문: 칩의 일생 따라가기”, fab24hr, 2026년 10월. https://fab24hr.com/ko/learn/
한 차시 수업에서 게임을 쓰려면 수업에서 fab24hr 활용하기에 20분, 40분, 50분 수업안이 있고, 활동지는 그대로 인쇄할 수 있으며, 분해해서 보는 반도체 공장 장비에는 장비 31대의 링크와 QR 코드가 있다.
자주 묻는 질문
정식 강의인가? 비용을 내거나 가입해야 하나?
비용도 가입도 필요 없다. 무료 커리큘럼으로, 각 강의는 이 사이트의 쉽게 풀어 쓴 글과 브라우저에서 하는 반도체 공장 게임으로 이어지고, 팹과 패키징·테스트를 다루는 강의는 대개 분해해 볼 수 있는 3D 장비로도 이어진다. 시험도 수료증도 없으며, 교사는 자기 수업에 맞게 순서와 분량을 조정할 수 있다.
이공계 배경이 없어도 이해할 수 있나?
이해할 수 있다. 글은 이 분야를 전혀 모르는 사람을 위해 썼고, 전문 용어에는 모두 쉬운 설명을 달았으며, 중학교 수준의 과학이면 충분하다. 목표는 흐름과 분업, 트레이드오프를 이해하는 것이다. 더 공부하려면 ‘반도체 소자’와 ‘반도체 공정’ 교과서를 함께 보면 된다.
다른 언어로도 볼 수 있나?
볼 수 있다. 이 커리큘럼과 글, 게임은 중국어(번체), 영어, 일본어, 한국어판이 있다. 중국어판은 fab24hr.com/learn/, 영어판은 fab24hr.com/en/learn/, 일본어판은 fab24hr.com/ja/learn/에 있다.
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